GaN单晶衬底、基于GaN的半导体器件及它们的制造方法

专利名称：GaN单晶衬底、基于GaN的半导体器件及它们的制造方法
技术领域：
本发明涉及适用于制造特性偏差小的基于GaN的半导体器件的GaN单晶衬底， 特别涉及如下GaN单晶衬底，其具有大的面积，且其主面的面取向不同于(0001)和 (000-1)(即不同于丨0001丨)，并具有主面中载流子浓度基本均勻分布、主面中位错密度 基本均勻分布、和主面中光弹性变形(photoelasticity distortion)小中的至少一种特性，所 述光弹性变形为通过光测弹性法测得的变形，本发明还涉及制造所述GaN单晶衬底的方 法。另外，本发明涉及基于GaN的半导体器件和制造所述基于GaN的半导体器件的方 法，所述基于GaN的半导体器件包括上述GaN单晶衬底和在所述衬底主面上形成的至少 一个基于GaN的半导体层。
背景技术：
通常，利用气相法如HVPE(氢化物气相外延)和MOCVD (有机金属化学气相 沉积)、以及液相法如助熔剂法在主面为(0001)面的蓝宝石衬底的主面上或者在主面为 (Ill)A面的GaAs衬底的主面上生长晶体，从而制造适用于发光器件、电子器件、半导 体传感器等的III族氮化物晶体。因此，通常所获得的III族氮化物晶体具有面取向为 {0001}的主面。关于包含主面面取向为{0001}的III族氮化物晶体的衬底和在所述主面上的 MQW(多量子阱)结构的发光层的发光器件，在所述III族氮化物晶体的<0001>方向上 的极性引起发光层中的自发极化，导致巨大的发光蓝移和劣化的发光效能。因此，需要 主面面取向不同于丨0001丨的III族氮化物晶体。为了满足这种需要，日本特开2008-143772号公报(专利文献1)公开了一种制 造如下III族氮化物晶体的方法，其主面的面取向具有相对于面取向U-10X丨(其中X为 0以上的整数)、{11-2Y}(其中Y为0以上的整数)和{ΗΚ-(Η+Κ)0}(其中H和K各自 为不同于0的整数)中的一种面取向具有5°以下的偏离角(off angle)，具体地，所述主 面的面取向为{1-100}、{11-20}、{1-102}、{11-22}、{12-30}和{23-50}中的一种。即使使用日本特开2008-143772号公报(专利文献1)中公开的制造方法，在面 取向为{1-100}、{11-20}或{23-50}的主面上生长的III族氮化物晶体仍发生部分多晶化 (polycrystallized),造成难以获得大面积单晶衬底的问题。而且，在面取向为{1_102丨或 {11-22}的主面上生长的III族氮化物晶体的晶体生长表面处，产生具有面取向{0001}的 小平面和具有不同于丨0001丨的面取向的小平面。本文中，从面取向为{0001}的小平面中提取杂质的效率与面取向不同于{0001} 的小平面明显不同。因此，产生的问题在于，在已经生长的III族氮化物晶体的主面中， 载流子浓度发生巨大变化且比电阻发生巨大变化，因此，使用这种衬底的半导体器件的 特性发生巨大变化。此外，在具有丨0001丨面取向的小平面为晶体生长表面的生长部分中，位错沿垂 直于丨0001丨面的方向(即<0001>方向)传播。在面取向不同于丨0001丨的小平面为晶体
3生长表面的生长部分中，位错沿平行于{0001丨面的方向传播。因此，产生的问题在于， 在生长的III族氮化物晶体的主面中位错密度发生巨大变化，由此，使用这种衬底的半导 体器件的特性发生巨大变化。此外，因为在生长的III族氮化物晶体的主面中位错密度发生巨大变化，所以由 这种III族氮化物晶体制成的III族氮化物晶体衬底具有如下主面，其中发生变形的微观变 化，造成发生巨大局部变形的问题。日本特开2005-101475号公报(专利文献2)公开了具有基本均勻分布的载流子 浓度的基于III-V族氮化物的半导体衬底(具体地为自立式GaN衬底)、以及制造所述半 导体衬底的方法。尽管日本特开2005-101475号公报(专利文献2)公开了，关于主面面 取向为(0001)的基于III-V族氮化物的半导体衬底，使得晶体生长平坦化以提供基本均勻 分布的载流子浓度，但是关于主面面取向不是(0001)的基于III-V族氮化物的半导体衬 底，专利文献2并未公开或提出使得载流子浓度的分布基本均勻。此外，日本特开2006-052102号公报(专利文献3)公开了具有基本均勻分布的 位错密度的基于III-V族氮化物的半导体衬底(具体地为自立式GaN衬底)、以及制造所 述半导体衬底的方法。日本特开2006-052102号公报(专利文献3)公开了，关于主面面 取向为(0001)的基于III-V族氮化物的半导体衬底，在生长晶体的同时，在生长界面处产 生凹面，使得生长界面平坦化，并进一步在平坦化的生长界面上生长晶体，使得位错密 度的分布基本均勻。然而，对于主面面取向不是丨0001丨的III-V族氮化物半导体衬底， 专利文献3未公开或提出，使得位错密度分布基本均勻。日本特开2002-299741号公报(专利文献4)公开了具有5X10—5以下的光弹性 变形值的GaN单晶衬底，所述光弹性变形值通过衬底主面中的光弹性测得。日本特开 2002-299741号公报(专利文献4)仅公开了关于主面面取向为(0001)的GaN单晶衬底， 主面中的光弹性变形值为5 X 10_5以下，但关于主面面取向不是(0001)和(000-1)的GaN 单晶衬底，对比文献4未公开或提出主面中光弹性变形值的最大值和偏差。

发明内容
本发明的目的是解决上述问题，并提供适合制造如下基于GaN的半导体器件的 GaN单晶衬底，所述半导体器件具有优异特性且特性均勻分布，具体地，本发明提供如 下GaN单晶衬底，其具有大的面积且其主面面取向不同于(0001)和(000-1)，并具有 主面中载流子浓度基本均勻分布、主面中位错密度基本均勻分布和主面中光弹性变形小 中的至少一种特性，所述光弹性变形为通过光弹性测得的变形，本发明还涉及制造所述 GaN单晶衬底的方法。另外，本发明的目的是，提供具有优异特性和特性均勻分布的基 于GaN的半导体器件和制造所述基于GaN的半导体器件的方法，所述基于GaN的半导 体器件包含上述GaN单晶衬底和在所述衬底的主面上形成的至少一个基于GaN的半导体 层。根据一个方面，本发明涉及主面面积为IOcm2以上的GaN单晶衬底，所述主面 具有相对于(0001)面和(000-1)面中的一个面以65° 85°倾斜的面取向，且所述衬底 具有主面中载流子浓度基本均勻分布、主面中位错密度基本均勻分布且光弹性变形值为 5X ΙΟ"5以下中的至少一种特性，所述光弹性变形值通过在25°C环境温度下在垂直于主面施加光时在主面中任意点处的光弹性测得。在本发明上述方面的GaN单晶衬底中，主面中的载流子浓度相对于主面中平均 载流子浓度的偏差可以在士50%以内。而且，主面中比电阻的分布可以是基本均勻的。 本文中，主面中的比电阻相对于主面中平均比电阻的偏差可以在士50%以内。此外，主 面中的平均比电阻可以为0.1 Ω cm以下。在本发明上述方面的GaN单晶衬底中，主面中位错密度相对于主面中平均位错 密度的偏差可以在士 100%以内。而且，主面中的位错密度可以是5X IO6Cm2以下。在本发明上述方面的GaN单晶衬底中，主面中光弹性变形值相对于主面中光弹 性变形值的平均值的偏差可以在士 100%以内。在本发明上述方面的GaN单晶衬底中，主面的面取向相对于(0001)面和 (000-1)面中的一个面可以在<10-10>方向上倾斜。此外，通过X射线衍射摇摆曲线测 量(0002)和(20-20)面的组合以及(0002)和(22-40)面的组合中的一种组合而得到的X 射线衍射峰的半宽度，在整个主面中可以为300弧秒以下。根据另一个方面，本发明涉及制造上述方面的GaN单晶衬底的方法，包括如下 步骤准备主面面积为IOcm2以上的GaN晶种衬底，所述主面具有相对于(0001)面和 (000-1)面中的一个面以65° 85°倾斜的面取向；在所述GaN晶种衬底的主面上生长 GaN单晶；以及通过沿平行于GaN晶种衬底主面的面对所述GaN单晶进行切割而形成所 述GaN单晶衬底。根据还一个方面，本发明涉及基于GaN的半导体器件，所述基于GaN的半导体 器件包含上述方面的GaN单晶衬底以及在所述GaN单晶衬底主面上形成的至少一个基于 GaN的半导体层。根据又一个方面，本发明涉及制造基于GaN的半导体器件的方法，所述方法包 括如下步骤准备上述方面的GaN单晶衬底；以及在所述GaN单晶衬底的主面上生长至 少一个基于GaN的半导体层。参考附图，根据本发明的下列详细说明，将使得本发明的前述和其他目的、特 征、方面和优点变得更加明显。


图1为显示本发明一个方面的GaN单晶衬底实例的示意图。图2为显示本发明一个方面测量GaN单晶衬底的光弹性变形值的方法实例的示 意图。图3为显示本发明另一个方面制造GaN单晶衬底的方法实例的示意图。此处， (A)和(B)显示了准备GaN晶种衬底的步骤，包括从GaN母晶切割出多个GaN母晶片 (mother crystal piece)的子步和在横向上相互邻近地排列多个GaN母晶片的子步，(C)显 示了生长GaN单晶的步骤，(D)显示了形成GaN单晶衬底的步骤。图4为显示本发明另一个方面制造GaN单晶衬底的方法的另一个实例的示意性 横截面图。此处，(A)显示了准备GaN晶种衬底的步骤，(B)显示了生长GaN单晶的 步骤，(C)显示了形成GaN单晶衬底的步骤。图5为显示在根据本发明另一个方面制造GaN单晶衬底的方法的另外实例中准备GaN晶种衬底步骤的实例的示意图。此处，(A)显示了从GaN母晶切割出多个GaN 母晶片的子步，(B)显示了在横向上相互邻近地排列多个GaN母晶片的子步，(C)显示 了生长GaN晶种的子步，(D)显示了形成GaN晶种衬底的子步。图6为显示本发明另一方面制造GaN单晶衬底的方法的另外实例的示意性横截 面图。此处，(A)显示了准备GaN晶种衬底的步骤，(B)显示了生长GaN单晶的步骤， (C)显示了形成GaN单晶衬底的步骤。图7为显示在本发明一个方面的GaN单晶衬底中主面面取向相对于(0001)面和 (000-1)面中的一个面的倾斜状态的示意图。此处，(A)显示了主面的面取向为丨20-21} 的情况，(B)显示了主面的面取向为{20-2-1}的情况，(C)显示了主面的面取向为 {22-42}的情况，且(D)显示了主面的面取向为{22-4-2}的情况。图8为显示本发明另外方面的基于GaN的半导体器件实例的示意性横截面图。
