专利名称：一种非晶氧化物薄膜晶体管及其制作方法、显示面板的制作方法
技术领域：
本发明涉及薄膜晶体管的设计和制备领域，尤其涉及一种非晶氧化物薄膜晶体管及其制作方法、显示面板。
背景技术：
目前在液晶显示领域被广泛采用的薄膜晶体管(TFT)主要有非晶硅薄膜晶体管和多晶硅薄膜晶体管。其中，氢化非晶硅(a_Si:H)薄膜晶体管由于具有制备工艺简单，背板均匀性好等优势成为有源矩阵平板显示产业的主流技术；但存在迁移率低、稳定性差等缺陷，很少应用于大面积 AMOLED (Active Matrix Organic Light Emitting Diode,有源矩阵有机发光二极体)领域。另外，多晶硅薄膜晶体管相对于非晶硅薄膜晶体管而言，具有迁移率高、稳定性好的优点；其沟道的制备方法主要有固相结晶(SPC)和准分子激光退火 (ELA)，前者涉及长时间高温退火工艺，不适于大面积玻璃基板而后者存在均匀性差等问题，也无法实现大面积玻璃基板的应用。为了实现大尺寸AMOLED显示，以氧化锌(ZnO)基和氧化锡(SnO2)基为主的非晶氧化物薄膜晶体管(Amorphous Oxide TFT)汇集了非晶硅和多晶硅薄膜晶体管的优点，具有高的载流子迁移率、均匀好等优点，故越来越受到人们的重视。然而，由非晶氧化物生成的半导体沟道往往具有很高的载流子浓度，使得阈值电压变得很低甚至降到负值(针对n型器件而言)，即在为栅零偏时，器件不能充分关断；若用非晶氧化物制成低载流子浓度的半导体沟道高阻层，则会使得源漏极的寄生电阻增大，导致降低了电流的驱动能力。
发明内容
本发明的实施例提供一种非晶氧化物薄膜晶体管及其制作方法，用以降低源漏极的寄生电阻。为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案一种非晶氧化物薄膜晶体管，包括栅极、栅绝缘层、半导体有源层、源极、漏极以及钝化保护层，所述半导体有源层为沟道层和欧姆接触层的双层结构，且所述沟道层比所述欧姆接触层的含氧量高；所述沟道层与所述栅绝缘层相贴合，所述欧姆接触层分为两个独立的欧姆接触区，且所述两个独立的欧姆接触区分别与所述源极、漏极相贴合。一种液晶显示面板，包括栅线和数据线所限定的像素单元；所述像素单元中形成有非晶氧化物薄膜晶体管，该非晶氧化物薄膜晶体管包括栅极、栅绝缘层、半导体有源层、源极、漏极以及钝化保护层，所述半导体有源层为沟道层和欧姆接触层的双层结构，且所述沟道层比所述欧姆接触层的含氧量高；所述沟道层与所述栅绝缘层相贴合，所述欧姆接触层分为两个独立的欧姆接触区，且所述两个独立的欧姆接触区分别与所述源极、漏极相贴合。一种非晶氧化物薄膜晶体管的制作方法，包括
步骤a、在制作半导体有源层的过程中，分别制作沟道层和欧姆接触层以形成所述半导体有源层；所述沟道层比所述欧姆接触层的含氧量高；
所述沟道层与所述栅绝缘层相贴合，所述欧姆接触层分为两个独立的欧姆接触区，且所述两个独立的欧姆接触区分别与所述源极、漏极相贴合。本发明实施例提供的非晶氧化物薄膜晶体管及其制作方法，以及使用该非晶氧化物薄膜晶体管的液晶显示面板，通过制作沟道层和欧姆接触层以形成双层结构的半导体有源层，并且沟道层比欧姆接触层的含氧量高；由于含氧量越高则阻值就越大，而欧姆接触层相较于沟道层的含氧量低，故欧姆接触层的电阻小于沟道层的电阻，又由于欧姆接触层和源漏极相贴合，使得源漏极的寄生电阻减小，从而提升了电流的驱动能力。
