专利名称：基板处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种基板处理装置，在基板处理装置中，将半导体晶片、液晶显示器用基板、等离子显示器用基板、有机EL用基板、FED (Field EmissionDisplay :场发射显示器)用基板、光学显示器用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、太阳能电池用基板(下面，仅称基板)放入每个收纳器的内部，并从收纳器取出基板来对基板进行清洗处理、蚀刻处理等各种处理，然后将基板容置在收纳器中而送出。
背景技术：
以往，作为这种第I装置具有以下的结构，具有基板处理单元、收纳器容置/搬运单元、装载口，收纳器容置/搬运单元具有多个保持架、内部载置部、第I搬运部、第2搬运部(例如，参照日本特开2006-237559号公报)。基板处理单元用于对基板进行各种处理。收纳器容置/搬运单元，与基板处理单元接近排列地设置，容置或搬运FOUP (Front Opening Unified Pod :正面开口标准箱)，其中，FOUP用于容置基板。装载口与收纳器容置/搬运单元接近排列地设置，用于载置FOUP。在装载口，通过作为自动物料搬运系统(Automated Material Handling System)的无人搬运车(AGV !Automatic Guided Vehicles)或架空行走式无人搬运车(Overhead HoistTransfer)交接F0UP。设置在收纳器容置/搬运单元中的保持架配置有多个(例如，16个)来保持F0UP。内部载置部配置在收纳器容置/搬运单元与多个保持架之间，载置有F0UP。第I搬运部在装载口和多个保持架之间搬运F0UP。第2搬运部在多个保持架和内部载置部之间搬运FOUP。在这样构成的第I装置中，通过第I搬运部在装载口和多个保持架之间进行搬运，通过第2搬运部在内部载置部和多个保持架之间进行搬运。因此，这些搬运能够大致并行地进彳丁，提闻FOUP的搬运效率，从而能够提闻基板处理装直的生广率。此外，通常自动物料搬运系统在搬运时间内会偏移而不稳定。这成为妨碍提高基板处理装置的生产率的原因。因此，为了吸收该偏移，提出了增加装载口的第2装置(例如，参照日本特开第3521330号公报)以及将架空行走式无人搬运车形成2车道的第3装置(例如，参照日本特开2010-192855号公报)。但是，在具有这样结构的现有例的装置，存在如下的问题。S卩，通常因为通过基板处理单元进行发生化学反应的处理，所以不能缩短在基板处理单元中进行的处理时间。因此，为了提高生产率，增加基板处理单元内所配置的处理槽的数量，来增加能够并行处理的数量。于是，要增加用于收纳处理中的基板的空的F0UP，并要增加FOUP的容置场所。在现有的第I装置中，在要增加能够从第I搬运部和第2搬运部这两个搬运部存取的保持架数量时，会使装置宽度变宽，或者使装置的高度变高。但是，如果装置的宽度变宽，则无尘室内能够配置的装置台数减少，如果装置的高度变高，则由于与无尘室的天花板高度的关系而使配置受到限制。因此，存在不能最大限度的实现高生产率的性能的问题。
另外，在第2装置中，因为增加装载口使装置的横向宽度变宽，所以存在对无尘室内可配置的台数不利的问题。另外，在第3装置中，因为架空行走式无人搬运车的价格高，所以对成本不利。而且，通过形成为2车道，装载口的间距变大而使装置变长，也存在对设置台数不利的问题。
发明内容
