承印材料固定件，印刷装置和印刷方法
【专利摘要】本发明涉及承印材料固定件，包括所述承印材料固定件的印刷装置和使用所述承印材料固定件的印刷方法，其中所述承印材料固定件包括：多个凹部，其上能够固定多个承印材料；以及至少一个真空孔或真空通道，其设置在所述凹部的下部。
【专利说明】I问题，例如对于在承印物的精确位置处形求，以及降低成本的要求。
扣装置，其可以通过形成精密电子材料图案欠善工艺效率，由此完成了本申请。
毛于固定承印物的器件，其包括:多个雕刻卜真空孔或真空通道，所述真空孔或真空通
厂一种印刷装置，其包括所述用于固定承印
厂一种印刷方法，其使用所述用于固定承印一个示例性实施方式操作用于安装印版的
5例性实施方式，本申请的优点和特征以及&是，本申请不限于在下面描述的示例性实这些示例性实施方式的目的仅是使得本申I告知本申请所属领域的普通技术人员，而；注的构成元件的尺寸和相对尺寸可能被夸目的提供参考附图的描述，并且本申请的范
有术语(包括科技术语)可以以本申请所余非清楚并特别定义，在常规使用的字典中？解释。
印刷装置中使用的用于固定承印物的器件可以包括:九个或更多个雕刻部110，所述-个真空孔122和丨或至少一个真空通道110的下部。这样，一个用于固定承印物的在的优点是可以在一次印刷中在九个或更
、或两个或更多个真空孔122和/或一个或
实施方式的用于固定承印物的器件的侧视
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上要转印印刷图案的印刷对象或要被印刷可以为玻璃或塑料。
式的用于固定承印物的器件的印刷工艺可的示例性实施方式。根据图1，印刷辊包括橡皮布21。使用涂布部10将印刷物22涂的勺橡皮布21与设置在印版台30上的印版[0038]在本申请的一个示例性实施方式中，真空孔122和/或真空通道124可以被设置在雕刻部I1的下部，以及一个或两个或更多个真空孔122和/或真空通道124可以被设置在一个雕刻部110的下部。或者，真空孔122和/或真空通道124也可以被设置在用于固定承印物的器件100中不存在雕刻部110的部位处。
[0039]图2和3图示了设置在雕刻部110的下部的真空孔122和真空通道124的侧面结构，以及当从上方观察时它的平面图。为了增加用所述真空孔122的结构进行真空吸附的效率，所述表面可以包括由沟槽构成的真空通道124的结构。具有由沟槽构成的真空通道124的结构的点阵形式的交点可以具有孔122的结构。所述孔的形状和直径，或者所述通道结构的沟槽的形状、宽度和深度没有特殊限制，只要可以将承印物40固定到用于固定承印物的器件100上且不会被真空孔122和真空通道124变形即可。
[0040]例如，真空孔122的直径可以为承印物厚度的I至15倍，但是不限于此。
[0041]例如，真空通道124的宽度可以为承印物厚度的I至10倍，但是不限于此。
[0042]为了增强其吸附力，真空吸附的真空度与常压相比越小，真空度就越好。此时，真空指的是压力小于常压(760mmHg)的状态，并且真空度指的是当与相对于常压的真空状态相比时在真空下的容器中剩余气体的压力。
[0043]所述真空吸附的真空度没有特殊限制，只要可以将承印物固定到用于固定承印物的器件上且不会被真空孔122和真空通道124变形即可。
[0044]例如，真空吸附的真空度可以为常压的5%或更少。真空孔122和真空通道124的真空度可以为50mmHg或更低。
[0045]真空孔122和真空通道124的真空度的下限没有特殊限制，只要根据所使用的承印物的类型和厚度，所述承印物不会被真空孔122和真空通道124变形即可。
[0046]图4以从上方观察时的平面图图示了根据本申请的一个示例性实施方式的用于固定承印物的器件100被安装在承印物台42上，以及图5以从上方观察时的平面图图示了承印物40被固定在根据本申请的一个示例性实施方式的用于固定承印物的器件100上，由此被安装在承印物台42上。
