专利名称：一种用于真空处理系统的安装装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及真空处理系统，尤其涉及在等离子体处理中的冷却系统。
背景技术：
在真空处理系统中，基座通常包括一个静电夹盘，其用于承载并固定待处理的硅片。以等离子体刻蚀机台为例，基座中还通常包括多个管道/线路，其用于在制程中直接或间接地作用于硅片以完成对硅片的加工，例如冷却管、供气管、供水管、电缆等。为了隔离静电夹盘与上述管道/线路，通常需要在静电夹盘和其下的管道/线路之间设置一个安装板(facility plate)。并且，安装板还用于承载静电夹盘，以及为多个管道/线路提供连接。图1示出了现有技术的安装装置10的结构示意图。如图1所示，安装装置10包括一个安装板101，其下设置有多个用于制程的管道/线路，现仅以冷却管为例进行说明。如图所示，第一冷却管1031和第二冷却管1032分别通过第一接头1021和第二接头1022连接于所述安装板。并且，为了装卸方便，所述法兰装置还通常设置一个连接杆1033，以使得所述第一冷却管1031和第二冷却管1032在尾部分别通过第三接口 1041和第四接口 1042 连接于所述连接杆上。在半导体制程中，如工程需要对相关部件/组件进行调整，则需要卸载安装装置 10。并且，由于安装板101是和静电夹盘(未示出)以及各管道/线路紧密连接的，为了卸载安装装置10，工程师需要弯腰进入等离子体刻蚀机台之下，松开所述第三接口 1041和第四接口 1042，以断开所述第一冷却管1031、第二冷却管1032和连接杆1033之间的连接，继而从机台上方提升安装板101，并将第一冷却管1031和第二冷却管1032 —并带出。综上，现有技术的安装装置卸载机制较为复杂，浪费了人力物力。且半导体真空处理机台是精密设备，现有技术的卸载机制可能会引入微粒(particle)等污染物，影响制程，浪费了人力物力。
发明内容
针对背景技术中的上述问题，本发明提出了一种用于真空处理系统的安装装置。本发明第一方面提供了一种用于真空处理系统的安装装置，其中，包括一个安装板，其设置于静电夹盘和位于所述静电夹盘下方的多个组件之间，其用于支撑所述静电夹盘并为所述多个组件提供连接接口，其具有一个或多个第一连接孔；一个或多个第一装置，其位于所述安装板下方，其具有一个或多个第二连接孔，所述第一装置是由硬性的不易形变的材料制成； 多个固定装置，其设置于所述安装板上表面，将所述固定装置穿过所述第一连接孔和第二连接孔以固定连接所述安装板和所述第一装置。本发明第二方面提供了一种用于卸载本发明第一方面所述的真空处理系统的安装装置的卸载方法，其中，包括如下步骤
a.在所述安装板上方提升固定所述安装板的所述多个固定装置，使得其从所述安装板中的第一连接孔和所述第一装置中的第二连接孔脱离；c.向上提升所述安装板。本发明第三方面提供了一种用于安装本发明第一方面所述的真空处理系统的安装装置的安装方法，其中，包括如下步骤在所述安装板上方对所述固定装置施以作用力，使得所述固定装置穿过所述安装板中的第一连接孔和所述第一装置中的第二连接孔以固定所述安装板。本发明提供的安装板有安装/拆卸方便，避免污染，节约人力等优点。
通过阅读以下结合附图对非限定性实施例的描述，本发明的其它目的、特征和优点将变得更为明显和突出。图1是现有技术的用于真空处理装置的安装装置的结构示意图；图2a是根据本发明的一个具体实施例的用于真空处理装置的安装装置的结构示意图；图2b是根据本发明的一个具体实施例的变化例的用于真空处理装置的安装装置的结构示意图；图2c是根据本发明的一个具体实施例的另一个变化例的用于真空处理装置的安装装置的结构示意图；图3是根据本发明的一个具体实施例的用于真空处理装置的卸载安装板的卸载方法的步骤流程图。其中，相同或相似的附图标记表示相同或相似的步骤特征/装置(模块)。