本发明是鉴于上述情况而提出的，其目的在于提供一种基板处理装置，能够抑制 装置尺寸增加，增加收纳器的容纳数量，实现装置的高生产率。本发明为达成上述的目的，采用如下配置。一种基板处理装置，用于处理基板，包括基板处理单元，用于对基板进行处理，收纳器容置单元，与所述基板处理单元接近排列地设置，用于对收纳基板的收纳器进行容置，收纳器容置/搬运单元，与所述收纳器容置单元接近排列地设置，用于对收纳基板的所述收纳器进行容置及搬运，第I载置部，与所述收纳器容置/搬运单元接近排列地设置，用于载置所述收纳器；所述收纳器容置单元具有多个第I保持架，该多个第I保持架用于保持所述收纳器；所述收纳器容置/搬运单元具有多个第2保持架，用于保持所述收纳器，第2载置部，配置在所述基板处理单元和所述多个第2保持架之间，用于载置所述收纳器，第I搬运部，在所述第I载置部和所述多个第2保持架之间搬运所述收纳器，第2搬运部，在所述多个第I保持架、所述多个第2保持架和所述第2载置部之间搬运所述收纳器。根据本发明，在基板处理单元和收纳器容置/搬运单元之间具有收纳器容置单元，通过第I搬运部在第I载置部和第2保持架之间搬运收纳器。另外，通过第2搬运部在第I保持架、第2保持架和第2载置部之间搬运收纳器。因此，第I载置部和第2保持架之间的搬运与第I保持架、第2保持架和第2载置部之间的搬运能够大致并行地进行。结果，提高收纳器的搬运效率，从而能够提高生产率。而且，仅在收纳器容置/搬运单元与基板处理单元之间配置收纳器容置单元，能够抑制装置尺寸增加。因此，能够增加收纳器的容置数量而实现装置的高生产率。另外，在本发明中优选，具有控制部，该控制部对所述第I搬运部和所述第2搬运部的搬运动作进行控制，所述控制部控制所述收纳器的搬运，使得在所述多个第2保持架中至少有一个第2保持架为空。因为控制部控制搬运，使得在多个第2保持架中至少有一个第2保持架为空，所以能够利用空的第2保持架，优先从第I保持架向第I载置部送出收纳器。另外，在本发明中优选，具有控制部，该控制部对所述第I搬运部和所述第2搬运部的搬运动作进行控制，所述控制部控制所述收纳器的搬运，使得在所述多个第I保持架中至少有一个第I保持架为空。因为控制部控制搬运，使得在多个第I保持架中至少有一个一个第I保持架为空，所以即使在第2保持架装满收纳器的状态下，也能够利用空的第I保持架暂时容置收纳有处理后的基板的收纳器。因此，能够防止停滞从基板处理单元搬出处理后的基板的情况。另外，在本发明中优选，具有控制部，该控制部对所述第I搬运部和所述第2搬运部的搬运动作进行控制，并且，所述收纳器容置/搬运单元具有暂置架，该暂置架用于仅向一个特定方向搬运所述收纳器，该一个特定方向是指从所述第I搬运部侧朝向所述第2搬运部侧的方向，所述控制部将所述暂置架优先使用于所述收纳器的送出。能够经由暂置架，优先从第I保持架向第I载置部送出收纳器。另外，在本发明中优选，所述多个第I保持架优先保持曾收纳过所述基板处理单元正在处理中的基板的所述收纳器。因为在靠近第2载置部的位置保持空的收纳器，所以能够在短时间内将结束了处理的基板收纳在收纳器中。另外，在本发明中优选，所述多个第2保持架优先保持收纳有投入所述基板处理单元之前的基板的所述收纳器；以及，收纳有通过所述基板处理单元处理过的基板的所述 收纳器。因为在靠近第I载置部的位置保持收纳器，所以能够在短时间内将收纳有处理后的基板的收纳器搬运至第I载置部。另外，在本发明中优选，在所述多个第I保持架或者所述多个第2保持架中的任意一个为空的情况下，所述控制部请求自动物料搬运系统搬运比所述第I载置部能够载置的所述收纳器的个数更多的所述收纳器，其中，所述自动物料搬运系统与所述第I载置部之间交接所述收纳器。因为通过收纳器容置单元使收纳器的容置数量增加，所以能够通过被请求搬运比第I载置部能够载置的收纳器的个数多的收纳器、的自动物料搬运系统，多重搬运收纳器。因此，能够将与第I载置部之间交接所述收纳器的自动物料搬运系统的搬运间隔设定得长，所以能够减轻自动物料搬运系统的负荷。