具体实施例方式在晶体学中，使用符号如(hkl)或(hkil)(米勒(Miller)符号)表示晶面的面取 向。例如在形成GaN晶种衬底和GaN单晶衬底的六方晶系晶体如III族氮化物晶体中晶 面的面取向用(hkil)表示。此处，h、k、i和1各自为被称作米勒指数的整数，并具有 关系i = -(h+k)。将具有面取向(hkil)的面称作(hkil)面。将垂直于(hkil)面的方向 ((hkil)面的法线)称作[hkil]方向。丨hkil丨代表包括(hkil)面取向和在晶体学上与其等 价的面取向的一系列面取向。<hkil>代表包括[hkil]方向和在晶体学上与其等价的方向的 一类方向。 此处，在III族氮化物晶体如GaN晶种和GaN单晶中，将III族元素原子面如镓 (Ga)原子面和氮(N)原子面在<0001>方向上交替排列，因此所述晶体在<0001>方向上 具有极性。在本发明中，设定晶轴，使得III族元素的原子面如镓原子面为(0001)面， 且氮原子面为(000-1)面。GaN单晶衬底实施方案1参考图1和2，本发明实施方案中的GaN单晶衬底20p包含具有IOcm2以上面 积的主面20pm。主面20pm的面取向相对于面20c以65° 85°倾斜，所述面20c为 (0001)面和(000-1)面中的一个面。所述衬底具有主面20pm中载流子浓度基本均勻分 布、主面20pm中位错密度基本均勻分布和光弹性变形值为5X 10_5以下中的至少一种特 性，其中所述光弹性变形值通过在25°C的环境温度下在垂直于主面20pm的方向上施加光 L时在主面20pm中任意点处的光弹性测得。本实施方案中的GaN单晶衬底20p适用于 制造具有优异特性且特性均勻分布的基于GaN的半导体器件。下面将给出本实施方案中 GaN单晶衬底20p的更具体说明。实施方案IA参考图1，关于本实施方案中的GaN单晶衬底20p，主面20pm的面积为IOcm2 以上，主面20pm的面取向相对于面20c以65° 85°倾斜，所述面20c为(0001)面和 (000-1)面中的一个面，且主面20pm中载流子浓度的分布基本均勻。本实施方案中的GaN单晶衬底20p具有IOcm2以上的大面积主面20pm。此外，
6主面20pm的面取向相对于面20c以65° 85°的倾斜角α倾斜，所述面20c为(0001) 面和(000-1)面中的一个面，因此，使用这种GaN单晶衬底20p的基于GaN的半导体器 件的发光蓝移受到抑制，且由此发光效能的劣化也受到抑制。鉴于此，主面20pm的面取 向优选相对于面20c以70° 80°的倾斜角α倾斜，更优选相对于所述面以72° 78° 的倾斜角α倾斜，所述面20c为(0001)面和(000-1)面中的一个面。此外，主面20pm 中载流子浓度的分布基本均勻，因此，在使用这种GaN单晶衬底20p的基于GaN的半导 体器件中，在所述器件主面中器件特性的分布基本均勻。关于本实施方案中的GaN单晶衬底20p，主面20pm中载流子浓度分布基本均勻 的事实意味着，在使用GaN单晶衬底的基于GaN的半导体器件的主面中器件特性的分布 基本均勻，且例如通过主面20pm中载流子浓度相对于主面20pm中平均载流子浓度的偏 差在士50%以内来表示。为了使在基于GaN的半导体器件主面中器件特性的分布更均 勻，优选主面20pm中载流子浓度相对于主面20pm中平均载流子浓度的偏差在士30%以 内。本文中，例如可以通过范德堡(van der Pauw)法，在主面20pm中沿两维方向并以 2mm间距，测量GaN单晶衬底20p的主面20pm中的载流子浓度。关于本实施方案中的GaN单晶衬底20p，为了使得器件特性的分布均勻，优选 主面20pm中比电阻的分布基本均勻。本文中，在GaN单晶衬底20p的主面20pm中比 电阻分布基本均勻的事实意味着，在使用GaN单晶衬底的基于GaN的半导体器件的主面 中器件特性的分布基本均勻，且例如通过主面20pm中比电阻相对于主面中平均比电阻的 偏差在士50%以内来表示。为了使基于GaN的半导体器件的主面中器件特性的分布更均 勻，在GaN单晶衬底20p的主面20pm中比电阻相对于主面20pm中平均比电阻的偏差优 选在士30%以内。此外，为了提高基于GaN的半导体器件的电导率，优选GaN单晶衬 底20p的主面20pm中平均比电阻为0.1 Ω cm以下。此处，例如通过范德堡法，在主面 20pm中沿两维方向并以2mm间距，测量GaN单晶衬底20p的主面20pm中的比电阻。关于本实施方案中的GaN单晶衬底20p，为了稳定地外延生长具有高结晶度的 基于GaN的半导体层，优选主面20pm的面取向相对于面20c的倾斜方向为<10_10>方 向，所述面20c为(0001)面和(000-1)面中的一个面。为了同样目的，优选地，通过X 射线衍射摇摆曲线对(0002)和(20-20)面的组合以及(0002)和(22-40)面的组合中的一 种组合进行测量而得到的X射线衍射峰的半宽度，在整个主面20pm上为300弧秒以下。 X射线衍射峰的半宽度越小代表结晶度越高。关于主面20pm的面取向为{hOkl} (h、k和1各自为不是0的整数)的GaN单晶 衬底20p，用于X射线衍射摇摆曲线测量的衍射晶面可以为(0002)面和(20-20)面，或 可以为(0002)面和(22-40)面。同样地，关于主面20pm的面取向为{hikl}(h、k、i和 1各自为不是0的整数)的GaN单晶衬底20p，用于X射线衍射摇摆曲线测量的衍射晶面 可以为(0002)面和(20-20)面，或可以为(0002)面和(22-40)面。例如，可以在主面 20pm中沿两维方向并在2mm间距和Imm2的X射线照射面积下，在GaN单晶衬底20的 整个主面20pm中实施X射线衍射摇摆曲线测量。实施方案IB参考图1，关于本实施方案中的GaN单晶衬底20p，主面20pm的面积为IOcm2 以上，主面20pm的面取向相对于面20c以65° 85°倾斜，所述面20c为(0001)面和(000-1)面中的一个面，且主面20pm中位错密度的分布基本均勻。本实施方案中的GaN单晶衬底20p具有IOcm2以上的大面积主面20pm。此外， 主面20pm的面取向相对于面20c以65° 85°的倾斜角α倾斜，所述面20c为(0001) 面和(000-1)面中的一个面，因此，使用这种GaN单晶衬底20p的基于GaN的半导体器 件的发光蓝移受到抑制，且由此发光效能的劣化也受到抑制。鉴于此，主面20pm的面取 向优选相对于面20c以70° 80°的倾斜角α倾斜，更优选相对于所述面以72° 78° 的倾斜角α倾斜，所述面20c为(0001)面和(000-1)面中的一个面。此外，主面20pm 中位错密度的分布基本均勻，因此，在使用这种GaN单晶衬底20p的基于GaN的半导体 器件中，在所述器件的主面中器件特性的分布基本均勻。关于本实施方案中的GaN单晶衬底20p，主面20pm中位错密度分布基本均勻的 事实意味着，在使用这种GaN单晶衬底的基于GaN的半导体器件的主面中器件特性的分 布基本均勻，且例如通过GaN单晶衬底20p的主面20pm中位错密度相对于主面20pm中 平均位错密度的偏差在士 100%以内来表示。为了使在基于GaN的半导体器件的主面中 器件特性的分布更加均勻，优选在GaN单晶衬底20p的主面20pm中的位错密度相对于主 面20pm中平均位错密度的偏差在-100 % +70 %以内，更优选在-100 % +50 %以内。 本文中，例如可以通过CL(阴极射线发光)法，在主面20pm中沿两维方向并以2mm间 距，对于100 μ mX 100 μ m的测量面积测量GaN单晶衬底20p的主面20pm中的位错密 度。关于本实施方案中的GaN单晶衬底20p，为了外延生长具有高结晶度的基于 GaN的半导体层，主面20pm中的位错密度在最大位错密度处为优选不超过5X 106cm2， 更优选不超过lX10_6cm2。关于本实施方案中的GaN单晶衬底20p，为了稳定地外延生长具有高结晶度的 基于GaN的半导体层，优选主面20pm的面取向相对于面20c的倾斜方向为<10_10>方 向，所述面20c为(0001)面和(000-1)面中的一个面。为了同样目的，优选地，通过X 射线衍射摇摆曲线对(0002)和(20-20)面的组合以及(0002)和(22-40)面的组合中的一 种组合进行测量而得到的X射线衍射峰的半宽度，在整个主面20pm上为300弧秒以下。 X射线衍射峰的半宽度越小代表结晶度越高。关于主面20pm的面取向为{hOkl} (h、k和1各自为不是0的整数)的GaN单晶 衬底20p，用于X射线衍射摇摆曲线测量的衍射晶面可以为(0002)面和(20-20)面，或 可以为(0002)面和(22-40)面。同样地，关于主面20pm的面取向为{hikl} (h、k、i和 1各自为不是0的整数)的GaN单晶衬底20p，用于X射线衍射摇摆曲线测量的衍射晶面 可以为(0002)面和(20-20)面，或可以为(0002)面和(22-40)面。例如，可以在主面 20pm中沿两维方向并在2mm间距和Imm2的X射线照射面积下，在GaN单晶衬底20的 整个主面20pm中实施X射线衍射摇摆曲线测量。实施方案IC参考图1，关于本发明实施方案中的GaN单晶衬底20p，主面20pm的面积为 IOcm2以上，主面20pm的面取向相对于面20c以65° 85°倾斜，所述面20c为(0001) 面和(000-1)面中的一个面，且光弹性变形值为不大于5X10_5，其中所述光弹性变形值 通过在25 °C的环境温度下，在垂直于主面20pm施加光时在主面20pm中任意点处的光弹
