专利名称：半导体装置的制作方法
技术领域：
这里描述的实施方式大致涉及应用晶圆级芯片尺寸封装(WCSP)的半导体装置。
背景技术：
在传统技术中，因为WCSP的再配线层是一层，所以与多层基板例如球栅阵列 (BGA)相比，配线很困难。由于此原因，根据焊垫的布置，存在可能没有被连接的信号线、电源和地线。因此， 很难制造大规模集成电路(LSI)。
图1是示出了根据第一实施例的半导体装置100的结构示例的图示；图2是示出了图1所示的半导体装置100从上侧看过去的示例的俯视图；图3是示出了图2的线A-A处的半导体装置100的剖面示例的剖视图；图4是示出了图1所示的半导体装置100从上侧看过去的另一示例的俯视图；图5是示出了图1所示的半导体装置100从上侧看过去的另一示例的俯视图；图6是示出了图5的线B-B处的半导体装置100的剖面示例的剖视图；图7是示出了图1所示的半导体装置100从上侧看过去的另一示例的俯视图；图8是示出了图7的线C-C处的半导体装置100的剖面示例的剖视图；图9是示出了图1所示的半导体装置100从上侧看过去的另一示例的俯视图；以及图10是示出了图9的线D-D处的半导体装置100的剖面示例的剖视图。
具体实施例方式根据实施例的半导体装置包括半导体基板，其具有设置于其上表面上的多个垫电极并且具有近似矩形形状；再配线层，其被设置有连接至所述多个垫电极上的多个接触配线，再配线层被通过绝缘膜布置于半导体基板上，并且具有近似矩形形状；以及多个球电极，它们被设置于再配线层上。所述多个垫电极中的多个第一垫电极被沿半导体基板的第一边布置于半导体基板的外周上，所述多个球电极中的多个第一球电极被沿该第一边布置于再配线层的外周上，并且所述多个第一球电极中的任何一个被通过接触配线连接至放置于相应球电极下面的第一垫电极上，并且第一垫电极不被布置于放置于该第一边端部的第一球电极的下侧。下面将根据附图描述实施例。
(第一实施例)图1是示出了根据第一实施例的半导体装置100的结构示例的图示。图2是图1 所示的半导体装置100从上侧看过去的示例的俯视图。图3是图2的线A-A处半导体装置 100的剖面示例的剖视图。图4是图1所示的半导体装置100从上侧看过去的另一示例的俯视图。如图1至3中所示，半导体装置100包括具有近似矩形形状的LSI基板1、具有近似矩形形状的再配线层3，以及多个球电极(凸块)2a、2b和2c。在LSI基板1中，半导体集成电路(图中未示出)被形成。LSI基板1具有具有近似矩形形状的半导体基板la、绝缘膜Ib和连接至半导体集成电路的多个垫电极4a、4b和 4c ο在半导体基板(例如，硅基板)Ia的上表面上，设置有多个垫电极^、4b和4c，它们被连接至半导体集成电路。绝缘膜Ib被设置于半导体基板Ia上并且覆盖半导体集成电路和多个垫电极4a、 4b 和 4c。在该多个垫电极4a、4b和如中，多个第一垫电极如和4b被沿平行于半导体基板 Ia的基板表面的半导体基板Ia的第一至第四边IOla至IOld布置于半导体基板Ia的外周上。例如，垫电极如和如被通过再配线(图中未示出)连接至球电极加和2c。在这种情况下，两个垫电极如被布置于球电极加和2b之间。然而，垫电极的数目可以根据需要而改变。垫电极如被连接至布置于LSI基板1的中心侧上的知识产权核(IP核)(图中未示出)。垫电极4c被布置于LSI基板1的中心侧上，以减少外周或上层的配线数。再配线层3包括设置于绝缘膜Ib上的聚酰亚胺膜(树脂膜)3a和北、用于倒装芯片的连接电极5，以及接触配线7。再配线层3被通过绝缘膜Ib设置于半导体基板Ia上。在再配线层3中，设置有被连接至多个垫电极4b上的多个接触配线(过孔)7。连接电极5被布置于第一球电极2b和接触配线7之间，并且电连接第一球电极2b 和接触配线7。多个球电极(凸块)h、2b和2c被以矩阵的形式设置于再配线层3上，并且它们的间隔约0. 4mm。然而，多个球电极(凸块)2a、2b和2c可以不以矩阵的形式布置并且它们的间隔可以根据需要改变。