为了说明发明，而图示了几个当前优选的方式，但是应该理解为发明不限于图示的结构以及方案。图I是表示实施例的基板处理装置的概略结构的外观立体图。图2是收纳器容置/搬运单元以及收纳器容置单元的俯视图。图3是收纳器容置/搬运单元的主视图。图4是收纳器容置单元的主视图。
具体实施例方式
下面，参照
本发明的一个实施例。图I是表示实施例的基板处理装置的概略结构的外观立体图，图2是收纳器容置/搬运单元以及收纳器容置单元的俯视图，图3是收纳器容置/搬运单元的主视图。本实施例的基板处理装置I,将收纳在FOUP(Front Opening Unified Pod :正面开口标准箱)3中的多个基板W以整个F0UP3为单位搬入内部，然后从F0UP3取出基板W，并依次对基板W进行使用处理液的处理等，然后将基板W容置在F0UP3中并送出。使用处理液的处理例如有使用氢氟酸的蚀刻处理，使用纯水的冲洗处理，以及使用硫酸和双氧水的混合液的被膜除去处理等。基板处理装置I主要具有装载口 5、收纳器容置/搬运单元7、收纳器容置单元9、基板处理单元11。另外，具有整体控制该基板处理装置I的控制部13。该控制部13内置有未图示的CPU及存储器。此外，在图中，为了明确方向关系，按照需要附加了以铅垂方向作为Z方向、以xy平面作为水平面的xyz正交坐标系。如图3所示，F0UP3在框体的上表面形成有凸缘15。另外，在框体的底面形成有孔部(未图示)。后述的搬运系统通过把持凸缘15或者使臂的突出部与底面的孔部相卡合来搬运F0UP3。另外，F0UP3具有相对于框体的开口部装拆自如的盖(未图示)。当安装有盖时，F0UP3内形成密闭空间，所以无论配置基板处理装置I的无尘室的洁净度如何，都能够将收纳有基板W的F0UP3的内部维持高的洁净度。另外，F0UP3例如能够以水平姿势收纳 25个基板W。装载口 5用于载置F0UP3，该F0UP3通过作为自动物料搬运系统(AutomatedMaterial Handling System)的无人搬运车(AGV !Automatic Guided Vehicles)、架空行走式无人搬运车(Overhead Hoist Transfer)或者基板处理装置I的操作员来交接。装载口5与收纳器容置/搬运单元7接近排列地设置，在该载置面5a上载置有多个(在本实施方式中为4个)F0UP3。此外，上述的装载口 5相当于本发明的“第I载置部”。如图I和图3所示，收纳器容置/搬运单元7在装载口 5 —侧的侧面上设置有多个(在本实施方式中为4个)遮挡板17。遮挡板17打开时，形成将基板处理装置I的外部和收纳器容置/搬运单元7的内部连通的开口部。根据此结构，收纳器容置/搬运单元7通过搬运机器手19的操作，经由遮挡板17打开而形成的开口部，在装载口 5的载置面5a和收纳器容置/搬运单元7的内侧空间之间搬运F0UP3。也就是说，从装载口 5向收纳器容置/搬运单元7搬入收纳有未处理的基板W的F0UP3。另外，从收纳器容置/搬运单元7向装载口 5送出收纳有通过基板处理单元11处理过的基板W的F0UP3。收纳器容置/搬运单元7将载置于装载口 5的F0UP3暂时容置在内部，并且将收纳有基板W的F0UP3向基板处理单元11 一侧搬运。基板处理单元11在收纳器容置/搬运单元7 —侧具有开闭机构21以及搬运机构23，开闭机构21以及搬运机构23用于在收纳器容置/搬运单元7和收纳器容置单元9之间交接基板W。开闭机构21以及搬运机构23与收纳器容置/搬运单元7的遮挡板25相邻配置。开闭机构21保持F0UP3的盖而将其从F0UP3上拆下，或者将盖安装在F0UP3上。另外，在遮挡板25的收纳器容置/搬运单元7 —侧设置有载置部27。搬运机构23在遮挡板25打开时，并在载置部27上所载置的F0UP3的盖被拆下的情况下，在与F0UP3之间搬运基板W。