8性测得。本实施方案中的GaN单晶衬底20p具有IOcm2以上的大面积主面20pm。此外， 主面20pm的面取向相对于面20c以65° 85°的倾斜角α倾斜，所述面20c为(0001) 面和(000-1)面中的一个面，因此，使用这种GaN单晶衬底20p的基于GaN的半导体器 件的发光蓝移受到抑制，且由此发光效能的劣化也受到抑制。鉴于此，主面20pm的面 取向优选相对于面20c以70° 80°的倾斜角α倾斜，更优选相对于所述面以72° 78°的倾斜角α倾斜，所述面20c为(0001)面和(000-1)面中的一个面。此外，光弹 性变形值为不大于5X 10_5，其中所述光弹性变形值通过在25°C的环境温度下，在垂直于 主面20pm施加光时在主面20pm中任意点处的光弹性测得，因此，关于使用这种GaN单 晶衬底20p的基于GaN的半导体器件，预期有大量效果，所述效果包括例如，在器件制 造期间不易产生裂纹的效果、在外延生长基于GaN的半导体层中翘曲减少且温度均勻性 提高的效果、器件的解理特性提高的效果、以及衬底和器件的研磨品质提高的效果。鉴 于此，所述光弹性变形值更优选为不超过2 X 10_5，还更优选不超过IX 10_5。本文中，光弹性是指弹性物体的内应力σ造成不同的光折射率的现象，即内应 力ο的各向异性使得在物体中产生双折射的现象。据认为，存在相互垂直的三个应力主 轴(χ轴、y轴、ζ轴)，且垂直于GaN单晶衬底主面的方向轴为ζ轴。参考图2，借助 于起偏器30和λ /4板40，在垂直于厚度为t的GaN单晶衬底20p的主面20pm的方向上 施加波长为λ的光L(波长λ的单色光、或峰值波长λ的多色光或白光)，并通过λ/4 板50和检偏器60对透过GaN单晶衬底的光进行观察。然后，观察偏振光的两种成分， 其具有不同的相位且相互正交。本文中，λ/4板为具有使得光的相位发生位移(例如延 迟)的功能的器件，所述光具有垂直偏振面的两种成分。所观察到的两种偏振光成分的相位差δ用下式(1)表示，其中在χ轴和ζ轴方向 上具有各自的内应力《、和oy，且具有在这些方向上的偏振面的光成分具有各自的折射 率变化八 和Δηγ，所述式使用光弹性系数C、光波长λ以及GaN单晶衬底的厚度t， 所述光弹性系数C为由于单位应力的增加而造成的折射率的变化率δ = 23 (Δηχ-Δηγ)/λ = 2 Ji tC ( σ χ_ σ y) / λ (1)其中，Δηχ = Cox，且Any = Coy。本文中，通过式(1)中的C ( σ χ-σ y)来 定义光弹性变形值。使得起偏器的偏振面与作为内应力主轴的X轴和y轴中的一个平行， 并测量在检偏器的偏振面与起偏器的偏振面正交时透射光的量、以及在检偏器的偏振面 与起偏器的偏振面平行时透射光的量，由表示测得的量之间比例的值来确定相位差S， 另外，由式(1)确定光弹性变形值C(Qx-Oy)。应注意，光弹性系数C为根据测量时晶 体的类型和结构、以及环境温度而确定的一个常数，且在测量时，如果晶体类型相同、 晶体结构相同且环境温度相同，则所述光弹性系数C的值相同。在日本特开2002-299741 号公报中公开了确定光弹性变形值C ( σ χ- σ y)的方法的细节。关于本实施方案中的GaN单晶衬底20p，为了稳定地外延生长高结晶度的基于 GaN的半导体层，优选主面20pm的面取向相对于面20c的倾斜方向为<10_10>方向，所 述面20c为(0001)面和(000-1)面中的一个面。为了生长高结晶度的基于GaN的半导 体层，主面20pm中光弹性变形值相对于主面20pm中光弹性变形值的平均值的偏差优选 在士 100%以内，更优选-100% +85%。本文中，可以在主面20pm中沿二维方向并以2mm间距，测量在GaN单晶衬底20p的主面20pm中任意点处的光弹性变形值。制造GaN单晶衬底的方法实施方案2参考图3 6，本发明另一个实施方案中制造GaN单晶衬底的方法为制造实施方 案1中GaN单晶衬底20p的方法，所述方法包括如下步骤准备GaN晶种衬底IOp的步 骤，所述GaN晶种衬底IOp具有IOcm2以上面积的主面10pm，所述主面IOpm具有相对 于面lc、IOc以65° 85°倾斜的面取向，所述面lc、IOc为(0001)面和(000-1)面中 的一个面；在GaN晶种衬底IOp的主面IOpm上生长GaN单晶20的步骤；以及通过沿与 GaN晶种衬底IOp的主面IOpm平行的面对GaN单晶20进行切割而形成GaN单晶衬底 20p的步骤。本实施方案中制造GaN单晶衬底的方法提供了适用于制造具有优异特性且 特性均勻分布的基于GaN的半导体器件的GaN单晶衬底。将对制造各个实施方案1A、 IB和IC中GaN单晶衬底的方法进行更具体地说明。实施方案2A参考图3和4，本实施方案中制造GaN单晶衬底的方法为制造实施方案IA中 GaN单晶衬底20p的方法，所述方法包括如下步骤准备GaN晶种衬底IOp的步骤，所 述GaN晶种衬底IOp具有IOcm2以上面积的主面10pm，所述主面IOpm具有相对于面lc、 IOc以65° 85°倾斜的面取向，所述面lc、IOc为(0001)面和(000-1)面中的一个面 (图3 (A) (B)、图4 (A))；在GaN晶种衬底IOp的主面IOpm上生长GaN单晶20的 步骤(图3(C)、图4(B));以及通过沿与GaN晶种衬底IOp的主面IOpm平行的面20u、 20v对GaN单晶20进行切割而形成GaN单晶衬底的步骤(图3 (D)、图4 (C))。本实施 方案中制造GaN单晶衬底的方法包括上述步骤，从而能够有效地制造实施方案IA中的 GaN单晶衬底。实施方案2A的实施例I参考图3，对本实施方案中制造GaN单晶衬底的方法的实例(下文中以实施例I 表示)进行说明。参考图3 (A)和(B)，在实施例I中，准备GaN晶种衬底IOp的步骤包括如下子 步从GaN母晶1切割出多个GaN母晶片Ip的子步，所述GaN母晶片Ip的主面Ipm 各自具有相对于面Ic以65° 85°的倾斜角α倾斜的面取向，所述面Ic为(0001)面 和(000-1)面中的一个面(图3(A))；和形成GaN晶种衬底IOp的子步，所述GaN晶种 衬底IOp具有面积为IOcm2以上的主面10pm，所述主面IOpm具有相对于面Ic以65° 85°的倾斜角α倾斜的面取向，所述面Ic为(0001)面和(000-1)面中的一个面，通过 在横向上相互邻近地排列多个GaN母晶片Ip而形成所述GaN晶种衬底10ρ，使得所述母 晶片的各个主面Ipm相互平行，且所述母晶片的各个
方向相互平行(图3(B))。首先，参考图3(A)，在切割出多个GaN母晶片Ip的子步中，沿与面取向丨hkil} 平行的面将GaN母晶1切割出多个GaN母晶片lp，所述面取向丨hkil丨相对于面Ic以 65° 85°的倾斜角α倾斜，所述面Ic为GaN母晶1的(0001)面和(000-1)面中的一 个面(沿垂直于<hkil>S向的面)。本文中，能通过X射线衍射测量倾斜角α。未将用于上述步骤中的GaN母晶1限制为一种特定母晶，例如可以为通过常用 方法制造的任意一种，从而在具有(0001)面主面的蓝宝石衬底或具有(Ill)A面主面的
10GaAs衬底的主面上生长晶体，所述常用方法即为气相法如HVPE和MOCVD、以及液相 法如助熔剂法中的任意一种方法。因此，尽管未将GaN母晶1限制为特殊的一种，但是 所述母晶通常具有(0001)面主面。为了降低位错密度并提高结晶度，优选通过小平面生 长法生长这种GaN母晶1，所述小平面生长法的特征在于，在生长晶体的表面(晶体生长 表面)上形成小平面，并在不掩埋所述小平面的条件下生长所述晶体，如同在日本特开 2001-102307号公报中所公开的。从GaN母晶1切割出多个GaN母晶片Ip的方法不限为特定方法，例如可使用多 种手段如线锯、内周刀刃(inner peripheral blade)、外周刀刃(outer peripheral blade)或激
光中的任意一种。为了生长高结晶度的GaN单晶20，多个GaN母晶片Ip的主面Ipm和侧面中各 个面的平均粗糙度Ra优选不超过50nm，更优选不超过5nm。表面的平均粗糙度Ra是 指由JIS B 0601: 2001规定的算术平均粗糙度Ra，具体地，是指通过如下确定的值从 粗糙度曲线中沿平均线延伸的方向上除去一部分基准长度，计算在所述除去部分中从平 均线到粗糙度曲线的距离之和(各个偏差的绝对值)，并用所述和除以基准长度。通过 AFM (原子力显微镜)等手段能够测量表面的平均粗糙度Ra。为了使得多个GaN母晶片Ip的主面Ipm和侧面中的各个面的平均粗糙度Ra优 选不超过50nm、更优选不超过5nm，优选多个切割出的GaN母晶片Ip各自具有被研削 (ground)和/或研磨过(polished)的主面Ipm和侧面。研磨包括机械研磨、CMP (化学 机械研磨)等。然后，参考图3(B)，在形成GaN晶种衬底IOp的子步中，在横向上相互邻近 地排列多个切割出的GaN母晶片lp，使得母晶片的各个主面Ipm相互平行，且其各个
