一种提高石墨舟处理效果的方法
【专利摘要】本发明公开了一种提高石墨舟处理效果的方法，其步骤是：（1）将石墨舟拆卸开来，在拆卸石墨舟螺帽时，需避免螺帽与石墨板间的摩擦，以防止石墨板表面的氟氯碳化合物处理遭到破坏；（2）将拆卸后的石墨舟零件放置于一定浓度的HF清洗槽中清洗数小时，确保零件清洗干净；（3）将酸液清洗后的石墨舟零件放入纯水中漂洗数小时，确保石墨舟零件无酸液残留；（4）将拆卸的石墨舟零件放置在一定温度范围内的烘箱中烘干数小时；（5）将烘干的石墨舟零件组装起来，并放入PECVD设备的炉管再次烘干；（6）将烘干后的石墨舟直接放入PECVD设备的炉管内预处理数小时。本发明的有益效果是增强石墨舟的处理效果，提高电池片镀膜后的膜厚、折射率的均匀性和外观品质。
【专利说明】一种提高石墨舟处理效果的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及太阳能电池制作【技术领域】，具体地说是一种涉及PECVD工序石墨舟处理效果的方法。
【背景技术】
[0002]在晶硅太阳能电池的传统生产工艺中，PECVD工序主要是为了降低电池片表面的反射率和强钝化效果等作用。而在镀膜过程中，石墨舟舟片作为电极，与硅片紧密接触，参与整个镀膜过程。而随着石墨舟的使用次数越来越多，会在石墨舟舟片沉积一层氮化硅薄膜，使沉积在硅片表面的氮化硅薄膜的差异性越来越大。因此，通常情况下当石墨舟使用次数超过120次时，就需要对石墨舟进行拆卸并加以清洗。
[0003]在晶体硅太阳能电池大规模生产过程中，容易出现镀膜不均或者边缘偏红等现象，严重影响了电池片的外观品质，从而导致出现较多返工片。本发明通过对石墨舟的清洗和饱和过程中进行改善，减少镀膜不均和边缘偏红现象的发生，提高电池片镀膜的均匀性和外观品质。
【发明内容】
[0004]本发明要解决的技术问题是:改善石墨舟的清洗方式和饱和方式，从而提高电池片镀膜后的膜厚、折射率的均匀性和外观品质。
[0005]本发明所提供的一种提高石墨舟处理效果的方法，按如下步骤依次为:
[0006](I)将需要清洗的石墨舟拆卸开来，在拆卸石墨舟螺帽时，需避免螺帽与石墨板间的摩擦，以防止石墨板表面的氟氯碳化合物处理遭到破坏；
[0007](2)将拆卸后的石墨舟零件放置于浓度10±2%的HF清洗槽中清洗4至6个小时，确保零件能够清洗干净为止；
[0008](3)将经过酸液清洗后的石墨舟零件放入纯水中进行漂洗，漂洗时间大致为4至6个小时，确保石墨舟零件无酸液残留为止；
[0009](4)将拆卸的石墨舟零件放置在85±5°C的烘箱中烘干6至8小时；
[0010](5)将烘干的石墨舟零件组装起来，并放入PECVD设备的炉管内再次烘干I至2个小时；
[0011](6)烘干后的石墨舟，不需插假片，直接放入PECVD设备的炉管内进行预处理3至4个小时，石墨舟的处理结束。
[0012]本发明的有益效果是:增强石墨舟的处理效果，提高电池片镀膜后膜厚、折射率的均匀性和外观品质。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1本发明实施例中新技术方案与原技术方案的膜厚均匀性实验结果对比图
[0014]图2本发明实施例中新技术方案与原技术方案的折射率均匀性实验结果对比图【具体实施方式】
[0015]下面根据本发明提供的一种提高石墨舟处理效果的方法，采用下面的具体实施方案作进一步说明。本实施方案是在制绒、扩散、刻蚀、丝网印刷各道工序的工艺与原工艺相同的条件下进行的。【具体实施方式】如下:
[0016]1、将需要清洗的石墨舟拆卸开来；
[0017]2、将拆卸后的石墨舟零件放置于浓度10%的HF清洗槽中清洗5小时；
[0018]3、将酸液清洗后的石墨舟零件放入纯水中漂洗，清洗时间为5小时；
[0019]4、将拆卸的石墨舟零件放置在80°C的烘箱中烘干6小时；
[0020]5、将烘干的石墨舟零件组装起来，并放入PECVD设备的炉管中再次烘干I小时；
[0021]6、烘干后的石墨舟，不需插假片，直接放入PECVD设备的炉管中预处理3小时。
[0022]在本实施例中，使用本发明提供的新技术方案和原技术方案对石墨舟分别进行处理，然后按照晶硅太阳能电池片的正常生产工艺进行生产。从图1和图2所示的实验数据来看:本发明中提供的技术方案可以有效地提高石墨舟处理效果，即氮化硅薄膜的均匀性从3.05%提高到2.39% (膜厚的均匀性的数值越低越好)，折射率的均匀性从0.50%提高到0.38%o
【权利要求】
1.一种提高石墨舟处理效果的方法，其具体工艺步骤为: (1)将需要处理的石墨舟拆卸开来，在拆卸石墨舟螺帽时，需避免螺帽与石墨板间的摩擦，以防止石墨板表面的氟氯碳化合物处理遭到破坏； (2)将拆卸后的石墨舟零件放置于一定浓度的HF清洗槽中清洗数小时，确保零件清洗干净; (3)将酸液清洗后的石墨舟零件放入纯水中漂洗数小时，确保石墨舟零件无酸液残留; (4)将拆卸的石墨舟零件放置在一定温度范围内的烘箱中烘干数小时； (5)将烘干的石墨舟零件组装起来，并放入PECVD设备的炉管中再次烘干； (6)将烘干后的石墨舟直接放入PECVD设备的炉管内预处理数小时。
2.根据权利要求1中所述的一种提高石墨舟处理效果的方法，其特征在于: 步骤(2)中将拆卸后的石墨舟零件放置于浓度10±2%的HF清洗槽中清洗4?6个小时。
3.根据权利要求1中所述的一种提高石墨舟处理效果的方法，其特征在于: 步骤(3)中将酸液清洗后的石墨舟零件放入纯水中漂洗，清洗时间为4?6个小时。
4.根据权利要求1中所述的一种提高石墨舟处理效果的方法，其特征在于: 步骤(4)中将拆卸的石墨舟零件放置在85±5°C的烘箱中烘干6?8个小时。
5.根据权利要求1中所述的一种提高石墨舟处理效果的方法，其特征在于: 步骤(5)将烘干的石墨舟零件组装起来，并放入PECVD设备的炉管内再次烘干1±0.5小时。
6.根据权利要求1中所述的一种提高石墨舟处理效果的方法，其特征在于: 步骤(6)经过烘干后的石墨舟，不需插假片，直接放入PECVD设备的炉管内预处理3?4个小时。
【文档编号】H01L21/673GK103579057SQ201210277304
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2012年8月7日 优先权日:2012年8月7日
【发明者】徐杰 申请人:浙江鸿禧光伏科技股份有限公司