具体实施例方式下面结合附图对本发明进行说明。本发明第一方面提供了一种用于真空处理系统的安装装置，下面结合图2a 2c， 根据本发明的一个优选实施例对本发明的第一发明进行说明，其中，所述真空处理系统典型地为一个等离子体刻蚀机台。图2a示出了根据本发明的一个具体实施例的用于用于真空处理装置的安装装置的结构示意图，其中，包括一个平坦的圆盘状的安装板201，其设置于静电夹盘(未示出)和位于所述静电 夹盘下方的多个组件之间。众所周知，静电夹盘(Electrostatic Chuck) 一般也是平坦圆盘状的，其紧密地设置于所述安装板201的上方，并通过螺丝等接口组件与所述安装板201 固定。所述安装板201用于支撑所述静电夹盘并为所述多个组件提供连接接口，其具有一个或多个第一连接孔。需要说明的是，为简明起见，图中仅示出了两个第一连接孔，分别为 2041和2042。并且，所述多个组件包括但不限于，冷却管(coolant path)、供气管(未示出)、供水管(未示出)、电缆(cable，未示出)。其中，供气管包括提供氦气的通道，所述电缆包括控制器的电路走线等。一个或多个第一装置，其位于所述安装板下方，其具有一个或多个第二连接孔，所述第一装置是由硬性的不易形变的材料制成(也包括具有一定弹性的材料制成的)，其至少下半部分绝缘。其中，在本实施例中，所述第一装置典型地为置于一个或多个组件外围的套管，更典型地为冷却管套管206，其是一体成型的硬性不易形变材料制成的“藕状”套管， 其中包括2 4个冷却通道，在本实施例中，仅示出了两个冷却通道，分别为第一冷却通道 2031和第二冷却通道2032，上述冷却通道是冷却剂的传递通道。所述冷却套管206用于利用冷却通路中的冷却剂和工艺片台上的工艺片进行热交换，以控制工艺片的温度，其具体功能和结构在专利申请号为201010166384.6中的专利申请中有详细描述。如图2a所示， 所述冷却套管206包括一个平坦圆盘形的顶端206a，其中设置了多个第二通道，图中仅示出了两个第二通道，分别为2052和2051。需要说明的 是，虽然本实施例中第一装置是以冷却套管为例进行说明，但是其并不能用以限定本发明。本领域技术人员应当理解，所有设置于位于静电夹盘以下的管道/ 线缆外围的套管都可以用于充当第一装置。多个固定装置，其设置于所述安装板上表面，将所述固定装置穿过所述第一连接孔和第二连接孔可以固定所述安装板。具体地，在本实施例中，所述固定装置包括具有第一螺纹的螺丝，图2a仅示出了两个螺丝，分别为第一螺丝2021和第二螺丝2022。所述第一连接孔(2041,2042)和第二连接孔(2051,2052)表面设置有能够与所述第一螺纹相咬合的第二螺纹。具体地，所述第一螺丝2021可以从所述安装板201上方旋转穿过所述第一连接孔2041和第二连接孔2051 使得所述第一螺纹和第二螺纹咬合，以固定所述安装板201。所述第二螺丝2022可以从所述安装板201上方旋转穿过所述第一连接孔2042和第二连接孔2052使得所述第一螺纹和第二螺纹咬合，以固定所述安装板201。根据本发明上述具体实施例的一个变化例，所述第一装置还包括用于真空处理系统的绝缘环，即，可以将安装板直接固定在绝缘环上。图2b示出了根据本发明的一个具体实施例的变化例的用于真空处理装置的安装装置的结构示意图，其中，所述真空处理装置典型地为等离子体刻蚀装置。如图2b所示，在安装装置21中，所述第一装置217是由等离子体刻蚀机台的绝缘环充当的，其设置于安装板211之下。