专利名称：低电阻埋栅式太阳能电池及其制作方法
技术领域：
本发明涉及一种低电阻埋栅式太阳能电池及其制作方法。
背景技术：
如图I所示，目前的网版印刷技术相当于直接将金属放置于太阳能电池的前表面。由于Ag是不透光的物质，所以在电极存在的区域对于入射光来说相当于是被遮挡了。 虽然被遮挡的半导体区域由于光的折射和衍射效应，并非完全无法进行光电转换，但是前电极的遮挡效应仍然是效率损失比较可观的一部分。所以目前的技术改进一般都希望将同样多的Ag浆料堆积在尽可能小的范围内，也就是提升前电极的高宽比；这样可以在减少遮挡面积的前提下，降低电极和半导体之间的接触电阻。通过使用激光在需要放置电极的部位形成凹槽结构可以在一定程度上增大电极的高宽比，但是还不够彻底。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种低电阻埋栅式太阳能电池及其制作方法，实现电极与太阳能电池之间更小的接触电阻，并能有效降低电极对入射光的遮挡。本发明解决其技术问题所采用的技术方案是一种低电阻埋栅式太阳能电池，在电池的受光面设置前电极，在电池的受光面需要设置前电极的位置开上窄下宽梯形凹槽， 在梯形凹槽内制作梯形埋栅电极。该低电阻埋栅式太阳能电池的制作方法是首先在需要形成梯形埋栅电极的部位通过激光刻槽方法做出梯形凹槽；然后使用网版印刷技术将电极浆料注入梯形凹槽中；最后经过烧结形成电极。具体地，通过激光刻槽方法制作出梯形凹槽的方法为通过激光头在与开槽方向垂直的平面内的摆动动作，使激光光束穿过梯形凹槽的两侧的侧壁的延长线的交点，并同时在延长线的夹角范围内摆动，通过控制烧蚀的时间，在电池的受光面上刻蚀出梯形凹槽， 通过激光头沿开槽方向的移动动作，使梯形凹槽向前延伸。具体地，激光头沿以梯形凹槽的两侧的侧壁的延长线的交点为圆心的圆弧进行摆动。本发明的有益效果是梯形埋栅电极增大了电极和硅的接触面积，同时解决了金属电极接触面积和电极遮挡面积之间的矛盾，可以有效降低电池的正面接触电阻，提升填充因子和整体效率。
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。图I为目前比较常见的太阳能电池前电极的结构示意图；图2为本发明的梯形埋栅电极的结构示意3
图3为本发明的形成该梯形埋栅电极的工艺流程图；图中1.梯形埋栅电极，2.电池，3.梯形凹槽，4.激光头。
具体实施例方式如图2所示，一种低电阻埋栅式太阳能电池，在电池2的受光面设置前电极，在电池2的受光面需要设置前电极的位置开上窄下宽梯形凹槽3，在梯形凹槽3内制作梯形埋栅电极I。如图3所示，该低电阻埋栅式太阳能电池的制作方法是首先在需要形成梯形埋栅电极I的部位通过激光刻槽方法做出梯形凹槽3 ；受光面通过扩散工艺形成PN结，PN结在梯形凹槽3内也存在；然后使用网版印刷技术将Ag浆注入梯形凹槽3中；最后在背面印刷Al浆和Ag-Al浆，经过烧结形成电极；通过激光刻槽方法制作出梯形凹槽3的方法为通过激光头4在与开槽方向垂直的平面内的摆动动作，具体地，激光头4沿以梯形凹槽3的两侧的侧壁的延长线的交点为圆心的圆弧进行摆动，使激光光束穿过梯形凹槽3的两侧的侧壁的延长线的交点，并同时在延长线的夹角范围内摆动，通过控制烧蚀的时间，在电池2的受光面上刻蚀出梯形凹槽3， 通过激光头4沿开槽方向的移动动作，使梯形凹槽3向前延伸。
权利要求
1.一种低电阻埋栅式太阳能电池，在电池(2)的受光面设置前电极，其特征是在电池(2)的受光面需要设置前电极的位置开上窄下宽梯形凹槽(3)，在梯形凹槽(3)内制作梯形埋栅电极(I)。
2.—种权利要求I所述的低电阻埋栅式太阳能电池的制作方法，其特征是首先在需要形成梯形埋栅电极(I)的部位通过激光刻槽方法做出梯形凹槽(3)；然后使用网版印刷技术将电极浆料注入梯形凹槽(3)中；最后经过烧结形成电极。
3.权利要求2所述的低电阻埋栅式太阳能电池的制作方法，其特征是通过激光刻槽方法制作出梯形凹槽(3)的方法为通过激光头(4)在与开槽方向垂直的平面内的摆动动作，使激光光束穿过梯形凹槽(3)的两侧的侧壁的延长线的交点，并同时在延长线的夹角范围内摆动，通过控制烧蚀的时间，在电池(2)的受光面上刻蚀出梯形凹槽(3)，通过激光头(4)沿开槽方向的移动动作，使梯形凹槽(3)向前延伸。
4.权利要求3所述的低电阻埋栅式太阳能电池的制作方法，其特征是所述的激光头 ⑷沿以梯形凹槽⑶的两侧的侧壁的延长线的交点为圆心的圆弧进行摆动。
全文摘要
本发明涉及提供一种低电阻埋栅式太阳能电池及其制作方法，该太阳能电池，在电池的受光面设置前电极，在电池的受光面需要设置前电极的位置开上窄下宽梯形凹槽，在梯形凹槽内制作梯形埋栅电极。该低电阻埋栅式太阳能电池的制作方法是首先在需要形成梯形埋栅电极的部位通过激光刻槽方法做出梯形凹槽；然后使用网版印刷技术将电极浆料注入梯形凹槽中；最后经过烧结形成电极。本发明的有益效果是梯形埋栅电极增大了电极和硅的接触面积，同时解决了金属电极接触面积和电极遮挡面积之间的矛盾，可以有效降低电池的正面接触电阻，提升填充因子和整体效率。
文档编号H01L31/0224GK102593196SQ20121004706
公开日2012年7月18日 申请日期2012年2月28日 优先权日2012年2月28日
发明者徐冠超 申请人:常州天合光能有限公司