在多个球电极h、2b和2c中，多个第一球电极加和2b被沿第一至第四边IOla 至IOld布置于再配线层3的外周上。多个第一球电极加和2b的球电极2b被通过连接电极5和接触配线7连接至多个第一垫电极如和4b下侧的第一垫电极4b上。同样地，通过在球电极2b的下侧布置垫电极4b，配线电容被减小。由于此原因，通过施加具有IOHMz和更高频率的高速输入/输出信号，可以降低来自再配线层的串扰噪音对其它信号的影响。连接电极5的底表面的面积被设置为大于第一垫电极4b的上表面的面积。连接电极5的底表面的面积被设置为大于被连接至连接电极5的底表面上的接触配线7的上表面的面积。第一垫电极4b的底表面的面积被设置为大于接触配线7的上表面的面积。因此，可以提高连接电极5、接触配线7和第一垫电极4b的电连接的可靠性。第一垫电极4b没有被布置于最靠近第一边IOla的端部的第一球电极加的下侧。 同样，第一垫电极4b没有被布置于最靠近第二至第四边IOlb至IOld的端部的第一球电极 2a的下侧。这遵循测试者测试形成于晶圆上的LSI的目的条件，并且垫电极没有布置于LSI 基板1的端部上。同样地，垫电极4b被布置于WCSP的球电极2b的下侧，并且连接至其它球电极加和2c上的垫电极被布置于球电极加和2b之间。因此，可以减少布置于外周上的球电极2b 的再配线的数目。因此，当形成WCSP的再配线层时，可以在不增加配线层数目的情况下形成再配线。因此，帮助了 WCSP中配线的形成，并且可以减小LSI基板1的面积。也就是说，可以提高每个晶圆的生产量并且可以增加每个晶圆产生的芯片数目。如图4所示，被沿第一和第二边IOla和IOlb布置的用于地线或电源的两个垫电极仙2可以布置于沿第二边IOlb布置的一个球电极沘2的下侧，以彼此相连接。如图4所示，两个垫电极4c2可以被布置于一个球电极2c的下侧。在这种情况下，可以减小垫电极4c2和球电极2c之间的阻抗。因此，在半导体装置100中，顶下降、电迁移、噪音等被减小，并且静电放电(ESD)被抑制了。三个或更多个垫电极4c2可以被电连接至一个球电极2c。如图4所示，沿第四边IOld布置的并且其上表面的面积大于另一个垫电极如的上表面的面积的用于地线或电源的一个垫电极4bl可以布置于被沿第四边IOld布置的一个球电极2bl的下侧，以彼此相连接。在这种情况下，从可靠性的观点来说，垫电极和接触电极的接触面积优选等于垫电极的上表面的面积或大于其2/3。三个或更多个垫电极可以被电连接至一个球电极。如图4所示，根据需要，垫电极可以不布置于被沿LSI基板1的第一至第四边IOla 至IOld布置的球电极之间。同样地，使用根据第一实施例的半导体装置，可以很容易地形成再配线层的配线， 同时减小芯片尺寸。(第二实施例)在第二实施例中，研究了用于地线或电源的再配线，并且描述了半导体装置结构的另一示例，其中，可以很容易地形成再配线层的配线同时减小了芯片尺寸。根据第二实施例的半导体装置的整体结构与在图1中示出的半导体装置100的相同。图5是图1所示的半导体装置100从上侧看过去的另一示例的俯视图。图6是图 5的线B-B处的半导体装置100的剖面示例的剖视图。在图5和6中，与图1至3中的那些相同的参考标记表示与第一实施例的那些相同的部件。如图5和6中所示，在第二实施例中，与第一实施例相比，半导体装置100还包括第一再配线61、第二再配线62和外周配线63a至63d。第一再配线61设置于再配线层3中。第一再配线61电连接多个球电极h、2b、 2c、2cl和2c2的第二球电极2cl和多个第一垫电极^、4al、4a2和4b的任何垫电极如1，多个球电极h、2b、2c、2cl和2c2的第二球电极2cl被放置于再配线层3的中心侧处并且被供给第一电压(第一电压是电源电压和接地电压中的一个，但在第二实施例中，第一电压是接地电压)VSS，并且多个第一垫电极^、4al、4a2和4b中的任何垫电极4al被供给第一电压VSS。