由于所述安装板211紧密连接于静电夹盘(未示出)，而静电夹盘会被施以射频电压，因此需要在所述安装板211和接地端之间设置一个绝缘环，其用于隔离所述射频电压。即所述第一螺丝2121和2122分别可以从所述安装板211上方旋转穿过所述第一连接孔2141和第二连接孔2151以及第一连接孔2142和第二连接孔2152，使得所述第一螺纹和第二螺纹咬合，以固定所述安装板211。其中，图中还示出了第一冷却管2131和第二冷却管2132，为简明期间，其他的供气管、供水管和电缆未示出。根据本发明上述具体实施例的另一个变化例，可以专门设置多个至少下半部分绝缘的硬性不易形变的装置/组件充当第一装置，即，将所述安装装置通过上述装置/组件固定。图2c示出了根据本发明的一个具体实施例的另一个变化例的用于真空处理装置的安装装置的结构示意图。如图2c所示，根据上述具体实施例的一个变化例，所述安装装置22中专门设置了一个柱状的硬性不易形变的第一装置227。其中，即所述第一螺丝2221 和2222分别可以从所述安装板221上方旋转穿过所述第一连接孔2241和第二连接孔2251以及第一连接孔2242和第二连接孔2252，使得所述第一螺纹和第二螺纹咬合，以固定所述安装板221。其中，图中还示出了第一冷却管2231和第二冷却管2232，为简明起见，其他的供气管、供水管和电缆未示出。 需要说明的是，本发明的第一装置并不局限于上述实施例所提及的冷却套管、绝缘环以及柱形结构。本领域技术人员可以理解，所有硬性的不易形变的材料制成并至少下半部分绝缘的模块/结构/组件/装置都可充当第一装置。因此，上述实施例并不能用于限定本发明，所述第一装置可以根据实际工程情况进行设定。进一步地，所述第一连接孔的半径为1.5mm 3mm，所述第二连接孔的半径为 Imm 2. 5mmο本发明第二方面提供了一种用于卸载本发明第一方面所述的真空处理系统的安装装置的卸载方法，下面结合图2a和图3进行说明。其中，包括如下步骤首先，在步骤Sl中，在所述安装板上方提升固定所述安装板的所述多个固定装置，使得其从所述安装板中的第一连接孔和所述第一装置中的第二连接孔脱离；具体地，假设所述固定装置特别地为螺丝，所述第一装置特别地为冷却套管206， 则所述步骤Sl还包括如下步骤旋转位于所述安装板201上方的螺丝，S卩，如图示的第一螺丝2021和第二螺丝2022，解除上述螺丝分别与所述安装板201中的第一连接孔2041和第二连接孔2051以及第一连接孔2042和第二连接孔2052之间的咬合，其中，所述第一螺丝 2021和第二螺丝2022具有第一螺纹，所述第一连接孔(2041,2042)和第二连接孔(2051， 2052)表面设置有能够与所述第一螺纹相咬合的第二螺纹。其中，所述第一连接孔(2041， 2042)设置于所述安装板201之中，第二连接孔(2051,2052)设置于所述冷却套管206之中。需要说明的是，为简明期间，图2a中仅示出了两个螺丝，即第一螺丝2021和第二螺丝2022，以及他们分别对应的两对第一连接孔和第二连接孔，分别为第一连接孔(2041， 2042)、第二连接孔(2051,2052)，但是所述螺丝、第一连接孔和第二连接孔的数目是根据具体工艺制程来确定的，并不局限于上述实施例。然后，执行步骤S2，在所述步骤S2中，从所述安装板上方卸载所述多个固定装置， 在本实施例中，具体地，将所述第一螺丝2021和第二螺丝2022卸载，使得其完全脱离安装装置20。最后，执行步骤S3，向上提升所述安装板201，则可完成对所述安装板的卸载。