方向相同。由此，形成具有主面IOpm的GaN晶种衬底10p，所述主面IOpm具有 IOcm2以上的面积并具有相对于面Ic以65° 85°倾斜的面取向，所述面Ic为(0001) 面和(000-1)面中的一个面。关于多个GaN母晶片lp，如果主面Ipm和晶轴之间形成的各个角在以上述方式 形成的GaN晶种衬底IOp的主面IOpm中不均勻，则在GaN晶种衬底IOp的主面IOpm上 生长的GaN单晶的化学组成在与GaN晶种衬底IOp的主面IOpm平行的面中不均勻。因 此，横向排列多个GaN母晶片lp，使得这些母晶片的各个主面Ipm相互平行。只要这 些母晶片的各个主面Ipm相互平行，则所述主面可不必在同一面上。然而，相互邻近的 两个GaN母晶片Ip的各个主面Ipm之间的水平差Δ T (未示出)，优选不超过0.1mm， 更优选不超过0.01mm。此外，关于多个GaN母晶片lp，为了使得这些母晶片具有相同的晶体取向并因 此获得更均勻的晶体生长，横向排列所述GaN母晶片，使得这些母晶片的各个
方 向相同。另外，相互邻近地排列多个GaN母晶片lp，这是因为衬底之间的间隙(如果存 在)会劣化在所述间隙上生长的晶体的结晶度。然后，参考图3 (C)，在GaN晶种衬底IOp的主面IOpm上生长GaN单晶20的步 骤中，生长GaN单晶20的方法不限于特殊方法。为了外延生长GaN单晶，优选使用气 相法如HVPE和MOCVD、以及液相法如助熔剂法中的任意一种。在晶体生长方法中， 优选HVPE法，这是因为其提供高的晶体生长速度。
当已经在GaN晶种衬底IOp的主面IOpm上生长了 GaN单晶20时，GaN单晶 20的晶体生长表面20g宏观上与GaN晶种衬底IOp的主面IOpm平行。然而，微观上， 在晶体生长表面20g处形成与GaN晶种衬底IOp的主面IOpm不平行的多个小平面20fa、 20ft。这种多个小平面20fa、20ft各自具有相互不同的面取向。S卩，用包括小平面20fa、 20ft的晶体生长表面20g生长GaN单晶20，所述小平面20fa、20ft各自具有相互不同的 面取向。本文中，由于小平面20fa和小平面20ft的面取向不同，所以各自从这些小平面 中提取的杂质的浓度相互不同。因此，在GaN晶种衬底IOp的主面IOpm上生长的GaN 单晶20中，在与GaN晶种衬底IOp的主面IOpm平行的面中产生载流子浓度的偏差。此时，如果GaN晶种衬底IOp的主面IOpm的面取向相对于面Ic (所述面Ic为 (0001)面和(000-1)面中的一个面)的倾斜小，例如，如果倾斜角α小于65°，那么在 该主面IOpm上生长的GaN单晶20的晶体生长表面20g相应地伴随有具有面取向(0001) 或(000-1)的小平面20fa和具有不同于小平面20fa的面取向的小平面20ft。本文中， 从具有面取向(0001)或(000-1)的小平面20fa中提取的杂质的浓度，与从具有不同于 (0001)和(000-1)的面取向的小平面20ft中提取的杂质的浓度明显不同。因此，在主面 IOpm的面取向相对于面lc(所述面Ic为(0001)面和(000-1)面中的一个面)的倾斜小 的GaN晶种衬底IOp的主面IOpm上生长的GaN单晶20中，在与GaN晶种衬底IOp的 主面IOpm平行的面中载流子浓度在很大范围内发生变化。相反，如果GaN晶种衬底IOp的主面IOpm的面取向相对于面Ic(所述面Ic为 (0001)面和(000-1)面中的一个面)的倾斜大且接近于直角，例如如果倾斜角α大于 85°，则在主面IOpm上生长的GaN单晶20的晶体生长表面20g处主要产生具有垂直于 (0001)的面取向的小平面20ft。因此，所生长的GaN单晶20发生部分多晶化，导致在
GaN单晶20中产生裂纹。鉴于上述问题，为了制造在主面20pm中具有基本均勻分布的载流子浓度的GaN 单晶衬底20p，要求GaN晶种衬底IOp的主面IOpm的面取向具有相对于面Ic为65° 85°的倾斜角α，所述面Ic为(0001)面和(000-1)面中的一个面，所述倾斜角优选为 70° 80°，更优选72° 78°。然后参考图3 (C)和(D)，在通过沿平行于GaN晶种衬底IOp的主面IOpm的面 20u、20v对GaN单晶20进行切割而形成GaN单晶衬底20p的步骤中，未将从GaN单晶 20切割出GaN单晶衬底20p的方法限制为特殊方法，例如可使用各种手段如线锯、内周 刀刃、外周刀刃或激光中的任意一种。本文中，根据目的，用于沿着其切割出GaN单晶 衬底20p的面可以适当地相对于与GaN晶种衬底IOp的主面平行的位置发生位移。为了生长高结晶度的基于GaN的半导体层，GaN单晶衬底20p的主面20pm的 平均粗糙度Ra优选为不超过50nm，更优选不超过5nm。测量表面平均粗糙度Ra的定义 和方式与上述类似。为了使得GaN单晶衬底20p的主面20pm的平均粗糙度Ra优选不超 过50nm且更优选不超过5nm，优选切割出的GaN单晶衬底20p具有被研削和/或研磨过 的主面20pm和侧面。研磨包括机械研磨、CMP (化学机械研磨)等。通过上述步骤，得到GaN单晶衬底20p，其具有面积为IOcm2以上的主面20pm 且所述主面20pm具有相对于面20c以65° 85°倾斜的面取向，所述面20c为(0001) 面和(000-1)面中的一个面，且所述GaN单晶衬底20p具有在主面20pm中基本均勻分布的载流子浓度(例如，主面20pm中的载流子浓度相对于该主面20pm中平均载流子浓度
的偏差在士50%以内)。 实施方案2A的实施例II参考图4，对本实施方案中制造GaN单晶衬底的方法的另一个实例(下文中以实 施例II表示)进行说明。参考图4(A)，在实施例II中，在准备GaN晶种衬底IOp的步骤中，准备上述实 施例I中制造的GaN单晶衬底。即，作为GaN晶种衬底10p，使用在上述实施例I中制 造的GaN单晶衬底。在上述实施例I中制造的GaN单晶衬底具有面积为IOcm2以上的主 面且所述主面具有相对于面IOc以65° 85°倾斜的面取向，所述面IOc为(0001)面和 (000-1)面中的一个面，此外，所述GaN单晶衬底具有在主面中均勻分布的载流子浓度 (例如，主面中载流子浓度相对于该主面中平均载流子浓度的偏差在士50%以内)。由 此，能够制造实施方案IA中的GaN单晶衬底。然后，参考图4(B)，除了由一个GaN单晶衬底代替多个GaN母晶片来形成GaN 晶种衬底IOp之外，在GaN晶种衬底IOp的主面IOpm上生长GaN单晶20的步骤与上述 实施例I中的相同。接下来，参考图4 (B)和(C)，通过沿与GaN晶种衬底IOp的主面IOpm平行的 面对GaN单晶20进行切割而形成GaN单晶衬底20p的步骤与上述实施例I中的类似。 本文中，根据目的，用于沿着其切割出GaN单晶衬底20p的面可适当地相对于与GaN晶 种衬底IOp的主面平行的位置发生位移。通过上述步骤，得到了 GaN单晶衬底20p，其具有面积为IOcm2以上的主面 20pm,且所述主面具有相对于面20c以65° 85°倾斜的面取向，所述面20c为(0001) 面和(000-1)面中的一个面，且所述GaN单晶衬底20p具有在主面20pm中基本均勻分布 的载流子浓度(例如，主面20pm中载流子浓度相对于该主面20pm中平均载流子浓度的 偏差在士50%以内)。如果能够从厚的GaN母晶上切割出具有如下主面的衬底，所述主面具有相对于 (0001)面和(000-1)面中的一个面以65° 85°的倾斜角α倾斜的面取向并具有IOcm2 以上的大面积，则可将所述衬底用作GaN晶种衬底。然而，对于这种方法，制造大面积 的GaN晶种衬底是非常困难和麻烦的。因此，与上述实施方案2Α中的实施例I相同， 从单个GaN母晶中切割出多个GaN母晶片并对所述多个GaN母晶片进行排列以形成GaN 晶种衬底是重要的。实施方案2Β参考图5和6，本实施方案中制造GaN单晶衬底的方法为制造实施方案IB或IC 中GaN单晶衬底20ρ的方法，所述方法包括如下步骤准备GaN晶种衬底IOp的步骤， 所述GaN晶种衬底IOp具有面积为IOcm2以上的主面10pm，所述主面IOpm具有相对于 面lc、IOc以65° 85°倾斜的面取向，所述面lc、IOc为(0001)面和(000-1)面中的 一个面(图5 (A) (D)、图6 (A))；在GaN晶种衬底IOp的主面IOpm上生长GaN单晶 20的步骤(图6(B))；以及通过沿与GaN晶种衬底IOp的主面IOpm平行的面20u、20v 对GaN单晶20进行切割而形成GaN单晶衬底20p的步骤(图6(C))。本实施方案中制 造GaN单晶衬底的方法包括上述步骤，从而能够有效地制造实施方案IB或IC中的GaN单晶衬底。准备GaN晶种衬底的步骤参考图5，尽管未将准备本实施方案中GaN晶种衬底的步骤限制为特殊的一 种，但是所述步骤包括例如从GaN母晶切割出多个GaN母晶片的子步(图5(A))、在 横向上相互邻近地排列多个GaN母晶片的子步(图5(B))、在多个GaN母晶片的主面上 生长GaN晶种的子步(图5(C))、以及由所述GaN晶种形成GaN晶种衬底的子步(图 5(D))。首先，参考图5(A)，在切割出多个GaN母晶片Ip的子步中，沿平行于面取向 {hkil}的面(沿垂直于<hkil>的方向的面)从GaN母晶1切割出多个GaN母晶片lp，所 述面取向丨hkil丨相对于面Ic以65° 85°的倾斜角α倾斜，所述面Ic为GaN母晶1 的(0001)面和(000-1)面中的一个面。利用该子步，获得了多个GaN母晶片lp，各个 GaN母晶片Ip的主面Ipm具有相对于面Ic以65° 85°的倾斜角α倾斜的面取向， 所述面Ic为(0001)面和(000-1)面中的一个面。本文中，通过X射线衍射可测量倾斜 角ct。未将用于上述子步中的GaN母晶1限制为特殊的一种母晶，例如所述GaN母 晶1可以为通过常用方法制造的任意一种，从而在具有(0001)面主面的蓝宝石衬底或具 有(Ill)A面主面的GaAs衬底的主面上生长晶体，所述常用方法即为气相法如HVPE和 MOCVD、以及液相法如助熔剂法中的任意一种方法。因此，尽管未将GaN母晶1限制 为特殊的一种，但是所述母晶通常具有(0001)面主面。为了降低位错密度并提高结晶 度，优选通过小平面生长法生长这种GaN母晶1，所述小平面生长法的特征在于，在生 长晶体的表面(晶体生长表面)上形成小平面，并在不掩埋所述小平面的条件下生长所述 晶体，如同在日本特开2001-102307号公报中所公开的。未将从GaN母晶1切割出多个GaN母晶片Ip的方法限制为特殊方法，例如可使 用多种手段如线锯、内周刀刃、外周刀刃或激光中的任意一种。为了生长高结晶度的GaN晶种10，多个GaN母晶片Ip的主面Ipm和侧面中各
