专利名称：一种气压驱动式热油循环装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体工艺制造装置，尤其涉及一种气压驱动式热油循环装置。
背景技术：
在半导体生产加工过程中，薄膜扩散炉管机台由于其工艺要求，在机台内要求温 度稳定在180度左右，图1为现有技术中泵驱动式热油循环装置的结构示意图，如图1所 示，泵驱动式热油循环装置包括储油箱20中的热油经过管路流入加热箱11在加热箱中被 加热器加热到预定温度后，在油泵30的推动下流入机台40，在机台40进行热交换后，流经 热交换器13最终回流到加热箱11，其中在油泵30和机台40之间还设置有温度传感器21 以确保流入机台的热油的温度，在交换机13和加热箱11之间还设置有一管路，在热交换器 13上还设置有冷却水循环管路，包括冷却水源50以及用于控制水流的控制阀17、19，其中 所述油泵30是整个装置中热油运动的源泉，为了使循环装置具有良好的密封性，所述油泵 30中的叶轮与腔体需要密封接触，则在长时间运转后叶轮与腔体的磨损十分严重，产生大 量的铁或铜碎屑，进入到热油中，同时油泵30中的叶轮支撑轴承使用的石墨套，长时间运 行也会磨损更为严重，大量石墨进入热油中，使热油变为黑色，并含有很多杂质。更为严重 的是，如果叶片泵中途损坏的话，热油在无压力的情况下，运行速度改变，则热油的温度会 发生变化，直接影响产品膜厚度造成的机台停止工作甚至产品报废的情况。并且现有技术中泵驱动式热油循环装置每半年需要更换一次油泵，每个油泵的价 格在1000美元以上，并且每半年需要更换4桶介质煤油在1500美元以上，成本高，耗费巨 大。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是，提供一种利用气压驱动的热油循环装置，从而 解决现有技术中磨损严重、热油使用寿命短的问题。为解决上述问题，本实用新型提供一种气压驱动式热油循环装置，与机台通过管 路连通，包括热交换器，与所述机台通过管路连通；供应热油箱，与所述热交换器通过管路连通；至少两个并联的循环热油箱，所述循环热油箱与所述机台、所述热交换器构成循 环，所述循环热油箱还与所述供应热油箱通过管路连通；驱动气源，与每个所述循环热油箱均通过气路连通。进一步的，所述热交换器与每个所述循环热油箱之间均设置有单向阀。进一步的，每个所述循环热油箱与所述供应热油箱、所述热交换器以及所述机台 连通的管路上均设置有电磁控制阀。可选的，每个所述循环热油箱与所述驱动气源之间设置有电磁控制阀。[0013]进一步的，所述热交换器包括冷却管道和加热管道。进一步的，所述热交换器设有温度检测装置。可选的，所述驱动气源供应的气体为压缩空气或氮气。综上所述，本实用新型通过提供一种利用气压驱动的热油循环装置，解决现有技 术中磨损严重、热油使用寿命短的问题，达到了无磨损的热量传递、减少浪费、方便维护且 延长热油的使用寿命的目的。
图1为现有技术中泵驱动式热油循环装置的结构示意图。图2为本实用新型一实施例中气压驱动式热油循环装置的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本实用新型的内 容作进一步说明。当然本实用新型并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知 的一般替换也涵盖在本实用新型的保护范围内。其次，本实用新型利用示意图进行了详细的表述，在详述本实用新型实例时，为了 便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本实用新型的限定。本实用新型的核心思想是通过提供一种气压驱动式热油循环装置，所述循环装 置包括热交换器和至少两个并联的循环热油箱，所述循环热油箱与驱动气源气路相通，在 驱动气源的气体压力下，热油在所述循环装置内循环流动，从而达到通过气压的热量传递 方式，避免使用油泵引起的磨损、方便维护且延长热油的使用寿命的目的。图2为本实用新型一实施例中气压驱动式热油循环装置的结构示意图，请参考图 2，本实用新型提供一种气压驱动式热油循环装置，与机台100通过管路连通，包括热交换 器200，与所述机台100通过管路连通；供应热油箱201，与所述热交换器200通过管路连 通；至少两个并联的循环热油箱，在本实施例中，包括第一循环热油箱202、第二循环热油 箱203，所述循环热油箱与所述机台100、所述热交换器200构成循环，所述循环热油箱还与 所述供应热油箱201通过管路连通；驱动气源207，与每个所述循环热油箱，包括第一循环 热油箱202、第二循环热油箱203均通过气路连通。所述供应热油箱201中存有多余的热油，当循环装置内部油量较低时，供应热油 箱201向热交换器200中补充热油，保证循环装置的正常工作。