第一再配线61和垫电极4al通过接触配线27连接(例如，参考图6)。类似于第一再配线61，第二再配线62被布置于再配线层3中。第二再配线62连接多个球电极h、2b、2c、2cl和2c2的第三球电极2c2和多个第一垫电极^、4al、4a2和4b 的任何垫电极如2，多个球电极h、2b、2c、2cl和2c2的第三球电极2c2被放置于再配线层3 上的中心侧处并且被供给不同于第一电压VSS的第二电压(第二电压是电源电压和接地电压中的一个，但在第二实施例中，第二电压是电源电压)VDD，并且多个第一垫电极^、4al、 4a2和4b的任何垫电极4a2被供给第二电压VDD。球电极2cl和2c2被示出作为对应于第一实施例的图2中的球电极2c。另外，第一垫电极4al和4a2被示出作为对应于第一实施例的图2中的垫电极如。外周配线63a至63d被沿第一至第四边IOla至IOld布置在再配线层3的外周上， 以与第一垫电极如和4b上侧的再配线层3的区域相比，更靠近再配线层3的外面放置。外周配线63a至63d被通过设置于再配线层3中的配线63a2至63d2连接至垫电极如2。外周配线63a至63d被通过设置于再配线层3中的配线63a2连接至第二再配线 62。也就是说，外周配线63a至63d被通过第一垫电极4a2连接至第二再配线62，以被供给第二电压VDD。外周配线63a至63d在除沿第一边IOla的区域之外的区域(在第二实施例中，沿第三和第四边IOlc和IOld的区域)内具有两个端部63cl和63dl。因此，与外周配线被以环状连接的情况相比，可以降低包括在电源电压(或接地电压)中的噪音影响。因为外周配线63a至63d的电阻值影响顶下降或电源噪音，所以外周配线63a至 63d优选具有的宽度(截面积)大于公共电源或接地配线的宽度。同样地，通过将作为电源配线或接地配线的外周配线布置成比球电极加和北更靠近再配线层3的外周侧，可以形成从第一至第四侧IOla至IOld到中心侧的电源或接地配线。如上所述，在第二实施例中，外周配线63a至63d供给电源电压。然而，根据需要， 外周配线63a至63d可以供给接地电压。在根据第二实施例的结构中，垫电极4b被布置于WCSP的球电极2b的下侧，并且连接至其它球电极加和2c上的垫电极被布置于球电极加和2b之间。因此。类似于第一实施例，可以减少布置于外周上的球电极2b的再配线的数目。因此，当形成WCSP的再配线层时，可以在不增加配线层数目的情况下形成再配线。因此，类似于第一实施例，帮助了 WCSP中配线的形成，并且可以减小LSI基板1的面积。也就是说，可以提高每个晶圆的生产量并且可以增加每个晶圆产生的芯片数目。同样地，使用根据第二实施例的半导体装置，可以很容易地形成再配线层的配线， 同时减小芯片尺寸，类似于第一实施例。(第三实施例)在第三实施例中，描述了被供给了接地电压和电源电压的球电极的连接关系以及可以很容易地形成再配线层的配线同时减小芯片尺寸的半导体装置结构的另一示例。根据第三实施例的半导体装置的整体结构与图1所示的半导体装置100的相同。
图7是图1所示的半导体装置100从上侧看过去的另一示例的俯视图。图8是图 7的线C-C处的半导体装置100的剖面示例的剖视图。在图7和8中，与图5至6中的那些相同的参考标记表示与第二实施例中的那些相同的部件。如图7和8中所示，在第三实施例中，半导体装置100与根据第二实施例的半导体装置不同的方面在于第二球电极2c 1被通过接触配线37和连接电极5连接至放置于下侧并且供给了第一电压VSS的垫电极4cl上，并且第三球电极2c2被通过接触配线和连接电极连接至放置于下侧并且供给了第二电压VDD的垫电极4c2上。垫电极4c 1和4c2可以布置于从第二和第三球电极2c 1和2c2的下侧位置移位的