个面的平均粗糙度Ra优选不超过50nm，更优选不超过5nm。表面的平均粗糙度Ra是 指由JIS B 0601: 2001规定的算术平均粗糙度Ra，具体地，是指通过如下确定的值从 粗糙度曲线中沿平均线延伸的方向上除去一部分基准长度，计算在所述除去部分中从平 均线到粗糙度曲线的距离之和(各个偏差的绝对值)，并用所述和除以基准长度。通过 AFM (原子力显微镜)等手段能够测量表面的平均粗糙度Ra。为了使得多个GaN母晶片Ip的主面Ipm和侧面中的各个面的平均粗糙度Ra优 选不超过50nm且更优选不超过5nm，优选多个切割出的GaN母晶片Ip各自具有被研削 和/或研磨过的主面Ipm和侧面。研磨包括机械研磨、CMP (化学机械研磨)等。然后，参考图5(B)，在横向上相互邻近地排列多个GaN母晶片的子步中，在横 向上相互邻近地排列多个切割出的GaN母晶片lp，使得母晶片的各个主面Ipm相互平行 且其各个
方向相同。关于多个GaN母晶片lp，如果主面Ipm和晶轴之间形成的各个角在母晶片的主 面Ipm中不均勻，则在母晶片的主面Ipm上生长的GaN晶种的化学组成在与母晶片的主 面Ipm平行的面中不均勻。因此，横向排列多个GaN母晶片lp，使得这些母晶片的各个主面Ipm相互平行。只要这些母晶片的各个主面Ipm相互平行，所述主面可不必在同 一面上。然而，相互邻近的两个GaN母晶片Ip的各个主面Ipm之间的水平差ΔΤ(未示 出)优选不超过0.1mm，更优选不超过0.01mm。此外，关于多个GaN母晶片lp，为了使得这些母晶片具有相同的晶体取向并因 此获得更均勻的晶体生长，横向排列所述GaN母晶片，使得这些母晶片的各个
方 向相同。另外，相互邻近地排列多个GaN母晶片lp，这是因为衬底之间的间隙(如果存 在)会劣化在所述间隙上生长的晶体的结晶度。利用上述子步，获得了多个GaN母晶片lp，在横向上相互邻近地排列所述多 个GaN母晶片lp，使得多个GaN母晶片Ip的各个主面Ipm相互平行，且母晶片的各个
方向相同，且主面Ipm具有相对于面Ic以65° 85°倾斜的面取向，所述面Ic 为(0001)面和(000-1)面中的一个面。然后，参考图5(C)，在多个GaN母晶片Ip的主面Ipm上生长GaN晶种10的 步骤中，未将生长GaN晶种10的方法限制为特殊方法。为了外延生长GaN晶种，优选 使用气相法如HVPE和MOCVD、以及液相法如助熔剂法中的任意一种。在晶体生长方 法中，优选HVPE法，这是因为其提供高的晶体生长速度。当已经在多个GaN母晶片Ip的主面Ipm上生长了 GaN晶种10时，GaN晶种 10的晶体生长表面IOg宏观上与多个GaN母晶片Ip的主面Ipm平行。然而，微观上， 形成与多个GaN母晶片Ip的主面Ipm不平行的多个小平面10fa、10ft。这种多个小平 面10fa、IOft各自具有相互不同的面取向。即，用包括多个小平面10fa、IOft的晶体生 长表面IOg生长GaN晶种10，所述小平面10fa、IOft各自具有相互不同的面取向。本文中，由于晶体生长表面IOg的小平面IOfa和小平面IOft各自具有相互不同 的面取向，所以在小平面IOfa和小平面IOft中的各个晶体元素序列相互不同。因此，在 小平面IOfa为晶体生长表面的生长部分中以及在小平面IOft为晶体生长表面的生长部分 中，各个位错传播的方向相互不同。因此，在多个GaN母晶片Ip的主面Ipm上生长的GaN晶种10中，在与母晶片
的主面Ipm平行的面中位错密度发生变化，导致在与母晶片的主面Ipm平行的面中变形 发生微观变化。此时，如果多个GaN母晶片Ip的主面Ipm的面取向相对于面lc(所述面Ic为 (0001)面和(000-1)面中的一个面)的倾斜小，例如，如果倾斜角α小于65°，那么相 应地在主面Ipm上生长的GaN晶种10的晶体生长表面IOg伴随有具有面取向(0001)或 (000-1)的小平面IOfa和具有不同于小平面IOfa的面取向的小平面10ft。本文中，在其 中具有面取向(0001)或(000-1)的小平面IOfa为晶体生长表面的生长部分中，位错在垂 直于(0001)或(000-1)的方向(即<0001>方向)上传播。在其中具有不同于(0001)和 (000-1)的面取向的小平面IOft为晶体生长表面的生长部分中，位错在相对于<0001>方 向倾斜的方向上传播。因此，在主面Ipm上生长的GaN晶种10中和在得自于所述晶种 的GaN晶种衬底IOp的主面IOpm中，位错密度发生巨大变化。此外，由于在GaN晶种 10中和得自所述晶种的GaN晶种衬底IOp的主面IOpm中变形发生微观变化，所以在这 种主面Ipm上生长的部分中局部发生巨大变形。因此，使用这种衬底的半导体器件具有 巨大的器件特性变化。
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相反，如果多个GaN母晶片Ip的主面Ipm的面取向相对于面lc(所述面Ic为 (0001)面和(000-1)面中的一个面)的倾斜大且接近于直角，例如如果倾斜角α大于 85°，则在主面Ipm上生长的GaN晶种10的晶体生长表面IOg处主要产生具有垂直于 (0001)的面取向的小平面10ft。因此，所生长的GaN晶种10发生部分多晶化，导致在 GaN晶种10中产生裂纹。鉴于上述问题，为了制造GaN晶种衬底10p，要求多个GaN母晶片Ip的主面 Ipm的面取向具有相对于面Ic为65° 85°的倾斜角α，所述面Ic为(0001)面和 (000-1)面中的一个面，所述倾斜角优选为70° 80°，更优选72° 78°。然后参考图5(C)和(D)，在通过沿平行于多个GaN母晶片Ip的主面Ipm的面 10u、IOv对GaN晶种10进行切割而形成GaN晶种衬底IOp的步骤中，未将从GaN晶种 10切割出GaN晶种衬底IOp的方法限制为特殊方法，例如可使用各种手段如线锯、内周 刀刃、外周刀刃或激光中的任意一种。为了生长高结晶度的GaN单晶，GaN晶种衬底IOp的主面IOpm的平均粗糙度 Ra优选不超过50nm，更优选不超过5nm。测量表面平均粗糙度Ra的定义和方式与上述 类似。为了使得GaN晶种衬底IOp的主面IOpm的平均粗糙度Ra优选不超过50nm且更 优选不超过5nm，优选切割出的GaN晶种衬底IOp具有被研削和/或研磨过的主面IOpm 和侧面。研磨包括机械研磨、CMP(化学机械研磨)等。通过上述子步，参考图5(D)和图6(A)，准备GaN晶种衬底10p，其具有面积 为IOcm2以上的主面10pm，且所述主面具有相对于面IOc以65° 85°倾斜的面取向， 所述面IOc为(0001)面和(000-1)面中的一个面。在得到了具有巨大厚度的GaN母晶的情况中，可利用下列方法来代替上述子 步。即，沿与面取向丨hkil丨平行的面(沿垂直于<hkil>方向的面)对这种GaN母晶进行 切割，所述面取向丨hkil丨相对于GaN母晶的(0001)面和(000-1)面中的一个面以65° 85°的倾斜角α倾斜，并对所述主面进行研削和/或研磨，从而制备具有主面IOpm的 GaN晶种衬底10ρ，所述主面IOpm具有IOcm2以上的面积并具有相对于(0001)面和 (000-1)面中的一个面以65° 85°倾斜的面取向。生长GaN单晶的步骤然后，参考图6(B)，在GaN晶种衬底IOp的主面IOpm上生长GaN单晶20的
步骤中，未将生长GaN单晶20的方法限制为特殊方法。为了外延生长所述GaN单晶， 优选使用气相法如HVPE和MOCVD、以及液相法如助熔剂法中的任意一种。在晶体生 长方法中，优选HVPE法，这是因为其可提供高的晶体生长速度。当已经在GaN晶种衬底IOp的主面IOpm上生长了 GaN单晶20时，GaN单晶 20的晶体生长表面20g宏观上与GaN晶种衬底IOp的主面IOpm平行。然而，微观上， 形成了与GaN晶种衬底IOp的主面IOpm不平行的多个小平面20fa、20ft。这种多个小 平面20fa、20ft各自具有相互不同的面取向。即，用包括小平面20fa、20ft的晶体生长 表面20g生长GaN单晶20，所述小平面20fa、20ft各自具有相互不同的面取向。本文中，由于晶体生长表面20g的小平面20fa和小平面20ft各自具有相互不同 的面取向，所以在小平面20fa和小平面20ft中各自晶体元素序列相互不同。因此，在小 平面20fa为晶体生长表面的生长部分中和在小平面20ft为晶体生长表面的生长部分中，各自位错传播的方向相互不同。因此，在GaN晶种衬底IOp的主面IOpm上生长的GaN单晶20中，在与GaN晶 种衬底IOp的主面IOpm平行的面中发生位错密度的变化。此外，在GaN晶种衬底IOp 的主面IOpm上生长的GaN单晶20中，在与GaN晶种衬底IOp的主面IOpm平行的面中 变形发生微观变化。