此外，上述的载置部27相当于本发明中的“第2载置部”。由搬运机构23搬入基板处理单元11 一侧的基板W通过基板处理单元11实施各种处理。之后，结束了处理的基板W通过搬运机构23经由遮挡板25向收纳器容置/搬运单元7侧搬运而收纳在F0UP3中。如图2所示，收纳器容置/搬运单元7主要具有两个搬运机器手19、31、保持架排列部33、两个载置部27、35。另外，收纳器容置/搬运单元7的各构件分别沿着水平方向(大致X方向)配置，构成三列。也就是说，在从装载口 5侧数的第I列设置有搬运机器手19和载置部35。另夕卜，在从装载口 5侧数的第2列设置有保持架排列部33。进一步，在从装载口 5侧数的第3列设置有搬运机器手31和载置部27。保持架排列部33是能够容置多个(在本实施方式中为16个)F0UP3的容置部。也就是说，在保持架排列部33上例如容置如下的F0UP3，即，收纳有未处理的基板W的F0UP3。如图2以及图3所示，保持架排列部33是多个保持架沿着铅垂方向(z方向)和水平方向(X方向)二维排列而形成的。 多个保持架各自具有一对保持架构件37。如图2以及图3所示，各个保持架构件37的纵截面大致呈“L”字形。各个保持架构件37以其长度方向与I方向大致平行的方式安装在支架39上。虽然省略图示，但在保持架构件37的上表面形成有与F0UP3的底面所设置的孔部相对应的突出部。因此，一对保持架构件37能够稳定地保持F0UP3。这样，一对保持架构件37作为用于容置F0UP3的容置架。另外，被一对保持架构件37夹着的区域作为容置F0UP3的容置空间41使用。此外，上述的保持架排列部33相当于本发明中的“多个第2保持架”。另外，构成容置架的一对保持架构件37之间形成开口部43。该开口部43形成为比搬运机器手19的前端部45的尺寸大。并且，如图2所示，各开口部43沿着铅垂方向(z方向)配置。因此，搬运机器手19的前端部45能够一边通过这些开口部43 —边在保持架排列部33的内部升降。也就是说，前端部45能够沿着铅垂方向通过保持架排列部33的多个容置架各自的开口部43。如图2所示，从保持架排列部33来看，搬运机器手19配置在装载口 5 —侧，搬运机器手31配置在基板处理单元11 一侧。换而言之，搬运机器手19设置在隔着保持架排列部33与搬运机器手31 —侧相反的一侧。此外，搬运机器手31的结构与搬运机器手19大致相同。因此，下面仅对搬运机器手19的结构详细说明。搬运机器手19的前端部45俯视呈大致三角形，从下侧保持F0UP3。在前端部45的上表面的各个顶点附近形成有突出部47。在F0UP3的底面设置有与该突出部47相对应的3个孔部(未图示)。另外，前端部45以能够围绕z轴旋转的方式安装在臂49的前端侧。因此，搬运机器手19通过一边使前端部45围绕z轴旋转，一边使突出部47嵌合在F0UP3的孔部中，从而能够稳定地保持F0UP3。而且，臂49的基端部安装在臂51的前端部。臂49的前端部能够围绕z轴旋转。臂51的基端部安装在固定台53上。臂51的前端部能够围绕z轴旋转。固定台53可升降地安装在支柱55上,该支柱55立设于z方向。而且,支柱55能够沿着配置于水平方向(X方向)的导轨57移动。如此，搬运机器手19使保持在前端部45上的F0UP3沿着保持架排列部33在水平方向(X方向)上移动，并且在铅垂方向(z方向)上升降。因此，搬运机器手19能够在保持架排列部33的容置空间41、装载口 5以及载置部35之间搬运F0UP3。另外，搬运机器手31在下面详述的收纳器容置单元9的保持架排列部69的容置空间79、收纳器容置/搬运单元7的保持架排列部33的容置空间41和载置部27之间搬运F0UP3。此外，上述的搬运机器手19相当于本发明的“第I搬运部”，搬运机器手31相当于本发明的“第2搬运部”。载置部35为了执行映射处理而使用。