新型ic封装制造工艺的制作方法

文档序号:7156170阅读:168来源:国知局
专利名称:新型ic封装制造工艺的制作方法
技术领域
本发明涉及一种IC封装技术,尤其涉及一种新型的IC封装工艺。
背景技术
IC封装,就是指把硅片上的电路管脚,用导线接引到外部接头处,以便与其它器件连接,封装形式是指安装半导体集成电路芯片用的外壳。它不仅起着安装、固定、密封、保护芯片及增强电热性能等方面的作用,而且还通过芯片上的接点用导线连接到封装外壳的引脚上,这些引脚又通过印刷电路板上的导线与其他器件相连接,从而实现内部芯片与外部电路的连接。因为芯片必须与外界隔离,以防止空气中的杂质对芯片电路的腐蚀而造成电气性能下降。目前市场上同类IC封装产品都是用塑料配件单个手工封装,封装精度差,封装速度慢,防潮性能差,不能满足需要。

发明内容
本发明的目的在于提供一种新型的IC封装制造工艺,该工艺采用专门的压合设备、压合材料、分割设备完全替代了手工封装过程,解决了封装精度差,封装速度慢等现有技术中存在的技术问题。为解决上述问题,本发明所采取的技术方案是一种新型IC封装制造工艺,所述的工艺包括以下步骤步骤1,制作IC载板;步骤2,准备封装盖板;步骤3,在封装盖板反面上上胶,通过机械整体压合到IC载板上;步骤4,采用士 0. 05mm高精度雕刻机雕刻成型,步骤5,通过绑定机绑定IC载板,步骤6,在封装盖板正面覆上50 树脂型纯胶,步骤7,把封装玻璃通过机械整体压合在盖板上,再通过分割机切割成型。更进一步的技术方案是所述的步骤3中在封装盖板反面上胶是指在封装盖板反面上树脂型纯胶,并且在步骤3中进行整体压合时需要将温度控制在170-180度,时间控制在30分钟。所述的步骤7中,将封装玻璃通过机械整体压合在盖板上时,需要将温度控制在 175度,时间控制在30分钟。所述的步骤1包括以下步骤步骤1-1,底片制作,即进行光绘底片制作;步骤1-2,开料;步骤1-3,钻孔,即在底片上冲钻基准孔;步骤1-4,沉铜,即在底片的基材表面和基准孔上沉上一层化学薄铜;
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步骤1-5,加厚铜,即再一次沉铜,以使铜层厚度增加;
步骤1-6,图形转移;
步骤1-7,图形电镀;
步骤1-8,退膜;
步骤1-9,半孔加工;
步骤1-10,蚀刻;
步骤1-11,退锡;
步骤1-12,对底片进行第一次测试;
步骤1-13,阻焊;
步骤1-14,化金;
步骤1-15,对底片进行第二次测试;
所述的步骤2包括
步骤2-1,盖板备料;
步骤2-2,盖板开料;
步骤2-3,背胶;
步骤2-4,机加工;
步骤2-5,清洗;
所述的步骤1-1中在进行光绘底片时须进行工艺补偿,工艺补偿须依据测量不同
厚度Cu的侧蚀来确定,所述的底片为正片。所述的步骤2-1中盖板的材料使用高TG双面板材,并将双面板材的铜皮蚀掉。所述的步骤1-6中包括以下子步骤步骤1-6-1,磨板;步骤1-6-2,对Cu面的处理运用化学微蚀处理;步骤1-6-3,烘干后立即进行贴膜;步骤1-6-4,显影后,用刻度放大镜测量线及间隙是否达到图纸要求,保证线条光滑无锯齿。所述的步骤1-9中,半孔加工采用正反两刀铣槽,行刀速度控制在1-2米/分钟。所述的步骤1-10中,蚀刻采用CuCl2溶液进行腐蚀,同时将图形BGA面朝下以减少侧蚀量。