此时，如果GaN晶种衬底IOp的主面IOpm的面取向相对于面10c(所述面IOc 为(0001)面和(000-1)面中的一个面)的倾斜小，例如，如果倾斜角α小于65°，那么 相应地在主面IOpm上生长的GaN单晶20的晶体生长表面20g伴随有具有面取向(0001) 或(000-1)的小平面20fa和具有不同于小平面20fa的面取向的小平面20ft。本文中，在 其中具有面取向(0001)或(000-1)的小平面20fa为晶体生长表面的生长部分中，位错在 垂直于(0001)或(000-1)的方向(即<0001>方向)上传播。在其中具有不同于(0001) 和(000-1)的面取向的小平面20ft为晶体生长表面的生长部分中，位错在相对于<0001> 方向倾斜的方向上传播。因此，在主面IOpm上生长的GaN单晶20中和在得自于所述单晶的GaN单晶衬 底20p的主面20pm中，位错密度发生巨大变化。此外，由于在主面IOpm上生长的GaN 单晶20中和得自所述单晶的GaN单晶衬底20p的主面20pm中变形发生微观变化，所以 局部发生巨大变形。因此，使用这种衬底的半导体器件具有巨大的器件特性变化。相反，如果GaN晶种衬底IOp的主面IOpm的面取向相对于面IOc (所述面IOc 为(0001)面和(000-1)面中的一个面)的倾斜大且接近于直角，例如如果倾斜角α大于 85°，则在主面IOpm上生长的GaN单晶20的晶体生长表面20g处主要产生具有垂直于 (0001)的面取向的小平面20ft。因此，所生长的GaN单晶20发生部分多晶化，导致在 GaN单晶20中产生裂纹。鉴于上述问题，为了制造具有在主面20pm中基本均勻分布的位错密度的GaN单 晶衬底20p，并为了制造在主面20pm中具有不超过5 X 10_5的光弹性变形值的GaN单晶衬 底20p，要求GaN晶种衬底IOp的主面IOpm的面取向具有相对于面IOc为65° 85°的 倾斜角α，所述面IOc为(0001)面和(000-1)面中的一个面，所述倾斜角优选为70° 80°，更优选72° 78°。形成GaN单晶衬底的步骤然后参考图6 (B)和(C)，在通过沿平行于GaN晶种衬底IOp的主面IOpm的面 20u、20v从GaN单晶20切割出GaN单晶衬底20p而形成GaN单晶衬底20p的步骤中， 未将从GaN单晶20切割出GaN单晶衬底20p的方法限制为特殊方法，例如可使用各种手 段如线锯、内周刀刃、外周刀刃或激光中的任意一种。为了生长高结晶度的基于GaN的半导体层，GaN单晶衬底20p的主面20pm的 平均粗糙度Ra优选不超过50nm，更优选不超过5nm。测量表面平均粗糙度Ra的定义和 方式与上述类似。为了使得GaN单晶衬底20p的主面20pm的平均粗糙度Ra优选不超过 50nm且更优选不超过5nm，优选切割出的GaN单晶衬底20p具有被研削和/或研磨过的 主面20pm和侧面。研磨包括机械研磨、CMP (化学机械研磨)等。通过上述步骤，得到了 GaN单晶衬底20p，其具有面积为IOcm2以上的主面 20pm,且所述主面具有相对于面20c以65° 85°倾斜的面取向，所述面20c为(0001)面和(000-1)面中的一个面，所述GaN单晶衬底20p具有在主面20pm中基本均勻分布的 位错密度(例如，主面20pm中的位错密度相对于该主面20pm中平均位错密度的偏差在 士 100%以内)，且具有不超过5X 10_5的光弹性变形值，所述光弹性变形值通过在25°C环 境温度下在垂直于主面20pm的方向上施加光时在主面20pm中任意点处的光弹性测得。基于GaN的半导体器件实施方案3参考图8，本发明另一实施方案中基于GaN的半导体器件100包含实施方案1中 的GaN单晶衬底20p、和在GaN单晶衬底20p的主面20pm上形成的至少一个基于GaN 的半导体层130。在本实施方案中的基于GaN的半导体器件100中，GaN单晶衬底20p具有面积 为IOcm2以上的主面20pm，主面20pm的面取向相对于面20c (所述面20c为(0001)面和 (000-1)面中的一个面)以65° 85°倾斜，且所述GaN单晶衬底20p具有主面20pm中 载流子浓度基本均勻分布(例如，主面20pm中的载流子浓度相对于该主面20pm中的平 均载流子浓度的偏差在士50%以内)、主面20pm中位错密度基本均勻分布(例如，主面 20pm中的位错密度相对于该主面20pm中的平均位错密度的偏差在士 100 %以内)且光弹 性变形值为5X 10_5以下中的至少一种特性，其中所述光弹性变形值通过在25°C环境温度 下在垂直于主面施加光时在主面20pm中任意点处的光弹性测得。因此，本实施方案中基 于GaN的半导体器件具有在主面中基本均勻分布的器件特性，并具有优异的器件特性。 关于本实施方案中的器件，例如在GaN单晶衬底20p (其中在主面20pm中载流子浓度的 分布基本均勻)上形成电极的情况下，在所述单晶衬底与所述电极之间接触电阻的分布 基本均勻。参考图8，本实施方案中的基于GaN的半导体器件100包括在50mm直 径X 500 μ m厚度的GaN单晶衬底20p的一个主面20pm上形成至少一个基于GaN的半 导体层130。该基于GaN的半导体层包括依次堆叠的具有2 μ m厚度的Si掺杂的η型 GaN层131、具有由六对InatllGaa99N阻挡层和IncuGaa9N阱层形成的多量子阱结构并具有 IOOnm厚度的发光层132、具有20nm厚度的Mg掺杂的ρ型Alai8Gaa82N层133、以及具 有50nm厚度的Mg掺杂的ρ型GaN层134。在ρ型GaN层134表面的一部分上，形成 作为P侧电极的0.2mmX0.2mmX0.5ym厚度的Ni/Au电极。此外，在GaN单晶衬底 20p的另一个主面20pn上，形成作为η侧电极142的具有1 μ m厚度的Ti/Al电极。制造基于GaN的半导体器件的方法实施方案4参考图8，本发明另一个实施方案中制造基于GaN的半导体器件100的方法包 括准备实施方案1中GaN单晶衬底20p的步骤、以及在GaN单晶衬底20p的主面20pm 上生长至少一个基于GaN的半导体层130的步骤。根据本实施方案中制造基于GaN的半导体器件100的方法，在GaN单晶衬底 20p上外延生长至少一个基于GaN的半导体层130。GaN单晶衬底20p的主面20pm具 有IOcm2以上的面积。主面20pm的面取向相对于面20c以65° 85°倾斜，所述面20c 为(0001)面和(000-1)面中的一个面。GaN单晶衬底20p具有主面20pm中载流子浓度 基本均勻分布(例如，主面20pm中的载流子浓度相对于该主面20pm中的平均载流子浓度的偏差在士50%以内)、主面20pm中位错密度基本均勻分布(例如，主面20pm中的 位错密度相对于该主面20pm中的平均位错密度的偏差在士100%以内)且光弹性变形值 为5X 10_5以下中的至少一种特性，所述光弹性变形值通过在25°C环境温度下在垂直于主 面20pm施加光时在主面20pm中任意点处的光弹性测得。因此，本实施方案中制造基于 GaN的半导体器件的方法提供了具有在主面中基本均勻分布的器件特性并具有优异器件 特性的基于GaN的半导体器件。例如，当在具有主面20pm中载流子浓度基本均勻分布、 主面20pm中位错密度基本均勻分布且光弹性变形值(所述光弹性变形值通过在25°C环境 温度下在垂直于主面20pm施加光时在主面20pm中任意点处的光弹性测得)为5X 10_5以 下中的至少一种特性的GaN单晶衬底20p上形成电极时，在单晶衬底和电极之间的接触 电阻的分布基本均勻。例如，根据上述实施方案2中制造GaN单晶衬底20p的方法，实施准备实施方案 1中的GaN单晶衬底20p的步骤。本文中，实施方案1中的GaN单晶衬底20p具有面积 为IOcm2以上的主面20pm且所述主面具有相对于面20c以65° 85°倾斜的面取向，所 述面20c为(0001)面和(000-1)面中的一个面，且所述GaN单晶衬底20p具有主面20pm 中载流子浓度基本均勻分布(例如，主面20pm中的载流子浓度相对于该主面20pm中的 平均载流子浓度的偏差在士50%以内)、主面20pm中位错密度基本均勻分布(例如，主 面20pm中的位错密度相对于该主面20pm中的平均位错密度的偏差在士100%以内)且 光弹性变形值为5X 10_5以下中的至少一种特性，所述光弹性变形值通过在25°C环境温度 下在垂直于主面20pm施加光时在主面20pm中任意点处的光弹性测得。未将在GaN单晶衬底20p的主面20pm上生长至少一个基于GaN的半导体层130 的方法限制为特殊方法。为了外延生长高结晶度的基于GaN的半导体层130，优选使用 HVPE、MOCVD, MBE(分子束外延)等。出于高产率和高可靠性方面的考虑，更优选 使用MOCVD。参考图8，在GaN单晶衬底20p上形成至少一个基于GaN的半导体层130的步骤 中，例如使用MOCVD在50mm直径X 0.4mm厚度的GaN单晶衬底20p的一个主面20pm 上生长至少一个基于GaN的半导体层130。具体地，依次形成具有2 μ m厚度的Si掺杂 的η型GaN层131、具有由六对IncuilGaa99N阻挡层和IncuGaa9N阱层形成的多量子阱结构 并具有IOOnm厚度的发光层132、具有20nm厚度的Mg掺杂的ρ型Alcu8Gaa82N层133、 以及具有50nm厚度的Mg掺杂的ρ型GaN层134。此外，在ρ型GaN层134表面的一部分上，通过真空沉积法形成作为ρ侧电极 141的厚度为0.5μιη的Ni/Au电极。此外，在GaN单晶衬底20p的另一个主面20pn上， 利用真空沉积法形成作为η侧电极142的具有1 μ m厚度的Ti/Al电极。其次，将包括GaN单晶衬底20p上形成的至少一种基于GaN的半导体层130的 晶片(wafer)划分成具有预定大小的芯片，从而获得具有预定大小的发光器件。