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为实施例一提供的一种非晶氧化物薄膜晶体管的剖面结构示意图；图2 图12示意了图I所示的非晶氧化物薄膜晶体管的主要制作工艺步骤，其中图4所示工艺步骤可以由图7 图9代替图2在基板上为形成栅极的工艺步骤；图3为在图2所示的基板上形成栅绝缘层的工艺步骤；图4为在图3所示的基板上形成双层结构的非晶氧化物薄膜的工艺步骤；图5为刻蚀图4所示的非晶氧化物薄膜，形成沟道层的工艺步骤；图6为在图5所示的基板上，形成欧姆接触层的工艺步骤；图7为在图3所示的基板上，涂覆光刻胶的工艺步骤；图8为在图7所示的基板上，图形化光刻胶的工艺步骤；图9为在图8所示的基板上，形成双层结构的非晶氧化物薄膜的工艺步骤；图10为在图6所示的基板上，形成两个欧姆接触区之间的光刻胶的工艺步骤；图11为在图10所示的基板上，形成源漏金属薄膜的工艺步骤；图12为在图11所示的基板上，刻蚀形成源漏极的工艺步骤；图13为实施例二提供的一种非晶氧化物薄膜晶体管的剖面结构示意图；图14 图15示意了制作刻蚀保护层以及源漏极的工艺步骤图14为在图6所示的基板上，形成刻蚀保护层的工艺步骤；图15为在图14所示的基板上，形成源漏极的工艺步骤。附图标记I-基板；2-栅极；3_栅绝缘层；4_沟道层；51、52_欧姆接触区；61_源极；62_漏极；7_钝化保护层；8_光刻胶；9_刻蚀保护层。
具体实施例方式下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。实施例一如图I所示，本发明实施例提供了一种非晶氧化物薄膜晶体管，包括栅极2、栅绝缘层3、半导体有源层、源极61、漏极62以及钝化保护层7，所述半导体有源层为沟道层4和欧姆接触层的双层结构，且所述沟道层4比所述欧姆接触层的含氧量高；所述沟道层4与所述栅绝缘层3相贴合，所述欧姆接触层分为两个独立的欧姆接触区51、52，且所述两个独立的欧姆接触区51、52分别与所述源极61、漏极62相贴合。 其中，所述沟道层4是在含氧气氛下溅射非晶氧化物材料形成的；所述欧姆接触层是在不含氧气氛下溅射非晶氧化物材料形成的；所述含氧气氛可以为分压比范围为O2/Ar = 0% 30%的氧氩混合气氛，所述不含氧气氛可以为纯氩气氛；所述非晶氧化物材料可以为氧化锌ZnO基或二氧化锡SnO2基氧化物，具体地，所述非晶氧化物材料可以为氧化锌锡ΖΤ0、氧化铟锡ΙΤ0、氧化锌铟ΖΙ0、氧化铟镓IG0、氧化铟镓锌IGZ0、氧化铝锌锡AZTO中的至少一种。本发明实施例提供的非晶氧化物薄膜晶体管，通过制作沟道层和欧姆接触层以形成双层结构的半导体有源层，并且沟道层比欧姆接触层的含氧量高；由于含氧量越高则阻值就越大，而欧姆接触层相较于沟道层的含氧量低，故欧姆接触层的电阻小于沟道层的电阻，又由于欧姆接触层和源漏极相贴合，使得源漏极的寄生电阻减小，从而提升了电流的驱动能力。本发明实施例还提供了上述非晶氧化物薄膜晶体管的制作方法，该制作方法与现有技术的不同在于本实施例提供的方法包括步骤a、在制作半导体有源层的过程中，分别制作沟道层4和欧姆接触层以形成所述半导体有源层；所述沟道层4比所述欧姆接触层的含氧量高；所述沟道层4与所述栅绝缘层3相贴合，所述欧姆接触层分为两个独立的的欧姆接触区51、52，且所述两个独立的欧姆接触区51、52分别与所述源极61、漏极62相贴合。进一步地，本发明实施例提供了一种具体的非晶氧化物薄膜晶体管的制作方法，该方法包括步骤101、如图2所示，在基板I上制作栅金属薄膜，并经过光刻工艺形成栅极2 ;此步骤具体可以为，在玻璃/硅/聚对苯二甲酸乙二醇酯PET基板I上，溅射淀积钥Mo,或招Al、钕Nd双层金属，或金Au、钛Ti双层金属，或合金形成栅金属薄膜；并经过光刻工艺图形化栅金属薄膜，形成薄膜晶体管的栅极2 ；其中，光刻工艺可以包括涂胶、曝光、显影、刻蚀、剥离等工艺。步骤102、如图3所示，在完成步骤101的基板上形成栅绝缘层3，并图形化所述栅绝缘层3 ；此步骤具体可以为，采用热生长、或等离子体化学气相淀积、或溅射SiOx、Si3N4,AlOx, TiOx, HfO2中至少一种材料形成栅绝缘层；或者，采用先溅射铝Al、钛Ti、铪Hf中至少一种金属，当然也可以是其他金属，经过再氧等离子体处理方法，形成A10X、Ti0X、Hf02*至少一种材料的栅绝缘层；