采用上述技术方案所产生的有益效果在于1、各部件之间采用树脂型的纯胶进行整体压合,替代传统的单体手工封装,大大提高了封装速度;2、封装盖板采用高精度CNC成型,代替了单体塑料件注塑方式,提高了封装精度;3、采用晶元分割机分割整体压合的产品,提高了封装精度;4、各部件之间采用树脂型的纯胶进行整体压合,提高了各部件之间的致密度,亦提高了封装后的防潮功能。5、本发明的IC载板制作也是非常严谨,制造出来的线条精度高,蚀刻后无残铜且线条光滑,盖板不变形,无严重溢胶,盖板与主板的结合力达到IOKG以上,机械加工后基板无分层,半孔无毛刺,外形边缘整齐,无粉尘。


图1是本发明所制成产品的结构示意图。
具体实施例方式下面对本发明做进一步详细描述如图1所示,是本发明所制成产品的层结构示意图,生产制作的工艺流程如下步骤1,制作IC载板3;步骤2,准备封装盖板2 ;步骤3,在封装盖板反面上上50^1树脂型纯胶,通过机械整体压合到IC载板上; 此压合步骤中需要将温度控制在170-180度,时间控制在30分钟。步骤4,采用士 0. 05mm高精度雕刻机雕刻成型,步骤5,通过绑定机绑定IC载板3,步骤6,在封装盖板2正面覆上50Um树脂型纯胶,步骤7,把封装玻璃1通过机械整体压合在封装盖板2上,压合时需要将温度控制在175度,时间控制在30分钟,再通过分割机切割成型。具体来讲,步骤1包括以下步骤步骤1-1,底片制作,即进行光绘底片制作;底片制作,即进行光绘底片制作;在进行光绘底片时须进行工艺补偿,工艺补偿须依据测量不同厚度Cu的侧蚀来确定,所述的底片为正片,线宽补偿公式是损失量(MIL)=基铜(MIL)/1.2,例如35UM基铜其损失量为 35/25. 4*1.2 = IJmiL其损失量为线宽的损失量+补偿量(线宽需在客户要求范围内调整))。步骤1-2,开料;步骤1-3,钻孔,即在底片上冲钻基准孔;步骤1-4,沉铜,即在底片的基材表面和基准孔上沉上一层化学薄铜;步骤1-5,加厚铜,即再一次沉铜,以使铜层厚度增加;步骤1-6,图形转移;步骤1-6中包括以下子步骤步骤1-6-1,磨板;步骤1-6-2,对Cu面的处理运用化学微蚀处理;步骤1-6-3,烘干后立即进行贴膜;步骤1-6-4,显影后,用刻度放大镜测量线及间隙是否达到图纸要求,保证线条光滑无锯齿;步骤1-7,图形电镀;在本步骤中要特别注意阶梯电镀的品质问题,确保铜面平整,使bonding顺利进行;步骤1-8,退膜,步骤1-9,半孔加工;半孔加工采用正反两刀铣槽,行刀速度控制在1-2米/分钟。步骤1-10,蚀刻;蚀刻采用CuCl2溶液进行腐蚀,同时将图形BGA面朝下以减少侧蚀量。
步骤1-11,退锡;本步骤中网版可以选用43T的网目,阻焊必须平整否则影响主板与盖板的结合力。步骤1-12,对底片进行第一次测试;步骤1-13,阻焊;步骤1-14,化金;步骤1-15,对底片进行第二次测试;具体来说步骤2包括步骤2-1,盖板备料;材料使用高TG双面板材,并将双面板材的铜皮蚀掉。步骤2-2,盖板开料;步骤2-3,背胶;盖板背胶必须保证无气泡,平整无垃圾,步骤2-4,机加工;外形机加工时,应采用精密数控铣床,把精度控制好,不能有粉尘和毛刺的产生。步骤2-5,清洗。
权利要求
1.一种新型IC封装制造工艺,其特征在于所述的工艺包括以下步骤 步骤1,制作IC载板;步骤2,准备封装盖板;步骤3,在封装盖板反面上上胶,通过机械整体压合到IC载板上; 步骤4,采用士0. 05mm高精度雕刻机雕刻成型, 步骤5,通过绑定机绑定IC载板, 步骤6,在封装盖板正面覆上50Um树脂型纯胶,步骤7,把封装玻璃通过机械整体压合在盖板上,再通过分割机切割成型。