实施例制造GaN母晶A以下列方式制造GaN母晶A。在具有50mm直径和0.8mm厚度的GaAs衬底 (基部衬底)的主面(Ill)A面上形成SiO层(掩模层)，其具有IOOnm的厚度，且其中通
19过光刻和腐蚀以六方紧密堆积的方式以4μιη间距在两维上排列多个具有2 μ m直径的开 口。然后，在所述GaAs衬底的已经形成了具有多个开口的SiO层的主面上，实施HVPE 法以在500°C下生长80nm厚的GaN低温层。接下来，在950°C下生长60 μ m厚的GaN 中间层。其后，在1050°C下，生长5mm厚的GaN母晶A。然后，利用王水进行腐蚀， 从GaN母晶A上将GaAs衬底除去，从而得到具有50_直径和3mm厚度的GaN母晶 A。实施例Al1.准备GaN晶种衬底参考图3(A)，对分别作为GaN母晶A(GaN母晶1)两个主面的(0001)面和 (000-1)面Ic进行研削和研磨，使得两个主面的平均粗糙度Ra为5nm。本文中，利用 AFM测量表面的平均粗糙度Ra。其次，参考图3(A)，沿与{20-21}面平行的面(沿垂直于<20_21>方向的面)对 两个主面的平均粗糙度Ra为5nm的GaN母晶1进行切片，从而切割出具有主面丨20-21} 的多个GaN母晶片lp。随后，对各个切割出的GaN母晶片Ip的四个未研削和未研磨的 侧面进行研削和研磨，使得这四个侧面的平均粗糙度Ra为5nm。以此方式，得到主面 {20-21}的平均粗糙度Ra为5nm的多个GaN母晶片lp。这些GaN母晶片Ip包括主面 面取向并不完全等同于丨20-21丨的晶体片。然而，对于任意一种晶体片，主面的面取向 具有相对于丨20-21丨在士0.1°以内的倾斜角。本文中，通过X射线衍射来测量所述倾斜然后，参考图3(B)，在横向上相互邻近地排列多个GaN母晶片lp，使得多个 GaN母晶片Ip的各个{20-21}主面Ipm相互平行且这些GaN母晶片Ip各自的
方 向相同的方式。此外，部分地除去外周部分。以此方式，准备50mm直径的GaN晶种 衬底10p。2.生长GaN单晶然后，参考图3(C)，在10体积％氯化氢气体和90体积％氮气的气体混合物气 氛中并在800°C下对上述GaN晶种衬底IOp的{20-21}的主面IOpm处理两小时。其后， 在该主面IOpm上，在1050°C的晶体生长温度下并在80 μ m/小时的生长速度下，实施 HVPE法并持续50小时以生长GaN单晶20。3.形成GaN单晶衬底然后，参考图3(D)，沿与GaN晶种衬底IOp的{20-21丨主面IOpm平行的面 20u、20v对上述GaN单晶20进行切片，从而得到GaN单晶衬底20p，所述GaN单晶衬 底20p具有面取向为丨20-21丨的主面20pm、并具有50mm的直径和0.5mm的厚度。对 于GaN单晶衬底20p，对主面20pm进行进一步的研削和研磨，使得主面20pm的平均粗 糙度Ra为5nm。参考图7 (A)，GaN单晶衬底20p的丨20-21}的主面20pm具有相对于 (0001)面20c为75°的倾斜角α。利用范德堡法，在主面20pm的从中心向外周的但除了周边部分中的测量点之外 的400个测量点处，在沿相互正交的两个方向中的各个方向上以2mm间距，对以上述方 式形成的GaN单晶衬底20p的主面20pm中的载流子浓度进行测量。平均载流子浓度为 5.7X1017cm3，最小载流子浓度为3.9X 1017cm3，最大载流子浓度为7.2X 1017cm3。因此，在主面中载流子浓度相对于平均载流子浓度的偏差为-31.6% +26.3%的小偏差。此外，利用范德堡法，在主面20pm的从中心向外周的但除了周边部分中的测 量点之外的400个测量点处，在沿相互正交的两个方向中的各个方向上以2mm间距，对 GaN单晶衬底20p的主面20pm中的比电阻进行测量。平均比电阻为0.019 Ω · cm，最 小比电阻为0.014Ω · cm,最大比电阻为0.026Ω · cm。 因此，在主面中比电阻相对于 平均比电阻的偏差为-26% +37%的小偏差。4.制造基于GaN的半导体器件然后，参考图8，在GaN单晶衬底20p(50mm直径X0.4mm厚度)的一个主 面20pm上，实施MOCVD法以生长至少一个基于GaN的半导体层130。具体地，依次 生长具有2ym厚度的Si掺杂的η型GaN层131 (平均载流子浓度2X IO18Cm 3)， 具有由六对IncuilGaa99N阻挡层和IncuGaa9N阱层形成的多量子阱结构并具有IOOnm厚度 的发光层132，具有20nm厚度的Mg掺杂的ρ型Alcu8Gaa82N层133 (平均载流子浓度 SXlO1W3),以及具有50nm厚度的Mg掺杂的ρ型GaN层134(平均载流子浓度
1 X IO1W3)。然后，通过真空沉积法，在ρ型GaN层134上沿相互正交的两个方向，以Imm 的间距形成0.2111111\0.2111111\0.5“111厚度的浊/入11电极作为卩侧电极141。此外，在GaN 单晶衬底20p的另一个主面20pn上，利用真空沉积法形成具有1 μ m厚度的Ti/Al电极作 为η侧电极142。然后，将包括在GaN单晶衬底20ρ上形成的上述至少一个基于GaN的半导体层 130的晶片(但晶片中在GaN单晶衬底20ρ的主面20pm中未测量载流子浓度和比电阻的 分布的外周部分除外)划分成多个ImmX Imm的芯片，即基于GaN的半导体器件(由所 述晶片生产芯片)，使得各个ρ侧电极位于各个芯片的中心处。以此方式获得的基于GaN 的半导体器件100为具有450nm发射峰值波长的LED (发光二极管)。对于具有上述芯片形式的1600个LED，通过亮度测量集分球，对以上述方式制 造的LED (基于GaN的半导体器件100)主面的亮度进行测量。将本实施例Al中得到的 LED的平均亮度用作平均相对亮度1.0，并表述了关于实施例Al A4和比较例RA3、 RA4中各个例子的平均相对亮度以及相对亮度的样本方差。在该实施例Al中制造的LED 具有大的平均相对亮度1.0，并具有小的相对亮度的样本方差0.12。将结果总结于表1 中。实施例A2参考图3(A) (D)，以与实施例Al类似的方式形成具有丨20-2-1丨面取向的主 面20pm的GaN单晶衬底20p，除了在准备GaN晶种衬底IOp的步骤中，沿与丨20-2-1} 面平行的面(沿垂直于<20-2-1>方向的面)对两个主面的平均粗糙度Ra为5nm的GaN 母晶A(GaN母晶1)进行切片，从而切割出各自具有丨20-2-1丨主面的多个GaN母晶片 Ip,对所述晶片的主面进行研削和研磨，并使用所得的GaN母晶片lp，所述GaN母晶片 Ip的各个主面具有5nm的平均粗糙度Ra。参考图7 (B)，GaN单晶衬底20p的丨20-2-1} 主面20pm具有相对于(000-1)面20c为75°的倾斜角α。关于以上述方式形成的GaN单晶衬底20ρ的主面20pm中的载流子浓度，平 均载流子浓度为7.1 X 1017cm3，最小载流子浓度为5.0X 1017cm3，且最大载流子浓度为8.2X1017cm3。因此，在主面中载流子浓度相对于平均载流子浓度的偏差为-29.6% +15.5%的小偏差。关于GaN单晶衬底20p的主面20pm中的比电阻，平均比电阻为 0.016 Ω · cm,最小比电阻为0.012Ω · cm,且最大比电阻为0.020 Ω · cm。 因此，主 面中比电阻相对于平均比电阻的偏差为-25% +25%的小偏差。此外，以类似于实施例Al的方式，使用这种GaN单晶衬底20p来制造各自为基 于GaN的半导体器件的LED。关于所制造的LED (基于GaN的半导体器件100)的主面 的亮度，所述LED具有大的平均相对亮度1.2和小的相对亮度样本方差0.11。将结果总 结于表1中。实施例A3参考图3(A) (D)，以与实施例Al类似的方式形成主面20pm面取向为 {22-42}的GaN单晶衬底20p，除了在准备GaN晶种衬底IOp的步骤中，沿与丨22-42}面 平行的面(沿垂直于<22-42>方向的面)对两个主面的平均粗糙度Ra为5nm的GaN母 晶A(GaN母晶1)进行切片，从而切割出各自具有丨22-42丨主面的多个GaN母晶片lp， 对所述晶片的主面进行研削和研磨，并使用所得的GaN母晶片lp，所述GaN母晶片Ip 的各个主面具有5nm的平均粗糙度Ra。参考图7 (C)，GaN单晶衬底20p的丨22-42丨主 面20pm具有相对于(000-1)面20c为73°的倾斜角α。关于以上述方式形成的GaN单晶衬底20ρ的主面20pm中的载流子浓度，平 均载流子浓度为6.1 X IO17cm3,最小载流子浓度为3.5 X IO17cm3,且最大载流子浓度为 SJXIOiW30因此，在主面中载流子浓度相对于平均载流子浓度的偏差为-42.6% +42.6%的小偏差。关于GaN单晶衬底20p的主面20pm中的比电阻，平均比电阻为 0.020 Ω · cm,最小比电阻为0.012 Ω · cm,且最大比电阻为0.029 Ω · cm。 因此，主 面中比电阻相对于平均比电阻的偏差为-40% +45%的小偏差。此外，以类似于实施例Al的方式，使用这种GaN单晶衬底20p来制造各自为基 于GaN的半导体器件的LED。关于制造的LED (基于GaN的半导体器件100)的主面的 亮度，所述LED具有大的平均相对亮度0.9和小的相对亮度样本方差0.14。将结果总结 于表1中。