进一步地，根据本发明上述实施例的变化例，所述第一装置还包括绝缘环(即图 2b对应的实施例)，以及任何至少下半部分绝缘的的硬性不易形变的装置/组件(即图2c 对应的实施例)。需要说明的是，按照上述变化例，其安装板的卸载方法和上述实施例无异， 其具体的步骤可参照上述描述，为简明起见，在此不再赘述。进一步地，所述第一连接孔的半径为1.5mm 3mm，所述第二连接孔的半径为 Imm 2. 5mmο进一步地，所述多个组件包括冷却管、供气管、供水管、电缆。本发明第三方面还提供了一种真空处理系统的安装装置的安装方法，下面结合附图2a进行说明。其中，包括如下步骤在所述安装板上方对所述固定装置施以作用力，使得所述固定装置穿过所述安装板中的第一连接孔和所述第一装置中的第二连接孔以固定所述安装板。 具体地，假设所述固定装置特别地为螺丝，所述第一装置特别地为冷却套管206， 则上述步骤还包括如下步骤旋转位于所述安装板201上方的第一螺丝2021和第二螺丝 2022，使得所述第一螺丝2021和第二螺丝2022分别与第一连接孔2041和所述第二连接孔 2051以及第一连接孔2042和第二连接孔2052之间进行咬合，其中，所述第一螺丝2021和第二螺丝2022具有第一螺纹，所述第一连接孔(2041,2042)和第二连接孔(2051,2052)表面设置有能够与所述第一螺纹相咬合的第二螺纹。其中，所述第一连接孔(2041,2042)设置于所述安装板201之中，第二连接孔(2051,2052)设置于所述冷却套管206之中。需要说明的是，为简明期间，图2a中仅示出了两个螺丝，即第一螺丝2021和第二螺丝2022，以及他们分别对应的两对第一连接孔和第二连接孔，分别为第一连接孔(2041， 2042)、第二连接孔(2051,2052)，但是所述螺丝、第一连接孔和第二连接孔的数目是根据具体工艺制程来确定的，并不局限于上述实施例。进一步地，根据本发明上述实施例的变化例，所述第一装置还包括绝缘环(即图 2b对应的实施例)，以及任何至少下半部分绝缘的的硬性不易形变的装置/组件(即图2c 对应的实施例)。需要说明的是，按照上述变化例，其安装板的安装方法和上述实施例无异， 其具体的步骤可参照上述描述，为简明起见，在此不再赘述。所述硬性第一装置包括绝缘环，设置于一个或多个组件外围的套管。进一步地，所述第一连接孔的半径为1.5mm 3mm，所述第二连接孔的半径为 Imm 2. 5mmο进一步地，所述多个组件包括冷却管、供气管、供水管、电缆。根据本发明提供的安装板机制，能够方便快速地安装/卸载安装板，且较大程度地避免了对机台中部件的污染，例如，安装板下方的管道/线缆中的微粒等污染。以上对本发明的各个实施例进行了详细说明。需要说明的是，上述实施例仅是示范性的，而非对本发明的限制。任何不背离本发明的精神的技术方案均应落入本发明的保护范围之内。此外，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求；“包括” 一词不排除其它权利要求或说明书中未列出的装置或步骤；“第一”、“第二”等词语仅用来表示名称，而并不表示任何特定的顺序。
权利要求
1.一种用于真空处理系统的安装装置，其中，包括一个安装板，其设置于静电夹盘和位于所述静电夹盘下方的多个组件之间，其用于支撑所述静电夹盘并为所述多个组件提供连接接口，其具有一个或多个第一连接孔；一个或多个第一装置，其位于所述安装板下方，其具有一个或多个第二连接孔，所述第一装置是由硬性的不易形变的材料制成；多个固定装置，其设置于所述安装板上表面，将所述固定装置穿过所述第一连接孔和第二连接孔以固定连接所述安装板和所述第一装置。