[0047]在本申请的一个示例性实施方式中，雕刻部110被设置在用于固定承印物的器件100的上部，并且可以形成为使得可以配置和安装承印物。雕刻部110可以在其内侧包括凸起或沟槽以固定承印物。所述凸起或沟槽的形状没有特殊限制，只要该形状的结构能够有利于固定承印物40即可。例如，所述凸起或沟槽的横截面形状可以为圆形、三角形、四边形或梯形的形状。
[0048]在本申请的一个示例性实施方式中，雕刻部110的深度可以等于或者小于承印物40的厚度。当雕刻部110的深度大于承印物40的厚度时，则难以将用于固定承印物的器件100真空吸附到承印物台42上，这是因为没有形成真空孔122和真空通道124的位置。
[0049]在本申请的一个示例性实施方式中，雕刻部110的深度偏差可以为10ym或更小。特别地，多个雕刻部110的深度之间的偏差可以为100 μ m或更小。当雕刻部110的深度之间的偏差为100 μ m或更小时，当固定承印物40时，提高了承印物之间的水平差异的精确度，由此，在承印物40上印刷的印刷图案41的精确度也好。
[0050]在本申请的一个示例性实施方式中，承印物台42可以进一步包括用于对准承印物的位置控制部50。印物台42可以设置有多孔板62或多孔膜:破坏并且具有能够通过所述真空抽吸部实等没有限制。
由本领域技术人员根据承印物的类型等进的平均孔径可以为1009 0或更小，特别是|2或所述多孔膜64，所述多孔板62或所述戶且可以为例如1011111或更大。
扎膜64越好。特别地，所述孔隙率可以为
述多孔板62或所述多孔膜64可以设置在据本申请的一个示例性实施方式的印刷装
述真空抽吸部70对于对准(其对于控制精I必需的。真空抽吸部70可以包括能够实3结构。图8和9图示了根据本申请的一个空抽吸部70的侧视图。图10和11图示了物的器件100。
[0062]该印刷装置可以为反向胶印装置。
[0063]在本申请的一个示例性实施方式中，所述印刷装置可以进一步包括:包括图案部的印版31，所述图案部对应于可以固定在用于固定承印物的器件100上的承印物40的图案位置；和印版台30。在本申请文件中，所述印版台指的是其上可以安装印版31的印版支撑部。
[0064]在本申请的一个示例性实施方式中，所述印版31可以包括两个或更多个对准标记。所述对准标记的形式通过印刷组合物被转印到承印物上。所述对准标记无论大小或形式，只要可以检测到印版31的位置从而可以根据对准的程度控制印版31的位置即可。所述在印版31上形成的对准标记可以根据要转印到承印物40上的形式进行雕刻或浮雕。
[0065]当有两个或更多个对准标记时，可以精确地捕捉印版31的设置位置，并且在需要时也可以包括三个或四个或更多个对准标记。因为所述对准标记用于指示位置，所以所述对准标记的尺寸或形式没有特殊限制，只要该对准标记可以被用于检测对准标记的装置(例如相机)检测到即可。通过如上所述在印版基底上形成所述对准标记，即使当使用不透明材料作为承印物时，也可以高精度地实现对准。
[0066]在这种情况下，所述印版台30可以另外包括用于识别印版31上的对准标记的对准相机和印版台30的位置控制部。所述印版台30的位置控制部可以控制平面上的位置。例如，所述印版台30的位置控制部可以具有如下配置，其中印版台30的显微位置被控制到三个位置，也即，在X方向的位置，在y方向的位置和在Θ方向的位置。这里，当X方向定义为在印版台30的板表面上的任一方向(例如印版台30的横向方向)时，y指的是在印版台30的板表面上与X方向垂直的方向(例如印版台30的纵向方向)，以及Θ方向指的是在印版台30的板表面上的一个角度。如上所述，所述配置没有特殊限制，只要可以控制在印版台30的平面上的位置即可。
[0067]图12图示了印版台30的位置控制方法的一个实例。所述印版台30的位置控制部包括A、B、C和D。A、B、C和D各自设置在印版台30的各个顶点的附近，并且在如红色所示的箭头方向上移动，由此控制印版台30的位置。