实施例A4参考图3(A) (D)，以与实施例Al类似的方式形成具有丨22-4-2丨面取向的主 面20pm的GaN单晶衬底20p，除了在准备GaN晶种衬底IOp的步骤中，沿与丨22-4-2} 面平行的面(沿垂直于<22-4-2>方向的面)对两个主面的平均粗糙度Ra为5nm的GaN 母晶A(GaN母晶1)进行切片，从而切割出各自具有丨22-4-2丨主面的多个GaN母晶片 Ip,对所述晶片的主面进行研削和研磨，并使用所得的GaN母晶片lp，所述GaN母晶片 Ip的各个主面具有5nm的平均粗糙度Ra。参考图7 (D)，GaN单晶衬底20p的丨22-4-2} 主面20pm具有相对于(000-1)面20c为73°的倾斜角α。关于以上述方式形成的GaN单晶衬底20ρ的主面20pm中的载流子浓度，平 均载流子浓度为8.5 X IO17cm3,最小载流子浓度为5.0 X IO17cm3,且最大载流子浓度为 1.25X1018cm3。因此，在主面中载流子浓度相对于平均载流子浓度的偏差为-41.2% +47.1%的小偏差。关于GaN单晶衬底20p的主面20pm中的比电阻，平均比电阻为 0.015 Ω · cm,最小比电阻为0.008 Ω · cm,且最大比电阻为0.020 Ω · cm。 因此，主面中比电阻相对于平均比电阻的偏差为-47 % +33 %的小偏差。此外，以类似于实施例Al的方式，使用这种GaN单晶衬底20p来制造各自为基 于GaN的半导体器件的LED。关于制造的LED (基于GaN的半导体器件100)的主面的 亮度，所述LED具有大的平均相对亮度0.86和小的相对亮度样本方差0.14。将结果总结 于表1中。比较例RAl参考图3(A) (D)，以与实施例Al类似的方式生长了 GaN单晶20，除了在准 备GaN晶种衬底IOp的步骤中，沿与丨10-10丨面平行的面(沿垂直于<10_10>方向的面) 对两个主面的平均粗糙度Ra为5nm的GaN母晶A(GaN母晶1)进行切片，从而切割出 各自具有丨10-10丨主面的多个GaN母晶片lp，对所述晶片的主面进行研削和研磨，并使 用所得的GaN母晶片lp，所述GaN母晶片Ip的各个主面具有5nm的平均粗糙度Ra。 GaN单晶20发生部分多晶化，且从多晶化部分产生裂纹。因此，不能获得GaN单晶衬 底，并因此不能制造基于GaN的半导体器件。将结果总结于表1中。比较例RA2参考图3(A) (D)，以与实施例Al类似的方式生长GaN单晶20，除了在准备 GaN晶种衬底IOp的步骤中，沿与{11-20}面平行的面(沿垂直于<11-20>方向的面)对 两个主面的平均粗糙度Ra为5nm的GaN母晶A (GaN母晶1)进行切片，从而切割出各自 具有丨11-20丨主面的多个GaN母晶片lp，对所述晶片的主面进行研削和研磨，并使用所 得的GaN母晶片lp，所述GaN母晶片Ip的各个主面具有5nm的平均粗糙度Ra。GaN 单晶20发生部分多晶化，且从多晶化部分产生裂纹。因此，不能获得GaN单晶衬底， 并因此不能制造基于GaN的半导体器件。将结果总结于表1中。比较例RA3参考图3(A) (D)，以与实施例Al类似的方式形成具有{10-11丨面取向的主 面20pm的GaN单晶衬底20p，除了在准备GaN晶种衬底IOp的步骤中，沿与{10-11}面 平行的面(沿垂直于<10-11>方向的面)对两个主面的平均粗糙度Ra为5nm的GaN母 晶A(GaN母晶1)进行切片，从而切割出各自具有U0-11丨主面的多个GaN母晶片lp， 对所述晶片的主面进行研削和研磨，并使用所得的GaN母晶片lp，所述GaN母晶片Ip 的各个主面具有5nm的平均粗糙度Ra。GaN单晶衬底20p的丨10_11丨主面具有相对于 (0001)面为62°的倾斜角α。关于以上述方式形成的GaN单晶衬底20ρ的主面20pm中的载流子浓度，平 均载流子浓度为4.5 X IO17cm3,最小载流子浓度为3.5 X IO16cm3,且最大载流子浓度为 7.1 X IO1W30因此，在主面中载流子浓度相对于平均载流子浓度的偏差为-92.2% +57.8%的大偏差。关于GaN单晶衬底20p的主面20pm中的比电阻，平均比电阻为 0.073 Ω · cm,最小比电阻为0.014 Ω · cm,且最大比电阻为0.29 Ω · cm。 因此，主 面中比电阻相对于平均比电阻的偏差为-81% +297%的大偏差。此外，以类似于实施例Al的方式，使用这种GaN单晶衬底20p来制造各自为基 于GaN的半导体器件的LED。关于制造的LED (基于GaN的半导体器件100)的主面的 亮度，所述LED具有小的平均相对亮度0.55和大的相对亮度样本方差0.35。将结果总结 于表1中。
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比较例RA4参考图3(A) (D)，以与实施例Al类似的方式形成具有{11-22丨面取向的主 面20pm的GaN单晶衬底20p，除了在准备GaN晶种衬底IOp的步骤中，沿与{11-22}面 平行的面(沿垂直于<11_22>方向的面)对两个主面的平均粗糙度Ra为5nm的GaN母 晶A(GaN母晶1)进行切片，从而切割出各自具有U1-22丨主面的多个GaN母晶片lp， 对所述晶片的主面进行研削和研磨，并使用所得的GaN母晶片lp，所述GaN母晶片Ip 的各个主面具有5nm的平均粗糙度Ra。GaN单晶衬底20p的丨11_22丨主面具有相对于 (0001)面为58°的倾斜角α。关于以上述方式形成的GaN单晶衬底20ρ的主面20pm中的载流子浓度，平 均载流子浓度为4.9 X IO17cm3,最小载流子浓度为3.1 X IO16cm3,且最大载流子浓度为 6.8X1017cm3。因此，在主面中载流子浓度相对于平均载流子浓度的偏差为-93.7% +38.8%的大偏差。关于GaN单晶衬底20p的主面20pm中的比电阻，平均比电阻为 0.11 Ω · cm,最小比电阻为0.015 Ω · cm,且最大比电阻为0.32 Ω · cm。 因此，主面 中比电阻相对于平均比电阻的偏差为-86% +190%的大偏差。此外，以类似于实施例Al的方式，使用这种GaN单晶衬底20p来制造各自为基 于GaN的半导体器件的LED。关于制造的LED (基于GaN的半导体器件100)的主面的 亮度，所述LED具有小的平均相对亮度0.41和大的相对亮度样本方差0.31。将结果总结 于表1中。
权利要求
1.一种GaN单晶衬底，其具有面积为IOcm2以上的主面，所述主面具有相对于(0001)面和(000-1)面中的一个面以65° 85°倾斜的面取向，所述衬底具有在所述主 面中载流子浓度基本均勻分布、在所述主面中位错密度基本均勻分布和光弹性变形值为 5X ΙΟ"5以下中的至少一种特性，所述光弹性变形值通过在25°C环境温度下在垂直于所述 主面施加光时在所述主面中的任意点处的光弹性测得。
2.如权利要求1所述的GaN单晶衬底，其中在所述主面中的载流子浓度相对于所述 主面中的平均载流子浓度的偏差在士50%以内。
3.如权利要求1所述的GaN单晶衬底，其中在所述主面中比电阻的分布基本上是均 勻的。
4.如权利要求3所述的GaN单晶衬底，其中在所述主面中的比电阻相对于所述主面 中的平均比电阻的偏差在士50%以内。
5.如权利要求3所述的GaN单晶衬底，其中在所述主面中的平均比电阻为0.1下。
6.如权利要求1所述的GaN单晶衬底，其中在所述主面中的位错密度相对于所述主 面中的平均位错密度的偏差在士 100%以内。
7.如权利要求1所述的GaN单晶衬底，其中在所述主面中的位错密度为5X106cm2 以下。
8.如权利要求1所述的GaN单晶衬底，其中在所述主面中的所述光弹性变形值相对 于所述主面中的所述光弹性变形值的平均值的偏差在士 100 %以内。
9.如权利要求1所述的GaN单晶衬底，其中所述主面的面取向相对于(0001)面和 (000-1)面中的一个面以<10-10>方向倾斜。
10.如权利要求1所述的GaN单晶衬底，其中通过X射线衍射摇摆曲线测量法对(0002)面和(20-20)面的组合、以及(0002)面和(22-40)面的组合中的一种组合进行测 量而得到的X射线衍射峰的半宽度，在整个所述主面中为300弧秒以下。
11.一种制造权利要求1的GaN单晶衬底的方法，所述方法包括如下步骤准备主面面积为IOcm2以上的GaN晶种衬底，所述主面具有相对于(0001)面和 (000-1)面中的一个面以65° 85°倾斜的面取向；在所述GaN晶种衬底的所述主面上生长GaN单晶；以及通过沿与所述GaN晶种衬底的所述主面平行的面对所述GaN单晶进行切割而形成所 述GaN单晶衬底。
12.—种基于GaN的半导体器件，所述半导体器件包含权利要求1的GaN单晶衬 底，以及在所述GaN单晶衬底的所述主面上形成的至少一个基于GaN的半导体层。
13.—种制造基于GaN的半导体器件的方法，所述方法包括如下步骤 准备权利要求1的GaN单晶衬底；以及在所述GaN单晶衬底的所述主面上生长至少一个基于GaN的半导体层。
全文摘要
本发明提供GaN单晶衬底、基于GaN的半导体器件及它们的制造方法。所述GaN单晶衬底具有面积为10cm2以上的主面，所述主面具有相对于(0001)面和(000-1)面中的一个面以65°～85°倾斜的面取向，所述衬底具有在所述主面中载流子浓度基本均匀分布、在所述主面中位错密度基本均匀分布和光弹性变形值不超过5×10-5中的至少一种特性，所述光弹性变形值通过在25℃环境温度下在垂直于所述主面施加光时在所述主面中任意点处的光弹性测得。因此，能够获得GaN单晶衬底，所述GaN单晶衬底适用于制造具有小的特性偏差的基于GaN的半导体器件。
文档编号H01L21/20GK102011191SQ20101024331
公开日2011年4月13日 申请日期2010年7月30日 优先权日2009年9月4日
发明者上松康二, 中畑成二, 藤原伸介, 长田英树 申请人:住友电气工业株式会社