专利名称：一种转接片密封结构机油mems压力传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种汽车压力传感器，特别涉及一种用MEMS技术研制的体积小、重量轻、响应快、灵敏度高、易于批量生产、低成本的机油压力传感器。
背景技术：
汽车传感器作为汽车电子控制系统的信息源，是汽车电子控制系统的关键部件，也是汽车电子技术领域研究的核心内容之一。汽车传感器对温度、压力、位置、转速、加速度和振动等各种信息进行实时、准确的测量和控制。衡量现代高级轿车控制系统水平的关键就在于其传感器的数量和水平。从半导体集成电路技术发展而来的微电子机械系统(MEMS)技术日渐成熟，利用这一技术可以制作各种微型传感器，这些传感器的体积和能耗小，可实现许多全新的功能，便于大批量和高精度生产，单件成本低，易构成大规模和多功能阵列，非常适合在汽车上应用。由于MEMS传感器具有不可替代的优势，传统的汽车用压力传感器将逐步被其所代替。MEMS汽车发动机机油与ABS压力传感器按目前需求国内逐年递增，随着国内MEMS汽车压力传感器技术的成熟，具有微型化、低功耗、高灵敏度、高可靠性等特点的MEMS压力传感器，将会是全球汽车传感器市场产品需求的热点。目前，可以提供汽车MEMS压力传感器的主要以国外公司为主，有美国凯乐尔、特种测量、SS1、菲尔科、德州仪器、德国Bosch、日本电装等公司，年产量在200万只以上。国外Motorola、InfineoruGE等国际知名公司开发生产的汽车MEMS压力传感器大多采用叠娃技术，体硅工艺等工艺技术，具有灵敏度高，精度高等特点，量程50到1400KPa，精度0.03%FS，但在某些方面还存在制作工艺复杂，高精度的电容式压力传感器容易受环境干扰，且容易受到环境的污染以及多信号之间干扰等问题。如图1所示，现有技术的MEMS压力传感器的内部连接件的外部需要与转接片连接，目前转接片与连接件之间采用焊接连接，工艺复杂，不容易实现。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种转接片密封结构机油MEMS压力传感器，解决传感器转接片与连接件之间采用焊接连接，工艺复杂的问题。本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现:一种转接片密封结构机油MEMS压力传感器，包括壳体、连接件，连接件位于壳体的内部，在所述连接件的内侧设有永磁块，所述永磁块固定在连接件的内部，并且所述永磁块呈环状结构，所述连接件的外侧设有转接片，所述转接片的内侧面设有绝缘层，转接片由导磁材料制造，使所述转接片由于磁性而吸附在连接件的外侧，但由于绝缘层的存在，可以使连接件与转接片之间不导电。本实用新型通过在连接件与转接片之间通过磁性进行吸附连接，可以壁面焊接工艺，也可以防止焊接后由于老化而产生的使用问题。
下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。图1是现有技术机油压力传感器的结构图。图2是本实用新型实施例所述的转接片密封结构机油MEMS压力传感器的结构图。
具体实施方式
如图2所示，本实用新型实施例所述的转接片密封结构机油MEMS压力传感器，包括壳体1、连接件2，连接件2位于壳体I的内部，在所述连接件2的内侧设有永磁块21，所述永磁块21固定在连接件2的内部，并且所述永磁块21呈环状结构，所述连接件2的外侧设有转接片3，所述转接片3的内侧面设有绝缘层31，转接片3由导磁材料制造，使所述转接片3由于磁性而吸附在连接件2的外侧，但由于绝缘层的存在，可以使连接件2与转接片3之间不导电。本实用新型通过在连接件与转接片之间通过磁性进行吸附连接，可以壁面焊接工艺，也可以防止焊接后由于老化而产生的使用问题。
权利要求1.一种转接片密封结构机油MEMS压力传感器，其特征在于，包括壳体、连接件，连接件位于壳体的内部，在所述连接件的内侧设有永磁块，所述永磁块固定在连接件的内部，并且所述永磁块呈环状结构，所述连接件的外侧设有转接片，所述转接片的内侧面设有绝缘层，转接片由导磁材料制造，使所述转接片由于磁性而吸附在连接件的外侧。
专利摘要本实用新型公开一种转接片密封结构机油MEMS压力传感器，包括壳体、连接件，连接件位于壳体的内部，在所述连接件的内侧设有永磁块，所述永磁块固定在连接件的内部，并且所述永磁块呈环状结构，所述连接件的外侧设有转接片，所述转接片的内侧面设有绝缘层，转接片由导磁材料制造，使所述转接片由于磁性而吸附在连接件的外侧，但由于绝缘层的存在，可以使连接件与转接片之间不导电。本实用新型通过在连接件与转接片之间通过磁性进行吸附连接，可以壁面焊接工艺，也可以防止焊接后由于老化而产生的使用问题。
文档编号H01F7/00GK203011613SQ201220740719
公开日2013年6月19日 申请日期2012年12月31日 优先权日2012年12月31日
发明者郑诗良 申请人:江苏奥力威传感高科股份有限公司