[0068]在本申请的一个示例性实施方式中，所述印刷装置可以进一步包括承印物台42，其上可以安装用于固定承印物的器件100。对承印物台42的描述与上述相同。
[0069]根据本申请的一个示例性实施方式的印刷装置可以用于在承印物上印刷对于各种电子装置必需的各种图案。所述承印物也可以在电子装置(例如，触摸屏、各种显示器等)中用作柔性基底，并且除了柔性基底以外可以用作膜构件。例如，所述承印物可以用于印刷导电图案、绝缘图案、光致抗蚀图案、彩色图案、黑矩阵图案等。
[0070]根据本申请的一个示例性实施方式的承印物具有的印刷图案可以具有根据其用途必需的线宽和节距。例如，所述承印物具有的印刷图案的线宽可以为120μπι或更小，特别是，I μ m至120 μ m。作为一个实例，所述印刷膜包括的印刷图案的线宽可以为I μ m至5 μ m, 5--- 15 μ m M 100 μ m。
[0071]本申请的一个示例性实施方式提供了一种印刷方法，其使用所述用于固定承印物的器件。
[0072] 根据本申请的一个示例性实施方式的印刷方法可以包括:将承印物固定到用于固定承印物的器件的雕刻部上；将所述用于固定承印物的器件安装到承印物台上；真空吸附所述用于固定承印物的器件和所述承印物台；和在所述承印物上印刷图案。
[0073]在根据本申请的一个示例性实施方式的印刷方法中，将承印物固定到用于固定承印物的器件的雕刻部上的步骤和将用于固定承印物的器件安装到承印物台上的步骤的顺序没有特殊限制。
[0074]根据本申请的一个示例性实施方式的印刷方法可以:将承印物固定到用于固定承印物的器件的雕刻部上，然后将所述用于固定承印物的器件安装到承印物台上；或者可以将所述用于固定承印物的器件安装到承印物台上，然后将承印物固定到用于固定承印物的器件的雕刻部上。
[0075]在本申请的一个示例性实施方式中，所述印刷方法可以反向胶印法。
[0076]根据本申请的一个示例性实施方式的印刷方法可以进一步包括，在将所述用于固定承印物的器件安装到承印物台上后，将所述用于固定承印物的器件和承印物台对准。
[0077]在根据本申请的一个示例性实施方式的印刷方法中，当对准所述用于固定承印物的器件和所述承印物台并真空吸附所述用于固定承印物的器件和所述承印物台全部进行时，它们的顺序没有特殊限制。
[0078]在本申请的一个示例性实施方式中，可以对准所述用于固定承印物的器件和所述承印物台，然后可以真空吸附所述用于固定承印物的器件和所述承印物台，或者可以真空吸附所述用于固定承印物的器件和所述承印物台，然后对准所述用于固定承印物的器件和所述承印物台。
[0079]在本申请的一个示例性实施方式中，在对准步骤中，可以使用设置在承印物台上的位置控制部对准承印物的要被印刷的区域。
[0080]用根据本申请的一个示例性实施方式的印刷方法印刷的图案的精密度对应于对准的精密度。用根据本申请的一个示例性实施方式的印刷方法印刷的图案的精密度可以在Imm或更小,特别是0.5mm或更小的误差范围内。
[0081]在本申请的一个示例性实施方式中的印刷步骤可以包括:将印刷物涂布在印刷辊上；通过使其上涂布了印刷物的印刷辊与印版相接触而在印刷辊上形成印刷物图案；并将在印刷辊上涂布的印刷物图案转印到承印物上。
[0082]本申请所属领域的普通技术人员将理解，基于所述内容，在本申请的范围内可以进行各种应用和改进。
[0083]虽然对本申请的具体部件已经进行了详细描述，但是对本领域技术人员而言，显而易见的是，这样的具体描述仅仅为优选的实施方式，并且本申请的范围不限于此。因此，本申请的实质范围将由所附权利要求和其等价方式所限定。
[0084]【附图标记】
[0085]10:涂布部
[0086]20:印刷辊台
[0087]21:橡皮布
[0088]22:印刷物 [0089]30:印版台
[0090]31:印版[0091]32:印刷物图案
[0092]40:承印物
[0093]41:印刷物图案
[0094]42:承印物台
[0095]50:位置控制部