2.根据权利要求1所述的安装装置，其特征在于，所述固定装置包括具有第一螺纹的螺丝，所述第一连接孔和第二连接孔表面设置有能够与所述第一螺纹相咬合的第二螺纹， 每个所述螺丝可以从所述安装板上方旋转穿过所述第一连接孔和第二连接孔使得所述第一螺纹和第二螺纹咬合，以固定所述安装板。
3.根据权利要求2所述的安装装置，其特征在于，所述第一装置包括绝缘环。
4.根据权利要求2所述的安装装置，其特征在于，所述第一装置包括套管，其内部设置若干个通道，所述通道充当/容纳所述多个组件中的一种或多种。
5.如权利要求1至4任一项所述的安装装置，其特征在于，所述多个组件包括冷却管、 供气管、供水管、电缆。
6.一种用于卸载权利要求1所述的真空处理系统的安装装置的卸载方法，其中，包括如下步骤a.在所述安装板上方提升固定所述安装板的所述多个固定装置，使得其从所述安装板中的第一连接孔和所述第一装置中的第二连接孔脱离；c.向上提升所述安装板。
7.根据权利要求6所述的卸载方法，其特征在于，所述卸载方法还包括步骤b.从所述安装板上方卸载所述多个固定装置。
8.根据权利要求6或7所述的卸载方法，其特征在于，所述固定装置包括螺丝，其中，所述卸载方法还包括如下步骤旋转位于所述安装板上方的螺丝，以解除所述螺丝和所述第一连接孔以及第二连接孔之间的咬合，其中，所述螺丝具有第一螺纹，所述第一连接孔和第二连接孔表面设置有能够与所述第一螺纹相咬合的第二螺纹。
9.根据权利要求8所述的安装装置，其特征在于，所述第一装置包括绝缘环。
10.根据权利要求8所述的安装装置，其特征在于，所述第一装置包括套管，其内部设置若干个通道，所述通道充当/容纳所述多个组件中的一种或多种。
11.根据权利要求10所述的卸载方法，其特征在于，所述多个组件包括冷却管、供气管、供水管、电缆。
12.一种用于安装权利要求1所述的真空处理系统的安装装置的安装方法，其中，包括如下步骤在所述安装板上方对所述固定装置施以作用力，使得所述固定装置穿过所述安装板中的第一连接孔和所述第一装置中的第二连接孔以固定所述安装板。
13.根据权利要求12所述的安装方法，其特征在于，所述固定装置包括螺丝，其中，所述安装方法还包括旋转位于所述安装板上方的螺丝，使得所述螺丝和所述第一连接孔以及所述第二连接孔之间进行咬合，其中，所述螺丝具有第一螺纹，所述第一连接孔和第二连接孔表面设置有能够与所述第一螺纹相咬合的第二螺纹。
14.根据权利要求13所述的安装装置，其特征在于，所述硬性第一装置包括绝缘环。
15.根据权利要求13所述的安装装置，其特征在于，所述第一装置包括套管，其内部设置若干个通道，所述通道充当/容纳所述多个组件中的一种或多种。
16.根据权利要求14所 述的安装方法，其特征在于，所述多个组件包括冷却管、供气管、供水管、电缆。
全文摘要
本发明提供了一种用于真空处理系统的安装装置，其中，包括一个安装板，其设置于静电夹盘和位于所述静电夹盘下方的多个组件之间，其用于支撑所述静电夹盘并为所述多个组件提供连接接口，其具有一个或多个第一连接孔；一个或多个第一装置，其位于所述安装板下方，其具有一个或多个第二连接孔，所述第一装置是由硬性的不易形变的材料制成，其至少下半部分绝缘；多个固定装置，其设置于所述安装板上表面，将所述固定装置穿过所述第一连接孔和第二连接孔可以固定所述安装板。本发明还提供了安装/卸载上述安装装置的方法。利用本发明，能方便快速地卸载/安装安装装置。
文档编号H01L21/00GK102270558SQ201010193609
公开日2011年12月7日 申请日期2010年6月4日 优先权日2010年6月4日
发明者吴狄, 周旭升, 宋晓宏, 彭帆 申请人:中微半导体设备(上海)有限公司