专利名称：一种新型刻蚀槽的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及溶液处理领域，具体涉及一种新型刻蚀槽。
背景技术：
刻蚀槽是一种用于对料件进行药液处理的装置，针对一些片状的料件，企业采用上下两组滚轮在输送料件的同时对料件进行药液处理。由于现有技术中滚轮一般都为硬质滚轮，挡板的高度又不能高出输送平面，此种状况就需要增加药液量以保证料件能够进行药液处理，这就造成了药液用量的增加；同时防止因药液量增加而导致料件传输速度无法控制，甚至是打滑，这就需要增加上压滚轮的压力，导致生产成本的增加。
实用新型内容为解决上述技术问题，本实用新型提出了一种新型刻蚀槽，以达到提高原料利用率、节省生产原料和降低生产成本的目的。为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下:一种新型刻蚀槽，包含有槽体，槽体内设置有多个软质滚轮，软质滚轮的两端固定连接在槽体的槽壁上，且软质滚轮处于同一水平面上，软质滚轮由中轴和海绵组成；槽体内还设有挡板，挡板的两端固定在槽体的槽壁上，挡板的高度不高于软质滚轮的中轴。优选的，所述海绵中含有PO(环氧丙烷)材质成分，中轴成圆柱状，海绵贴附在中轴的四周。通过上述技术方案，本实用新型通过在刻蚀槽内使用贴附有海绵的软质滚轮，达到减少药液使用量、提高药液利用率和降低生产的目的。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。图1为本实用新型实施例所公开的一种新型刻蚀槽的侧视示意图；图2为本实用新型实施例所公开的一种新型刻蚀槽的软质滚轮的剖视图。图中数字和字母所表示的相应部件名称:1.槽体2.软质滚轮3.中轴4.海绵5.挡板6.输送平面
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。本实用新型提供了一种新型刻蚀槽，其工作原理是通过在刻蚀槽中使用贴附海绵的软质滚轮，起到减少输送滚轮的使用数量和减少药液使用量的作用，达到降低生产成本和提高原料利用率的目的。下面结合实施例和具体实施方式
对本实用新型作进一步详细的说明。如图1和图2所示，一种新型刻蚀槽，包含有槽体1，槽体I内设置有多个软质滚轮2，软质滚轮2的两端固定连接在槽体I的槽壁上；软质滚轮2由中轴3和具有PO (环氧丙烷)材质成分的海绵4组成，中轴3均处于同一水平面上，海绵4贴附在中轴3的四周；槽体I内还设有两块挡板5，挡板5的两端固定连接在槽体I的槽壁上，且挡板5的高度不高于软质滚轮2的中轴3。本实用新型的具体使用步骤如下:再如图1和图2所示，将药液注入到两挡板5之间，直到药液浸泡了软质滚轮2的下半部分为止。由于软质滚轮2表面贴附有海绵3，可以实现对药液的吸收，同时由于海绵3中含有的PO(环氧丙烷)材质成分具有很好的防腐蚀作用，可以避免软质滚轮2遭受腐蚀；在料件沿着软质滚轮形成的输送平面6进行传输的过程中，软质滚轮2上的海绵4会不断的从槽内吸收药液并对料件进行处理。此方式只需要一组滚送滚轮就可实现料件的输送及药液处理，并且料件的传输速度可以方便控制，不会打滑，为企业生产提供了便利。通过以上的方式，本实用新型通过在刻蚀槽内使用贴附了海绵的软质滚轮，一方面节省了软质滚轮的使用量，减轻设备的维护成本，另一方面也减少了药液的使用量，提高了药液的利用率，达到节约生产成本、保护生产设备、节约设备的维护成本、降低工作人员的工作强度和提高生产效率的目的。以上所述的仅是本实用新型所公开的一种新型刻蚀槽的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种新型刻蚀槽，其特征在于，包含有槽体，所述槽体内设置有多个软质滚轮，所述软质滚轮的两端固定连接在所述槽体的槽壁上，且所述软质滚轮处于同一水平面上，所述软质滚轮由中轴和海绵组成；所述槽体内还设有挡板，所述挡板的两端固定在所述槽体的槽壁上，所述挡板的高度不高于所述软质滚轮的中轴。
2.根据权利要求1所述的一种新型刻蚀槽，其特征在于，所述海绵中含有环氧丙烷材质成分，所述中轴成圆柱状，所述海绵贴附在所述中轴的四周。
专利摘要本实用新型公开了一种新型刻蚀槽，包含有槽体，槽体内设置有多个软质滚轮，软质滚轮的两端固定连接在槽体的槽壁上，且软质滚轮处于同一水平面上,软质滚轮由中轴和海绵组成，槽体内还设有挡板，挡板的两端固定在槽体的槽壁上，且挡板的高度不高于软质滚轮的中轴轴心；通过在刻蚀槽内使用贴附有海绵的软质滚轮，达到减少药液使用量、提高药液利用率和降低生产成本的目的。
文档编号H01L21/02GK203165865SQ201220598378
公开日2013年8月28日 申请日期2012年11月14日 优先权日2012年11月14日
发明者石新生, 温维娟 申请人:亚智系统科技(苏州)有限公司