[0096]62:多孔板
[0097]64:多孔膜
[0098]70:真空抽吸部
[0099]72:真空孔
[0100]74:真空通道
[0101]100:用于固定承印物的器件
[0102]110:雕刻部
[0103]122:真空孔
[0104]124:真空通道
【权利要求】
1.用于固定承印物的器件，其包含: 多个雕刻部，其能够固定多个承印物；以及 至少一个真空孔或真空通道，其设置在所述雕刻部的下部。
2.权利要求1所述的用于固定承印物的器件，其中，所述用于固定承印物的器件能够被安装在承印物台上。
3.权利要求1所述的用于固定承印物的器件，其中，存在四个或更多个雕刻部。
4.权利要求1所述的用于固定承印物的器件，其中，所述雕刻部设置在所述用于固定承印物的器件的上部，并且形成为使得所述承印物被配置和安装。
5.权利要求1所述的用于固定承印物的器件，其中，所述雕刻部在其内侧包括用于固定承印物的凸起或沟槽。
6.权利要求1所述的用于固定承印物的器件，其中，所述雕刻部的深度等于或小于所述承印物的厚度。
7.权利要求1所述的用于固定承印物的器件，其中，所述雕刻部的深度偏差为10ym或更小。
8.权利要求2所述的用于固定承印物的器件，其中，所述承印物台包含真空抽吸部，所述真空抽吸部对应于设置在所述雕刻部的下部的真空孔或真空通道。
9.权利要求1所述的用于固定承印物的器件，其中，所述承印物为基底。
10.权利要求9所述的用于固定承印物的器件，其中，所述基底为玻璃或塑料。
11.权利要求1所述的用于固定承印物的器件，其中，所述用于固定承印物的器件用于反向胶印。
12.—种印刷装置，其包括根据权利要求1至11中任一项所述的用于固定承印物的器件。
13.权利要求12所述的印刷装置，其中，所述印刷装置为反向胶印装置。
14.权利要求12所述的印刷装置，其进一步包括: 承印物台，其上能够固定所述用于固定承印物的器件。
15.权利要求14所述的印刷装置，其进一步包括: 印版，其包含图案部，所述图案部对应于能够固定在所述用于固定承印物的器件上的承印物的图案位置；和印版台。
16.权利要求14所述的印刷装置，其中，所述承印物台包含真空抽吸部，所述真空抽吸部对应于设置在所述用于固定承印物的器件中的真空孔或真空通道。
17.权利要求16所述的印刷装置，其中，所述承印物台的真空抽吸部包含孔结构或通道结构。
18.权利要求16所述的印刷装置，其中，所述承印物台在所述真空抽吸部上设置有多孔板或多孔膜。
19.权利要求14所述的印刷装置，其中，所述承印物台进一步包含用于对准所述承印物的位置控制部。
20.一种印刷方法，其使用根据权利要求1至11中任一项所述的用于固定承印物的器件。
21.权利要求20所述的印刷方法，其包含: 将承印物固定到用于固定承印物的器件的雕刻部上； 将所述用于固定承印物的器件安装到承印物台上； 真空吸附所述用于固定承印物的器件和所述承印物台；和 在所述承印物上印刷图案。
22.权利要求21所述的印刷方法，其中，所述印刷方法为反向胶印法。
23.权利要求21所述的印刷方法，其进一步包含: 在将所述用于固定承印物的器件安装到承印物台上后，将所述用于固定承印物的器件和承印物台对准。
24.权利要求23所述的印刷方法，其中，在对准过程中，使用设置在所述承印物台上的位置控制部对准所述承印物的要被印刷的区域。
25.权利要求23所述的印刷方法，其中，用所述印刷方法印刷的图案的精密度对应于所述对准的精密度。
26.权利要求21所述的印刷方法，其中，所述印刷包含: 将印刷物涂布在印刷辊上； 通过使其上涂布了印刷物的印刷辊与印版相接触而在印刷辊上形成印刷物图案；和 将涂布在印刷辊上的印刷物图案转印到承印物上。
【文档编号】H01L21/027GK104040688SQ201380005098
【公开日】2014年9月10日 申请日期:2013年7月5日 优先权日:2012年7月10日
【发明者】金姝延, 李承宪, 金大铉, 李原朱 申请人:Lg化学株式会社