位置上。图9是图1所示的半导体装置100从上侧看过去的另一示例的俯视图。图10是图9的线D-D处的半导体装置100的剖面示例的剖视图。在图9和10中，与图5至6中的那些相同的参考标记表示与第二实施例的那些相同的部件。如图9和10中所示，在第三实施例中，半导体装置100与根据第二实施例的半导体装置不同的方面在于第二球电极2c 1被通过接触配线37和连接电极5连接至远离下侧放置并且被供给第一电压VSS的垫电极4c 1上，并且第三球电极2c2被通过接触配线和连接电极连接至远离下侧放置并且被供给第二电压VDD的垫电极4c2上。在这种情况下，配线很细密，芯片面积增加，配线的宽度减小而其长度增加，并且明显出现顶下降和噪音。特别地，顶下降在再配线层3的中心附近增加。因此，在第三实施例中，如上所述，地线和电源被连接至中心附近的球电极2cl和 2c2，并且用于电源和地线的垫电极4cl和4c2被布置于LSI基板1中，球电极2cl和2c2 的下侧或者球电极的附近。因此，电源电压VDD被从再配线层3的中心附近供给至外周，并且顶下降可以被抑制。另外，地线位于中心附近，并且可以改善噪音特征。用于电源和地线的垫电极4cl和4c2不需要被设置，并且可以只设置用于电源和地线的垫电极中的一个。描述了用于电源和地线的垫电极4cl和4c2中每一个的数目是一的情况。然而， 根据需要，该数目可以多于一个。在根据第三实施例的结构中，垫电极4b被布置于WCSP的球电极2b的下侧，并且连接至其它球电极加和2c上的垫电极被布置于球电极加和2b之间。因此，类似于第一实施例，可以减小布置于外周上的球电极2b的再配线的数目。因此，当形成WCSP的再配线层时，可以在不增加配线层数目的情况下形成再配线。因此，类似于第一实施例，帮助了 WCSP中配线的形成，并且可以减小LSI基板1的面积。也就是说，可以提高每个晶圆的生产量并且可以增加每个晶圆产生的芯片数目。同样地，使用根据第三实施例的半导体装置，可以很容易地形成再配线层的配线， 同时减小芯片尺寸，类似于第一实施例。虽然已经描述了一些实施例，但这些实施例只是通过示例形式呈现，并且不意于限制本发明的范围。相反，这里描述的新颖方法和系统可以体现为多种其他形式；此外，在不偏离本发明的精神的情况下可以对这里描述的方法和系统的形式进行各种省略、替代和修改。附属的权利要求和它们的等效替代意于覆盖落入本发明的范围和精神内的这些形式或修改。
权利要求
1.一种半导体装置，包括半导体基板，其具有布置于其上表面上的多个垫电极并且具有近似矩形形状； 再配线层，其被设置有连接至所述多个垫电极上的多个接触配线，所述再配线层被通过绝缘膜布置于所述半导体基板上；以及多个球电极，它们被布置于所述再配线层上；其中，所述多个垫电极中的多个第一垫电极被沿所述半导体基板的第一边布置于所述半导体基板的外周上；所述多个球电极中的多个第一球电极被沿所述第一边布置于所述再配线层的外周上；并且所述多个第一球电极的任何一个被通过所述接触配线连接至放置于相应球电极下面的所述第一垫电极上，并且所述第一垫电极没有被布置于放置于所述第一边端部的所述第一球电极下面。
2.根据权利要求1所述的半导体装置，其特征在于，所述半导体装置还包括外周配线， 其被沿所述第一边布置于所述再配线层的外周上，所述外周配线位于所述第一垫电极外
3.根据权利要求2所述的半导体装置，其特征在于，所述半导体装置还包括第二球电极和第三球电极，它们被设置于所述半导体基板的中心区域内；其中，所述多个第一垫电极中的被供给第一电压的垫电极被连接至所述外周配线上， 所述外周配线被通过所述再配线层的第一再配线连接至所述第二球电极；并且所述多个第一垫电极中的被供给第二电压的垫电极被通过所述再配线层的第二再配线连接至所述第三球电极。
4.根据权利要求3所述的半导体装置，其特征在于，所述外周配线延伸至除所述第一边之外的边。
5.根据权利要求3所述的半导体装置，其特征在于，所述第一电压是电源电压，并且所述第二电压是接地电压。
6.根据权利要求3所述的半导体装置，其特征在于，所述第一电压是接地电压，并且所述第二电压是电源电压。