另外，制作完成栅绝缘层之后，可以通过光刻エ艺图形化栅绝缘层；这样就可以避免通孔的制备以及电引出等エ序引起的接触不良和断线等问题，可以提闻加工效率和良率。步骤103、在氮气、或氧气、或真空条件下将完成步骤102的基板进行退火エ艺，退火温度范围为350°C 400°C ；在本实施例中，退火温度可以选为400°C。此时经过退火エ艺，可以减少栅绝缘层的表面态和界面态，如缺陷态和悬挂键等，这可以在一定程度上減少器件的阈值电压漂移，进而提高器件的长期稳定性；另外，区别于传统的只有后退火エ艺，在形成栅绝缘层后、且形成半导体有源层之前进行退火エ艺，可以避免对半导体有源层的影响(如化学成份比的影响)，增强エ艺效果。
步骤104、分别制作沟道层4和欧姆接触层以形成所述半导体有源层；所述沟道层比所述欧姆接触层的含氧量高；步骤104可以包括步骤all、如图4所示，在含氧气氛下向基板溅射非晶氧化物材料，形成第一半导体有源层薄膜；在不含氧气氛下溅射非晶氧化物材料，形成第二半导体有源层薄膜；所述含氧气氛可以为分压比范围为02/Ar = 0% 30 %的氧氩混合气氛，所述不含氧气氛可以为纯氩气氛；所述非晶氧化物材料可以为氧化锌ZnO基或ニ氧化锡SnO2基氧化物，具体地，所述非晶氧化物材料可以为氧化锌锡ΖΤ0、氧化铟锡ΙΤ0、氧化锌铟ΖΙ0、氧化铟镓IG0、氧化铟镓锌IGZ0、氧化铝锌锡AZTO中的至少ー种。此步骤具体可以为，分别在氧氩混合气氛和纯氩气氛条件下，溅射非晶氧化物材料，形成第一半导体有源层薄膜和第二半导体有源层薄膜。步骤al2、如图5所示，在完成步骤all的基板上，经过光刻エ艺图形化所述第一半导体有源层薄膜和第二半导体有源层薄膜，形成沟道层4 ；此步骤的光刻エ艺中涂胶エ艺可以使用正性光刻胶，该光刻エ艺中的刻蚀エ艺可以为湿法刻蚀。步骤al3、如图6所示，在完成步骤al2的基板上，经过光刻エ艺图形化所述第二半导体有源层薄膜，形成欧姆接触层且所述欧姆接触层分为两个独立的欧姆接触区51、52 ；此步骤光刻エ艺中的刻蚀エ艺可以为干法刻蚀。或者，对于双层结构的半导体有源层可以使用带胶溅射非晶氧化物，然后剥离的方法，下面对这种方法进行详细阐述。步骤104可以包括步骤a20、如图7所示，在完成步骤103的基板上涂覆光刻胶8，如图8所示，经过曝光、剥离エ艺除去沟道层区域的光刻胶8 ;此步骤中的曝光エ艺可以与步骤al2的光刻エ艺中的曝光エ艺使用相同的掩模板，此步骤中所涂覆的光刻胶为负性光刻胶即可。步骤a21、如图9所示，在含氧气氛下向完成步骤a20的基板溅射非晶氧化物材料，形成第一半导体有源层薄膜；在不含氧气氛下溅射非晶氧化物材料，形成第二半导体有源层薄膜；所述含氧气氛可以为分压比范围为02/Ar = 0% 30 %的氧氩混合气氛，所述不含氧气氛可以为纯氩气氛。步骤a22、在完成步骤a21的基板上，经过剥离エ艺除去第一半导体有源层薄膜带光刻胶的部分和第二半导体有源层薄膜带光刻胶的部分，形成沟道层4 ;此时的基板可以參考图5。步骤a23、在完成步骤a22的基板上，经过光刻エ艺图形化所述第二半导体有源层薄膜，形成欧姆接触层且所述欧姆接触层分为两个独立的欧姆接触区；此时的基板可以參考图6。