专利名称：太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板的制作方法
技术领域：
太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板技术领域[0001]本实用新型涉及太阳能电池链式湿法刻蚀设备技术领域，特别是一种太阳能电 池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板。
背景技术：
[0002]现有太阳能电池链式湿法刻蚀设备如RENA Inoxside机台的刻蚀槽盖板的形状 设计均为平面形。在生产过程中，由于酸气的挥发，较长时间后便会在盖板处聚集众多 液滴。当液体聚集到一定量后，由于自身重力，将低落到正常生产时经过的硅片扩散面 上，从而造成扩散面异常，形成不良片。实用新型内容[0003]本实用新型所要解决的技术问题是避免刻蚀槽盖板上的液滴滴落在硅片扩散 面上，从而减少出现液滴片的概率，降低不良片发生几率。[0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是一种太阳能电池链式湿法刻 蚀设备的刻蚀槽盖板，刻蚀槽盖板为弧形，盖板中部高，四周低。[0005]刻蚀槽盖板的一端与刻蚀槽通过铰链连接，在铰接处的相对侧上设置把手。[0006]本实用新型的有益效果是通过改变刻蚀槽盖板的形状，将平面形盖板设计成 弧面形，使得酸气聚集成液滴后可沿盖板流至机台边缘而回到刻蚀槽中，目前由液滴造 成的不良片比例大约为0.1%左右。本设计可减少刻蚀槽液滴滴落到硅片扩散面上的几 率，从而降低由液滴滴落造成的不良片的比例。
[0007]
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明；[0008]图1是本实用新型的刻蚀槽盖板的结构示意图；[0009]其中1.刻蚀槽盖板，2.刻蚀槽，3.把手，4.酸气，5.液滴。
具体实施方式
[0010]现在结合附图1对本实用新型作进一步详细的说明。该附图均为简化的示意 图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构 成。[0011]一种太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板，刻蚀槽盖板1为弧形，盖板 中部高，四周低，酸气聚集成液滴后可沿盖板流至机台边缘而回到刻蚀槽2中。刻蚀槽 盖板1的一端与刻蚀槽2通过铰链连接，在铰接处的相对侧上设置把手3。
权利要求1.一种太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板，其特征是所述的刻蚀槽盖板 (1)为弧形，盖板中部高，四周低。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板，其特征是所述的刻蚀槽盖板(1)的一端与刻蚀槽( 通过铰链连接，在铰接处的相对侧上设置把手 ⑶。
专利摘要本实用新型涉及太阳能电池链式湿法刻蚀设备技术领域，特别是一种太阳能电池链式湿法刻蚀设备的刻蚀槽盖板。刻蚀槽盖板为弧形，盖板中部高，四周低，通过改变刻蚀槽盖板的形状，使得酸气聚集成液滴后可沿盖板流至机台边缘而回到刻蚀槽中，目前由液滴造成的不良片比例大约为0.1％左右。本设计可减少刻蚀槽液滴滴落到硅片扩散面上的几率，从而降低由液滴滴落造成的不良片的比例。
文档编号H01L31/18GK201809440SQ20102054842
公开日2011年4月27日 申请日期2010年9月29日 优先权日2010年9月29日
发明者孟利萍 申请人:常州天合光能有限公司