映射处理指对在从装载口 5搬入的F0UP3中所收纳的基板W的个数以及收纳位置进行确认的处理。从保持架排列部33来看，载置部35配置在装载口 5 —侧。载置部35具有用于使F0UP3的盖开闭的开闭机构59。一对保持架构件61与保持架构件37同样，纵截面呈大致“L”字形，并具有突出部。另外，一对保持架构件61安装成其长度方向与X方向大致平行。而且，载置部35具有计数机构63，该计数机构63对内部所收纳的基板W的个数进行计数。因此，在一对保持架构件61上载置有F0UP3时，开闭机构59拆下F0UP3的盖。然后，计数机构63对F0UP3内所收纳的基板W的个数进行计数。然后，开闭机构59将盖安装 在F0UP3上。另外，载置部35在一对保持架构件61的上方设置有升降机65。升降机65具有升降臂67。升降臂67能够沿铅垂方向(z方向)在图3中实线所示的“载置位置”和双点划线所示的“待避位置”之间升降。升降臂67能够把持F0UP3的凸缘15，并且能够解除该把持状态。由此，载置部35能够通过升降臂67把持凸缘15，并且能够使完成了映射处理的F0UP3上升到待避位置。因此，搬运机器手19能够在将没有进行映射处理的F0UP3载置于载置部35之后，接着从载置部35接受进行了映射处理并上升到待避位置的F0UP3。也就是说，能够仅使搬运机器手19在保持架排列部33和载置部35之间往返I次，来执行对完成映射处理的F0UP3和未进行映射处理的F0UP3进行更换的更换作业。结果，能够进一步提高通过收纳器容置/搬运单元7执行的生产率。这里，参照图4。此外，图4是收纳器容置单元的主视图。但是，为了容易把握位置关系，在图4中也记载了收纳器容置/搬运单元7的一部分。在基板处理单元11和收纳器容置/搬运单元7之间设置有收纳器容置单元9。也就是说，收纳器容置单元9与基板处理单元11接近排列地设置。该收纳器容置单元9具有结构与收纳器容置/搬运单元7的保持架排列部33同样的保持架排列部69。但是，在基板处理单元11 一侧设置有分隔壁71，该分隔壁71用于在基板处理单元11和收纳器容置单元9及收纳器容置/搬运单元7之间分离气体环境。在分隔壁71上形成有开口部73，在该开口部73配置有基板处理单元11的开闭机构21以及搬运机构23。保持架排列部69的结构与上述的收纳器容置/搬运单元7的保持架排列部33同样。也就是说，保持架排列部69是容置多个(在本实施方式中为16个)F0UP3的收纳部。如图2以及图4所示，保持架排列部69沿铅垂方向(z方向)和水平方向(X方向)二维排列有多个保持架。此外，上述的保持架排列部69相当于本发明的“多个第I保持架”。多个保持架各自具有一对保持架构件75，各保持架构件75的纵截面呈大致“L”字形。各保持架构件75安装在支架77上，通过在保持架构件75的上表面卡止F0UP3的突出部(未图示)，一对保持架构件75能够稳定地保持F0UP3。被一对保持架构件75夹着的区域是容置空间79，用于容置F0UP3。另外，一对保持架构件75之间形成有开口部81。开口部81的开口比搬运机器手31的前端部45大。因此，搬运机器手31的前端部45能够一边通过这些开口部81，一边在保持架排列部69的内部升降。载置部27用于将F0UP3中所收纳的基板W交接至基板处理单元11。从保持架排列部33来看，载置部27位于基板处理单元11 一侧，配置在保持架排列部33与保持架排列部69之间。构成载置部27的一对保持架构件83和一对保持架构件75同样，纵截面呈大致现“L”字形，形成有卡合于F0UP3的底面的突出部。如图2以及图4所示，一对保持架构件83安装成其长度方向与X方向大致平行。载置部27的升降机85配置在一对保持架构件83的上方。升降机85与上述的载置 部35的升降机65同样具有升降臂67。升降臂67能够沿铅垂方向(z方向)在图4中实线所示的“载置位置”和双点划线所示的“待避位置”之间升降。升降臂67能够把持F0UP3的凸缘15，并且能够解除把持状态。由此，载置部27通过升降臂67 —边把持凸缘15，一边使如下的特定的F0UP3上升到待避位置，S卩，已将基板供给至处理单元11而清空了的F0UP3。