7.根据权利要求1所述的半导体装置，其特征在于，所述多个第一球电极的任何一个被连接至放置于相应球电极下面的多个所述第一垫电极上。
8.根据权利要求3所述的半导体装置，其特征在于，所述半导体基板还包括设置于所述半导体基板上的中心区域内的第二垫电极；并且所述第二垫电极被通过所述接触配线连接至所述第二球电极。
9.根据权利要求3所述的半导体装置，其特征在于，所述半导体基板还包括设置于所述半导体基板上的中心区域内的第二垫电极；并且所述第二垫电极被通过所述接触配线连接至所述第三球电极。
10.根据权利要求1所述的半导体装置，其特征在于，所述半导体基板还包括被布置于所述第一球电极和所述接触配线之间的连接电极，并且电连接所述第一球电极和所述接触配线；其中，所述连接电极的底表面的面积被设置成大于所述第一垫电极的上表面的面积。
11.根据权利要求1所述的半导体装置，其特征在于，所述半导体基板还包括被布置于所述第一球电极和所述接触配线之间的连接电极，并且电连接所述第一球电极和所述接触配线；其中，所述连接电极的底表面的面积被设置成大于所述接触配线的上表面的面积，所述接触配线的上表面被连接至所述连接电极的底表面。
12.—种半导体装置，包括半导体基板，其具有布置于其上表面上的多个垫电极并且具有近似矩形形状；再配线层，其被设置有连接至所述多个垫电极上的多个接触配线，所述再配线层被通过绝缘膜布置于所述半导体基板上，并且具有近似矩形形状；以及多个球电极，它们被布置于所述再配线层上；其中，所述多个垫电极中的多个第一垫电极被沿所述半导体基板的第一边布置于所述半导体基板的外周上；并且所述再配线层被设置有第一再配线，其连接所述多个球电极中的放置在所述再配线层上的中心侧并且被供给第一电压的所述第一球电极和所述多个第一垫电极中的被供给所述第一电压的所述第一垫电极；第二再配线，其连接所述多个球电极中的放置在所述再配线层上的中心侧并且被供给第二电压的所述第二球电极和所述多个第一垫电极中的被供给所述第二电压的所述第二垫电极；以及外周配线，其被沿所述第一边布置于所述再配线层的外周上，以比所述第一垫电极上侧的所述再配线层的区域更靠近所述再配线层的外面放置，并且被连接至所述第一再配线。
13.根据权利要求1所述的半导体装置，其特征在于，所述多个球电极中的第二球电极被布置于所述半导体基板的中心区域内，所述第二球电极被连接至放置于所述第二球电极下面的所述垫电极上。
14.一种半导体装置，包括半导体基板，其具有布置于其上表面上的多个垫电极并且具有近似矩形形状；再配线层，其被设置有连接至所述多个垫电极上的多个接触配线，所述再配线层被通过绝缘膜布置于所述半导体基板上；以及多个球电极，它们被布置于所述再配线层上；其中，所述多个垫电极中的多个第一垫电极被沿所述半导体基板的第一边布置于所述半导体基板的外周上；所述多个球电极中的多个第一球电极被沿所述第一边布置于所述再配线层的外周上；并且所述半导体装置还包括被沿所述第一边布置于所述再配线层的外周上的外周配线，所述外周配线位于所述第一垫电极外面。
全文摘要
半导体装置具有半导体基板，半导体基板具有布置于其上表面上的多个垫电极并且具有近似矩形形状；再配线层，再配线层被设置有连接至多个垫电极上的多个接触配线，再配线层被通过绝缘膜布置于半导体基板上并且具有近似矩形形状；以及布置于再配线层上的多个球电极。所述多个垫电极中的多个第一垫电极被沿半导体基板的第一边布置于半导体基板的外周上，所述多个球电极中的多个第一球电极被沿第一边布置于再配线层的外周上，并且所述多个第一球电极的任何一个通过接触配线被连接至放置于相应球电极下面的第一垫电极上，并且第一垫电极不被布置于放置于第一边端部的第一球电极下面。
文档编号H01L23/488GK102270611SQ20111007049
公开日2011年12月7日 申请日期2011年3月21日 优先权日2010年6月3日
发明者井熊秀明, 濑田涉二 申请人:株式会社东芝