步骤105、在完成步骤104的 基板上制作源漏极61、62 ；步骤105可以包括步骤b21、如图10所示，在完成步骤104的基板上涂覆光刻胶，并经过曝光、剥离エ艺留下所述两个独立的欧姆接触区之间的光刻胶8 ；此步骤中的曝光エ艺所使用的掩模板可以与步骤al3或步骤a23的光刻エ艺中曝光エ艺所使用相同的掩模板，只是在本实施例中步骤al3或步骤a23的光刻エ艺所使用的光刻胶可以为正性光刻胶，本步骤中所涂覆的光刻胶为负性光刻胶；由于减少了掩模板的制备，故可以降低エ艺成本。进行此步骤的原因，主要是考虑到后续エ艺会对沟道层造成伤害，故使用光刻胶先将沟道层保护起来。步骤b23、使用氩Ar等离子体处理欧姆接触区的表面；此步骤可以为，使用Ar等离子体处理结构表面；该エ序在于利用Ar等离子体对沟道材料不同成份的轰击效果差异，如对Ga-O键、In-O键、Zn-O键的断键效果不同，来改变欧姆接触区的材料特性，提高接触效果；并且通过提高沟道接触区的表面粗糙度来进ー步提高接触效果。步骤b22、如图11所示，制作源漏金属薄膜，如图12所示，经过剥离エ艺形成源极和漏极61、62。此步骤可以为，灘射 疋积钥Mo，或招Al、钦Nd双层金属，或金Au、钦Ti双层金属，或合金形成源漏金属薄膜，并剥离エ艺图形化源漏金属薄膜，形成薄膜晶体管的源极61和漏极62。步骤106、等离子化学气相淀积氧化硅，或者氧化硅、聚甲基丙烯酸甲酯PMMA双层、或者氧化硅、聚酰亚胺PI双层，或者氧化硅、氮化硅、PI三层，或者氧化硅、氮化硅、氧化硅三层结构作为钝化保护层7 ;可參考图I。步骤107、经过后退火エ艺，即在真空、或氮气、或氧气中进行退火，退火温度范围为 120 400°C。本发明实施例提供的肖_晶氧化物薄膜晶体管的制作方法，通过制作小电阻的欧姆接触层可以减小源漏极的寄生电阻；另外，通过在制备栅绝缘层之后形成半导体有源层之前，进行退火エ艺，可以减少晶体器件的表面态和界面态，进而可以减少器件的阈值电压漂移，增强器件的稳定性；通过制作刻蚀保护层可以避免在后续エ序中形成源漏极所使用的光刻エ艺对沟道层的影响；通过带胶溅射源漏金属层并经过光刻エ艺形成源漏极，可以避免在后续エ序中形成源漏极所使用的光刻エ艺对沟道层的影响；通过使用氩Ar等离子体处理欧姆接触区的表面，可以改变表面特性，优化欧姆接触区和源漏极的接触效果，进而提高器件性能。另外，上述非晶氧化物薄膜晶体管可以应用于液晶显示面板中。所述液晶显示面板包括栅线和数据线所限定的像素单元；所述像素单元中形成有非晶氧化物薄膜晶体管。其中，该非晶氧化物薄膜晶体管的结构可以参考图1，所述非晶氧化物薄膜晶体管，包括栅极2、栅绝缘层3、半导体有源层、源极61、漏极62以及钝化保护层7，所述半导体有源层为沟道层4和欧姆接触层的双层结构，且所述沟道层4比所述欧姆接触层的含氧量高；所述沟道层4与所述栅绝缘层3相贴合，所述欧姆接触层分为两个独立的欧姆接触区51、52，且所述两个独立的欧姆接触区51、52分别与所述源极61、漏极62相贴合。其中，所述沟道层4是在含氧气氛下溅射非晶氧化物材料形成的；所述欧姆接触层是在不含氧气氛下溅射非晶氧化物材料形成的；所述含氧气氛可以为分压比范围为O2/Ar = 0% 30%的氧氩混合气氛，所述不含氧气氛可以为纯氩气氛；所述非晶氧化物材料可以为氧化锌ZnO基或二氧化锡SnO2基氧化物，具体地，所述非晶氧化物材料可以为氧化 锌锡ΖΤ0、氧化铟锡ΙΤ0、氧化锌铟ΖΙ0、氧化铟镓IG0、氧化铟镓锌IGZ0、氧化铝锌锡AZTO中的至少一种。本发明实施例提供的使用上述非晶氧化物薄膜晶体管的液晶显示面板，同样可以减小薄膜晶体管源漏极的寄生电阻，从而可以提升电流的驱动能力。