由此，搬运机器手31进行将收纳有未处理的基板W的F0UP3交接至载置部27的载置位置的处理，然后，从载置部27接受上升到待避位置的空的F0UP3。也就是说，搬运机器手31从保持架排列部33的基板处理单元11 一侧取出完成了映射处理的F0UP3，将该F0UP3载置于载置部27，并且接受处于待避位置的空的F0UP3搬运至保持架排列部69，由此能够更换收纳有基板W的F0UP3和空的F0UP3。控制部13在上述那样结构的基板处理装置I中如下所述那样搬运F0UP3并对基板进行处理。<基本设定>控制部13将收纳器容置/搬运单元7的保持架排列部33优先使用于容置待处理F0UP3和待送出F0UP3，其中，待处理F0UP3收纳有未处理的基板W，待送出F0UP3收纳有处理后的基板W。另外，控制部13将收纳器容置单元9的保持架排列部69优先使用于收纳空的F0UP3，该空的F0UP3是曾收纳过基板处理单元11正在处理中的基板W的F0UP3。但是，由于基板处理单元11的生产率比自动物料搬运系统的生产率高等理由，会产生如下的情况，即，收纳有处理后的基板W且待送出的F0UP3不能全都容置在收纳器容置/搬运单元7的保持架排列部33。在这种情况下，可以将收纳有处理后的基板W且待送出的F0UP3容置于收纳器容置单元9的保持架排列部69。根据本实施例的装置，具有上述结构，在基板处理单元11和收纳器容置/搬运单元7之间具有收纳器容置单元9，通过搬运机器手19在装载口 5和保持架排列部33之间进行搬运。另外，通过搬运机器手31在保持架排列部33、保持架排列部69和载置部27之间进行搬运。因此，装载口 5和保持架排列部33之间的搬运动作与保持架排列部69、保持架排列部33和载置部27之间的搬运动作能够大致并行地进行。结果，提高F0UP3的搬运效率，从而能够提供生产率。而且，在收纳器容置/搬运单元7和基板处理单元11之间仅配置收纳器容置单元9，从而能够控制装置尺寸增加。因此，能够抑制装置尺寸增加，并且增加F0UP3的容置数量，从而实现装置的高生产率。另外，因为处于靠近载置部27的位置的保持架排列部69优先容置空的F0UP3，所以能够在短时间内将完成了处理的基板W收纳在F0UP3中。进一步，在位于靠近离载置部35的位置的保持架排列部33优先容置收纳有处理后的基板W的F0UP3，所以能够在短时间内将收纳有处理后的基板W的F0UP3搬运至装载口 5。<空设定1>优选控制部13控制搬运，使得在收纳器容置/搬运单元7的保持架排列部33的多个容置空间41中至少有一个容置空间41为空。例如，由于上述的理由，在容纳有处理后的基板W的F0UP3容置在收纳器容置单元9的保持架排列部69上的状态下，有时需要将该F0UP3先于容置在收纳器容置/搬运单元7的保持架排列部33上的、收纳有处理后的基板W的F0UP3送出。在这种情况下，能够通过收纳器容置/搬运单元7的保持架排列部33中空的一个容置空间41，优先将F0UP3送出至装载口 5。上述的空的容置空间41不必是保持架排列部33上的特定的容置空间41，只要按 照容置状况使任一个容置空间41为空即可。换而言之，控制部13进行控制，使得多个容置空间41中的至少一个动态地空出。如果进行这样的控制，在保持架排列部33的剩余容置空间41变为一个时，即使新的F0UP3搬运到装载口 5上，也不将F0UP3容置在收纳器容置/搬运单元7的保持架排列部33上，而使新的F0UP3在装载口 5上待机。