2.根据权利要求1所述的新型IC封装制造工艺,其特征在于所述的步骤3中在封装盖板反面上胶是指在封装盖板反面上50Um树脂型纯胶,并且在步骤3中进行整体压合时需要将温度控制在170-180度,时间控制在30分钟。
3 根据权利要求1所述的新型IC封装制造工艺,其特征在于所述的步骤7中,将封装玻璃通过机械整体压合在盖板上时,需要将温度控制在170-180度,时间控制在30分钟。
4.根据权利要求1所述的新型IC封装制造工艺,其特征在于所述的步骤1包括以下步骤步骤1-1,底片制作,即进行光绘底片制作; 步骤1-2,开料;步骤1-3,钻孔,即在底片上冲钻基准孔;步骤1-4,沉铜,即在底片的基材表面和基准孔上沉上一层化学薄铜;步骤1-5,加厚铜,即再一次沉铜,以使铜层厚度增加;步骤1-6,图形转移;步骤1-7,图形电镀;步骤1-8,退膜,步骤1-9,半孔加工;步骤1-10,蚀刻;步骤1-11,退锡;步骤1-12,对底片进行第一次测试; 步骤1-13,阻焊; 步骤1-14,化金;步骤1-15,对底片进行第二次测试。
5.根据权利要求1所述的新型IC封装制造工艺,其特征在于所述的步骤2包括 步骤2-1,盖板备料;步骤2-2,盖板开料; 步骤2-3,背胶; 步骤2-4,机加工; 步骤2-5,清洗。
6.根据权利要求4所述的新型IC封装制造工艺,其特征在于所述的步骤1-1中在进行光绘底片时须进行工艺补偿,工艺补偿依据测量不同厚度Cu的侧蚀来确定,所述的底片为正片。
7.根据权利要求4所述的IC封装载板的制造工艺,其特征在于所述的步骤2-1中盖板的材料使用高TG双面板材,并将双面板材的铜皮蚀掉。
8.根据权利要求4所述的新型IC封装制造工艺,其特征在于所述的步骤1-6中包括以下子步骤步骤1-6-1,磨板;步骤1-6-2,对Cu面的处理运用化学微蚀处理;步骤1-6-3,烘干后立即进行贴膜;步骤1-6-4,显影后,用刻度放大镜测量线及间隙是否达到图纸要求,保证线条光滑无锯齿。
9.根据权利要求1所述的新型IC封装制造工艺,其特征在于所述的步骤1-9中,半孔加工采用正反两刀铣槽,行刀速度控制在1-2米/分钟。
10.根据权利要求1所述的新型IC封装制造工艺,其特征在于所述的步骤1-10中, 蚀刻采用CuCl2溶液进行腐蚀,同时将图形BGA面朝下以减少侧蚀量。
全文摘要
一种新型IC封装制造工艺包括以下步骤制作IC载板;准备封装盖板;在封装盖板反面上上胶,通过机械整体压合到IC载板上;采用±0.05mm高精度雕刻机雕刻成型,通过绑定机绑定IC载板,在封装盖板正面覆上50Um树脂型纯胶,把封装玻璃通过机械整体压合在盖板上,再通过分割机切割成型。本发明有益效果在于各部件之间采用树脂型的纯胶进行整体压合,替代传统的单体手工封装,大大提高了封装速度;封装盖板采用高精度CNC成型,代替了单体塑料件注塑方式,提高了封装精度;采用晶元分割机分割整体压合的产品,提高了封装精度;各部件之间采用树脂型的纯胶进行整体压合,提高了各部件之间的致密度,亦提高了封装后的防潮功能。
文档编号H01L21/48GK102254838SQ201110225548
公开日2011年11月23日 申请日期2011年8月8日 优先权日2011年8月8日
发明者陈胜华 申请人:慈溪市永旭丰泰电子科技有限公司
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