在本实施例中，第一循环热 油箱202与第二循环热油箱203并联，且交替使用，例如当第一循环热油箱202使用时，第 二循环热油箱203停止工作，所述热油在热交换器200中加热到指定温度后流经第一循环 热油箱202，在驱动气源207的压力作用下热油流入机台进行热交换，完成热交换后流回热 交换器200中进行加热。当第一循环热油箱202的液位降到低位时，第二循环热油箱203开 始工作，循环往复。所述循环热油箱202、203与所述供应热油箱201管路相通可以将循环热 油箱202、203中多余的热油或热油蒸汽排入供应热油箱201中，保证循环装置的正常工作， 本实用新型中采用气压驱动的热油循环装置，达到了无磨损的热量传递，从而减少浪费、且 方便维护且延长热油的使用寿命的目的。此外，所述循环热油箱还可以包括两个以上，多个 循环热油箱交替使用也在本实用新型的思想范围内。[0024]进一步的，所述热交换器200与每个所述循环热油箱202、203之间均设置有单向 阀205。做定向调节使用，只能一个方向流通，反向自动截止从而防止反向流动造成的工作 失误。进一步的，每个所述循环热油箱202、203与所述供应热油箱201、所述热交换器 200以及所述机台100连通的管路上均设置有电磁控制阀207。所述电磁控制阀207控制 装置内油路的通断。所述电磁控制阀207有利于实现自动控制通电，实现自动开启或关闭， 便于操作。可选的，每个所述循环热油箱202、203与所述驱动气源207之间设置有电磁控 制阀。进一步的，所述热交换器200包括冷却管道208和加热管道209。所述热交换器 200设有温度检测装置210。所述温度检测装置210时刻监测从热交换器200流出的热油 的温度，若热油温度过高，则冷却管道208工作，降低热油的温度直至达到预设温度，若热 油温度过低，则加热管道209工作，升高热油的温度直至达到预设温度，从而保证流入机台 100的热油的温度恒定且为预设温度，保证机台100的正常工作。可选的，所述驱动气源207供应的气体为压缩空气或氮气。压缩空气与氮气为常 见气源，便于获得且不易发生反应。综上所述，本实用新型通过提供一种利用气压驱动的热油循环装置，解决现有技 术中磨损严重、热油使用寿命短的问题，达到了无磨损的热量传递、减少浪费、方便维护且 延长热油的使用寿命的目的。虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型，任何 所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作些许的更 动与润饰，因此本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
权利要求1.一种气压驱动式热油循环装置，与机台通过管路连通，其特征在于，包括热交换器， 与所述机台通过管路连通；供应热油箱，与所述热交换器通过管路连通；至少两个并联的循环热油箱，所述循环热油箱与所述机台、所述热交换器构成循环，所 述循环热油箱还与所述供应热油箱通过管路连通；驱动气源，与每个所述循环热油箱均通过气路连通。
2.如权利要求1所述的气压驱动式热油循环装置，其特征在于，所述热交换器与每个 所述循环热油箱之间均设置有单向阀。
3.如权利要求1所述的气压驱动式热油循环装置，其特征在于，每个所述循环热油箱 与所述供应热油箱、所述热交换器以及所述机台连通的管路上均设置有电磁控制阀。
4.如权利要求1所述的气压驱动式热油循环装置，其特征在于，每个所述循环热油箱 与所述驱动气源之间设置有电磁控制阀。
5.如权利要求1所述的气压驱动式热油循环装置，其特征在于，所述热交换器包括冷 却管道和加热管道。
6.如权利要求1所述的气压驱动式热油循环装置，其特征在于，所述热交换器设有温 度检测装置。
7.如权利要求1所述的气压驱动式热油循环装置，其特征在于，所述驱动气源供应的 气体为压缩空气或氮气。
专利摘要本实用新型提供一种气压驱动式热油循环装置，与机台通过管路连通，包括热交换器，与所述机台通过管路连通；供应热油箱，与所述热交换器通过管路连通；至少两个并联的循环热油箱，分别与所述供应热油箱、所述热交换器以及所述机台通过管路连通；驱动气源，与每个所述循环热油箱均通过气路连通。综上所述，本实用新型通过提供一种利用气压驱动的热油循环装置，解决现有技术中磨损严重、热油使用寿命短的问题，达到了无磨损的热量传递、减少浪费、方便维护且延长热油的使用寿命的目的。
文档编号H01L21/00GK201859844SQ20102058444
公开日2011年6月8日 申请日期2010年10月29日 优先权日2010年10月29日
发明者王刚 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司