<空设定2>优选控制部13控制搬运，使地在收纳器容置单元9的保持架排列部69的多个容置空间79中至少有一个容置空间79为空。例如，在收纳器容置/搬运单元7的保持架排列部33被装满了的状态下，如果从基板处理单元11搬出处理后的基板W，则能够将收纳有该基板W的F0UP3暂时容置于该空的容置空间79。因此，能够防止延迟从基板处理单元11搬出处理后的基板W的情况。<暂置架设定>优选控制部13将保持架排列部33中的特定的容置空间41设定为暂置架。这里所说的暂置架是仅在从搬运机器手31侧朝向搬运机器手19侧一个方向上进行搬运时使用的容置空间41。例如，作为这样的暂置架设定为保持架排列部33中的位于载置部35下方的容置空间41。并且，控制部13控制搬运，使得该暂置架仅为了从保持架排列部69向装载口 5送出而使用。通过设定这样的暂置架，总是能够优先从保持架排列部69向装载口 5送出 F0UP3。<多重搬运(一次搬运多个)>在收纳器容置单元9的保持架排列部69或收纳器容置/搬运单元7的保持架排列部33中的一个为空的情况下，控制部13优选请求自动物料搬运系统搬运比装载口 5可载置的F0UP3的个数多的F0UP3。自动物料搬运系统一次搬运一个F0UP3，因而例如在一个F0UP3载置于装载口 5之后，搬运下一个F0UP3。这是通常的自动物料搬运系统进行的搬运。但是，若由二台搬运车持续向装载口 5搬运新的F0UP3，则可以将自动物料搬运系统的搬运间隔设定为2倍。因此，能够减轻自动物料搬运系统的负荷。另外，自动物料搬运系统能够搬运比装载口 5可载置的F0UP3的个数多的F0UP3。这是由于基板处理装置I能够容置的F0UP3数量与以往相比大幅增加。本发明不限于上述实施方式，还能够如下述那样变形来实施。(I)在上述的实施例中，收纳器容置/搬运单元7以及收纳器容置单元11的保持架排列部33、69分别具有16个容置空间41、79。但是，本发明并不限定于该结构，容置空间41、79的数量可以小于16个或超过16个的。(2)在上述的实施方式中，搬运机器手19、31采用具有前端部45以及臂49、51等的结构。但是，搬运机器手19只要能够在装载口 5和保持架排列部33之间搬运F0UP3即可，而不限定于这样的结构。同样，搬运机器手31只要能够在保持架排列部33、保持架排列部69和载置部27之间搬运F0UP3即可，不限定于这样的结构。(3)在上述的实施例中，如〈空设定1>那样在保持架排列部33中设定空的容置空间，但可以在在保持架排列部33全部的容置空间41中都容置F0UP3。另外，同样地，可以不是如〈空设定2>那样在保持架排列部69中设定空的容置空间，而在保持架排列部69全部的容置空间79中都容置F0UP3。(4)在上述的实施例中，如〈基本设定 > 那样，将收纳器容置/搬运单元7的保持 架排列部33优先使用于容置待处理F0UP3和待送出F0UP3，其中，待处理F0UP3中收纳有未处理基板W，待送出F0UP3中收纳有处理后的基板W。但是，本发明并不限定于此，能够按照F0UP3的搬运状况等适当设定。本发明能够以不脱离其思想或本质的情况下，以其他的具体方式实施，因而并不是由以上的说明来确定发明的保护范围，而应该参照附加的权利要求书。
权利要求
1.一种基板处理装置，用于处理基板，其特征在于， 该基板处理装置包括 基板处理单元，用于对基板进行处理， 收纳器容置单元，与所述基板处理单元接近排列地设置，用于对收纳基板的收纳器进行容置， 收纳器容置/搬运单元，与所述收纳器容置单元接近排列地设置，用于对收纳基板的所述收纳器进行容置及搬运， 第I载置部，与所述收纳器容置/搬运单元接近排列地设置，用于载置所述收纳器； 所述收纳器容置单元具有多个第I保持架，该多个第I保持架用于保持所述收纳器； 所述收纳器容置/搬运单元具有 多个第2保持架，用于保持所述收纳器， 第2载置部，配置在所述基板处理单元和所述多个第2保持架之间，用于载置所述收纳器， 第I搬运部，在所述第I载置部和所述多个第2保持架之间搬运所述收纳器， 第2搬运部，在所述多个第I保持架、所述多个第2保持架和所述第2载置部之间搬运所述收纳器。