实施例二 如图13所示，本发明实施例提供了一种非晶氧化物薄膜晶体管，包括栅极2、栅绝缘层3、半导体有源层、源极61、漏极62以及钝化保护层7，所述半导体有源层为沟道层4和欧姆接触层的双层结构，且所述沟道层4比所述欧姆接触层的含氧量高；所述沟道层4与所述栅绝缘层3相贴合，所述欧姆接触层分为两个独立的欧姆接触区51、52，且所述两个独立的欧姆接触区51、52分别与所述源极61、漏极62相贴合；所述两个独立的欧姆接触区51、52之间形成有刻蚀保护层9，所述刻蚀保护层9位于所述沟道层4与所述钝化保护层7之间。其中，所述沟道层4是在含氧气氛下溅射非晶氧化物材料形成的；所述欧姆接触层是在不含氧气氛下溅射非晶氧化物材料形成的；所述含氧气氛可以为分压比范围为O2/Ar = 0% 30%的氧氩混合气氛，所述不含氧气氛可以为纯氩气氛；所述非晶氧化物材料可以为氧化锌ZnO基或二氧化锡SnO2基氧化物，具体地，所述非晶氧化物材料可以为氧化锌锡ΖΤ0、氧化铟锡ΙΤ0、氧化锌铟ΖΙ0、氧化铟镓IG0、氧化铟镓锌IGZ0、氧化铝锌锡AZTO中的至少一种。制作刻蚀保护层的目的是为了避免源漏电极图形化的工序对沟道层的影响，可以提闻器件性能。本发明实施例还提供了图13所示的非晶氧化物薄膜晶体管的制作方法，该制作方法与实施例一中提供的制作方法只是步骤105有所不同，故下面只对步骤105进行详述，其他步骤可以参考实施例一。在本发明实施例中，步骤105可以包括步骤bll、如图14所示，在完成步骤104的基板上制作刻蚀保护薄膜，经过光刻工艺形成刻蚀保护层9 ;所述刻蚀保护层在所述沟道层4与钝化保护层9之间，且所述刻蚀保护层9的材料为绝缘材料；
此步骤具体可以为，在完成步骤104的基板上采用等离子体化学气相淀积或溅射绝缘材料，形成刻蚀保护薄膜，并经过光刻工艺图形化刻蚀保护薄膜，形成刻蚀保护层9 ；且该绝缘材料包括氧化硅、氧化铝、氧化钛和氮化硅中的至少一种。此步骤进行光刻工艺使用的掩模板与实施例一中步骤al3或步骤a23的光刻工艺中所使用的掩模板可以相同，只是在本实施例中步骤al3或步骤a23的光刻工艺所使用的光刻胶可以为正性光刻胶，本步骤中所涂覆的光刻胶为负性光刻胶；由于减少了掩模板的制备，故可以降低工艺成本。步骤bl3、使用氩等离子体处理欧姆接触区的表面；此步骤可以为，使用Ar等离子体处理结构表面；该工序在于利用Ar等离子体对沟道材料不同成份的轰击效果差异，如对Ga-O键、In-O键、Zn-O键的断键效果不同，来改变两个欧姆接触区的材料特性，提高接触效果；并且通过提高沟道接触区的表面粗糙度来进一步提闻接触效果。 步骤bl2、如图15所示，制作源漏金属薄膜，经过光刻工艺形成源极61和漏极62。然后，经过后续的工序最终制作完成图13所示的非晶氧化物薄膜晶体管。本发明实施例提供的非晶氧化物薄膜晶体管及其制作方法，通过制作小电阻的欧姆接触层可以减小源漏极的寄生电阻；另外，通过制作刻蚀保护层可以避免在后续工序中形成源漏极所使用的光刻工艺对沟道层的影响。另外，本实施例中提供的非晶氧化物薄膜晶体管可以应用于液晶显示面板中。所述液晶显示面板包括栅线和数据线所限定的像素单元；所述像素单元中形成有非晶氧化物薄膜晶体管。其中，该非晶氧化物薄膜晶体管的结构可以参考图13。所述非晶氧化物薄膜晶体管，包括栅极2、栅绝缘层3、半导体有源层、源极61、漏极62以及钝化保护层7，所述半导体有源层为沟道层4和欧姆接触层的双层结构，且所述沟道层4比所述欧姆接触层的含氧量高；所述沟道层4与所述栅绝缘层3相贴合，所述欧姆接触层分为两个独立的欧姆接触区51、52，且所述两个独立的欧姆接触区51、52分别与所述源极61、漏极62相贴合；所述两个独立的欧姆接触区51、52之间形成有刻蚀保护层9，所述刻蚀保护层9位于所述沟道层4与所述钝化保护层7之间。