2.如权利要求I记载的基板处理装置，其特征在于， 该基板处理装置具有控制部，该控制部对所述第I搬运部和所述第2搬运部的搬运动作进行控制， 所述控制部控制所述收纳器的搬运，使得在所述多个第2保持架中至少有一个第2保持架为空。
3.如权利要求I记载的基板处理装置，其特征在于， 该基板处理装置具有控制部，该控制部对所述第I搬运部和所述第2搬运部的搬运动作进行控制， 所述控制部控制所述收纳器的搬运，使得在所述多个第I保持架中至少有一个第I保持架为空。
4.如权利要求I记载的基板处理装置，其特征在于， 该基板处理装置具有控制部，该控制部对所述第I搬运部和所述第2搬运部的搬运动作进行控制，并且， 所述收纳器容置/搬运单元具有暂置架，该暂置架用于仅向一个特定方向搬运所述收纳器，该特定方向是指从所述第I搬运部侧朝向所述第2搬运部侧的方向， 所述控制部将所述暂置架优先使用于所述收纳器的送出。
5.如权利要求I至4中任一项记载的基板处理装置，其特征在于，所述多个第I保持架优先保持曾收纳过所述基板处理单元正在处理中的基板的所述收纳器。
6.如权利要求I至4中任一项记载的基板处理装置，其特征在于，所述多个第2保持架优先保持 收纳有投入所述基板处理单元之前的基板的所述收纳器；以及， 收纳有通过所述基板处理单元处理过的基板的所述收纳器。
7.如权利要求5记载的基板处理装置，其特征在于，所述多个第2保持架优先保持收纳有投入所述基板处理单元之前的基板的所述收纳器；以及， 收纳有通过所述基板处理单元处理过的基板的收纳器。
8.如权利要求2至4中任一项记载的基板处理装置，其特征在于，在所述多个第I保持架或者所述多个第2保持架中的任意一个为空的情况下，所述控制部请求自动物料搬运系统搬运比所述第I载置部能够载置的所述收纳器的个数更多的所述收纳器，其中，所述自动物料搬运系统用于与所述第I载置部之间交接所述收纳器。
9.如权利要求4记载的基板处理装置，其特征在于，所述暂置架是在所述多个第2保持架中与所述第2载置部相邻的第2保持架。
10.如权利要求5记载的基板处理装置，其特征在于，所述暂置架是在所述多个第2保持架中与所述第2载置部相邻的第2保持架。
11.如权利要求6记载的基板处理装置，其特征在于，所述暂置架是在所述多个第2保持架中与所述第2载置部相邻的第2保持架。
12.如权利要求8记载的基板处理装置，其特征在于，所述暂置架是在所述多个第2保持架中与所述第2载置部相邻的第2保持架。
全文摘要
本发明涉及基板处理装置，在基板处理单元(11)和收纳器容置/搬运单元(7)间具有收纳器容置单元(9)，通过搬运机器手(19)在装载口(5)和保持架排列部(33)间搬运。通过搬运机器手(31)在保持架排列部(33)、保持架排列部(69)和载置部(27)间搬运。装载口(5)和保持架排列部(33)间的搬运与保持架排列部(69)、保持架排列部(33)和载置部(27)间的搬运能够大致并行地进行。因此，提高FOUP(3)的搬运效率，提高生产率。而且，在收纳器容置/搬运单元(7)和基板处理单元(11)间仅配置收纳器容置单元(9)，能够抑制装置尺寸增加，增加FOUP(3)的容置数量，能够实现装置的高生产率。
文档编号H01L21/677GK102683251SQ20111041609
公开日2012年9月19日 申请日期2011年12月9日 优先权日2011年3月18日
发明者光吉一郎, 古田智靖, 柴田英树 申请人:大日本网屏制造株式会社