其中，所述沟道层4是在含氧气氛下溅射非晶氧化物材料形成的；所述欧姆接触层是在不含氧气氛下溅射非晶氧化物材料形成的；所述含氧气氛可以为分压比范围为O2/Ar = 0% 30%的氧氩混合气氛，所述不含氧气氛可以为纯氩气氛；所述非晶氧化物材料可以为氧化锌ZnO基或二氧化锡SnO2基氧化物，具体地，所述非晶氧化物材料可以为氧化锌锡ΖΤ0、氧化铟锡ΙΤ0、氧化锌铟ΖΙ0、氧化铟镓IG0、氧化铟镓锌IGZ0、氧化铝锌锡AZTO中的至少一种。本发明实施例提供的使用图13所示的非晶氧化物薄膜晶体管的液晶显示面板，同样可以减小薄膜晶体管源漏极的寄生电阻，从而可以提升电流的驱动能力。以上所述，仅为本发明的具体实施方式
，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
权利要求
1.一种非晶氧化物薄膜晶体管，包括栅极、栅绝缘层、半导体有源层、源极、漏极以及钝化保护层，其特征在于，所述半导体有源层为沟道层和欧姆接触层的双层结构，且所述沟道层比所述欧姆接触层的含氧量高； 所述沟道层与所述栅绝缘层相贴合，所述欧姆接触层分为两个独立的欧姆接触区，且所述两个独立的欧姆接触区分别与所述源极、漏极相贴合。
2.根据权利要求I所述的非晶氧化物薄膜晶体管，其特征在于，所述沟道层是在含氧气氛下溅射非晶氧化物材料形成的；所述欧姆接触层是在不含氧气氛下溅射非晶氧化物材料形成的。
3.根据权利要求I或2所述的非晶氧化物薄膜晶体管，其特征在于，所述两个独立的欧姆接触区之间形成有刻蚀保护层，所述刻蚀保护层位于所述沟道层与所述钝化保护层之间。
4.一种液晶显示面板，包括栅线和数据线所限定的像素单元；所述像素单元中形成有非晶氧化物薄膜晶体管，该非晶氧化物薄膜晶体管包括栅极、栅绝缘层、半导体有源层、源极、漏极以及钝化保护层，其特征在于，所述半导体有源层为沟道层和欧姆接触层的双层结构，且所述沟道层比所述欧姆接触层的含氧量高； 所述沟道层与所述栅绝缘层相贴合，所述欧姆接触层分为两个独立的欧姆接触区，且所述两个独立的欧姆接触区分别与所述源极、漏极相贴合。
5.根据权利要求4所述的液晶显示面板，其特征在于，所述沟道层是在含氧气氛下溅射非晶氧化物材料形成的；所述欧姆接触层是在不含氧气氛下溅射非晶氧化物材料形成的。
6.根据权利要求4或5所述的液晶显示面板，其特征在于，所述两个独立的欧姆接触区之间形成有刻蚀保护层，所述刻蚀保护层位于所述沟道层与所述钝化保护层之间。
7.一种非晶氧化物薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，包括 步骤a、在制作半导体有源层的过程中，分别制作沟道层和欧姆接触层以形成所述半导体有源层；所述沟道层比所述欧姆接触层的含氧量高； 所述沟道层与所述栅绝缘层相贴合，所述欧姆接触层分为两个独立的欧姆接触区，且所述两个独立的欧姆接触区分别与所述源极、漏极相贴合。
8.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于，步骤a包括 步骤all、在含氧气氛下向基板溅射非晶氧化物材料，形成第一半导体有源层薄膜；在不含氧气氛下溅射非晶氧化物材料，形成第二半导体有源层薄膜； 步骤al2、在完成步骤all的基板上，经过光刻工艺图形化所述第一半导体有源层薄膜和第二半导体有源层薄膜，形成沟道层； 步骤al3、在完成步骤al2的基板上，经过光刻工艺图形化所述第二半导体有源层薄膜，形成欧姆接触层且所述欧姆接触层分为两个独立的欧姆接触区。
9.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于，步骤a包括 步骤a20、在基板上涂覆光刻胶，并经过曝光、剥离工艺除去沟道层区域的光刻胶； 步骤a21、在含氧气氛下向完成步骤a20的基板溅射非晶氧化物材料，形成第一半导体有源层薄膜；在不含氧气氛下溅射非晶氧化物材料，形成第二半导体有源层薄膜； 步骤a22、在完成步骤a21的基板上，经过剥离工艺除去第一半导体有源层薄膜带光刻胶的部分和第二半导体有源层薄膜带光刻胶的部分，形成沟道层； 步骤a23、在完成步骤a22的基板上，经过光刻工艺图形化所述第二半导体有源层薄膜，形成欧姆接触层且所述欧姆接触层分为两个独立的欧姆接触区。
10.根据权利要求8或9所述的制作方法，其特征在于，所述非晶氧化物材料为氧化锌ZnO基或二氧化锡SnO2基氧化物。
11.根据权利要求8或9所述的制作方法，其特征在于，所述非晶氧化物材料为氧化锌锡ZT0、氧化铟锡IT0、氧化锌铟ZI0、氧化铟镓IG0、氧化铟镓锌IGZ0、氧化铝锌锡AZTO中的至少一种。
12.根据权利要求8或9所述的制作方法，其特征在于，所述含氧气氛为分压比范围为O2Ar = 0% 30%的氧氩混合气氛，所述不含氧气氛为纯氩气氛。
13.根据权利要求7 9中任一项所述的制作方法，其特征在于，还包括步骤b； 步骤b包括 步骤bll、在完成步骤a的基板上制作刻蚀保护薄膜，经过光刻工艺形成刻蚀保护层；所述刻蚀保护层在所述沟道层与钝化保护层之间，且所述刻蚀保护层的材料为绝缘材料；步骤bl2、制作源漏金属薄膜，经过光刻工艺形成源极和漏极。
14.根据权利要求13所述的制作方法，其特征在于，步骤b中在步骤bl2之前还包括 步骤bl3、使用氩等离子体处理欧姆接触区的表面。
15.根据权利要求7 9中任一项所述的制作方法，其特征在于，还包括步骤b； 步骤b包括 步骤b21、在完成步骤a的基板上涂覆光刻胶，并经过曝光、剥离工艺留下所述两个独立的欧姆接触区之间的光刻胶； 步骤b22、制作源漏金属薄膜，经过剥离工艺形成源极和漏极。
16.根据权利要求15所述的制作方法，其特征在于，步骤b中在步骤b22之前还包括 步骤b23、使用氩等离子体处理欧姆接触区的表面。
17.根据权利要求7所述的制作方法，其特征在于，在步骤a之前还包括 步骤U、在基板上制作栅金属薄膜，并经过光刻工艺形成栅极； 步骤V、在完成步骤u的基板上形成栅绝缘层，并图形化所述栅绝缘层。
18.根据权利要求17所述的制作方法，其特征在于，在步骤a之前还包括 步骤《、在氮气、或氧气、或真空条件下将完成步骤V的基板进行退火工艺，退火温度范围为 350°C~ 4000C o
全文摘要
本发明实施例公开了一种非晶氧化物薄膜晶体管及其制作方法、显示面板，涉及薄膜晶体管及显示面板的设计和制备领域，用以降低源漏极的寄生电阻。所述非晶氧化物薄膜晶体管，在基板上包括栅极、栅绝缘层、半导体有源层、源极、漏极以及钝化保护层，并且所述半导体有源层为沟道层和欧姆接触层的双层结构，所述沟道层比所述欧姆接触层的含氧量高；另外，所述沟道层与所述栅绝缘层相贴合，所述欧姆接触层分为两个独立的欧姆接触区，且所述两个独立的欧姆接触区分别与所述源极、漏极相贴合。
文档编号H01L29/36GK102655165SQ20111007608
公开日2012年9月5日 申请日期2011年3月28日 优先权日2011年3月28日
发明者刘晓娣, 孙力, 陈海晶 申请人:京东方科技集团股份有限公司