半导体装置制造方法

半导体装置制造方法
【专利摘要】在成为n-漂移区(1a)的半导体基板的一个主面侧，设置有沟道栅MOS结构。在n-漂移区(1a)的内部，设置有与构成沟道栅MOS结构的p基区(2a)的n-漂移区(1a)侧接触的n壳区(13)。n壳区(13)具有比n-漂移区(1a)高的杂质浓度。n壳区(13)中的n型的杂质的有效注入剂量为5.0×1012cm-2以下。n-漂移区(1a)具有施加以发射极为正极的反向的额定电压时，使得从另一个主面侧的p集电区(10a)扩展的耗尽层不能到达n壳区(13)和第一沟道(5)的底部中的离p集电区(10a)较近的一方的电阻率。
【专利说明】半导体装置

【技术领域】
[0001] 本发明涉及包括反向阻断型半导体装置、双向半导体装置的半导体装置，特别涉 及沟道栅型的半导体装置。

【背景技术】
[0002] 近年来，在用于使用半导体元件进行AC (交流）/AC转换和/或AC/DC (直流）转 换、DC/AC转换等的电力转换电路中，作为不使用由电解电容器和/或直流电抗器等构成的 直流平滑电路而能构成的直接转换电路，已知有矩阵转换器。由于该矩阵转换器可在交流 电压下使用，所以在构成矩阵转换器的多个开关器件中，需要具有可在正向和反向进行电 流控制的双向性的双向开关器件。以往，作为该双向开关器件，可使用将两组由与通常的绝 缘栅型双极晶体管（以下，称为IGBT)串联的反向耐压用的二极管构成的器件反向并联而 可在双向进行电流控制的双向开关器件。
[0003] 最近，从电路的小型化、轻量化、1?效率化、1?速响应化以及低成本化等观点考虑， 由反向阻断IGBT(RB-IGBT)构成的上述的双向开关器件备受关注。其理由是通过构成为将 两个该反向阻断IGBT反向并联，从而能够在不使用上述反向耐压用的二极管的条件下构 成双向开关器件。由单芯片构成将这两个反向阻断IGBT反向并联而成的双向开关器件是 双向IGBT。接下来，对以往的反向阻断IGBT的构成进行说明。
[0004] 图15是示意性地表示以往的反向阻断IGBT的构成的截面图。该反向阻断IGBT通 常在中央具有活性区域110,在环绕该活性区域110的外周侧，隔着耐压结构区域120设置 有分离部130。分离部130具有p型的分离区域31。活性区域110是成为纵型IGBT的主 电流的路径的区域，该纵型IGBT具备ιΓ漂移区l、p基区2、n+发射区3、发射电极9、p集电 区10以及集电极11等。上述分离区域31是以从半导体基板的正面开始与背面侧的p集 电区10接触的深度而形成的P型区域。对于活性区域110的构成，参照图16进行详细说 明。
[0005] 图16是详细表示图15所示的以往的反向阻断IGBT的活性区域的构成的截面图。 rT漂移区域1由通过FZ(Floating Zone)法制作的娃基板（以下，称为FZ娃基板）构成。在 使用了 FZ硅基板的IGBT中，与使用了以往的外延硅基板的IGBT不同，不使用高浓度半导 体基板。因此，例如将IGBT的额定电压设为600V的情况下，可以使硅基板的厚度为100 μ m 左右，将IGBT的额定电压设为1200V的情况下可以使硅基板薄化至180 μ m左右。
[0006] 在成为n_漂移区1的FZ硅基板的正面的表面层，选择性地设置有p基区2。在p 基区2的基板正面侧的表面层，选择性地设置有n+发射区3和p+体区4。在被n+发射区3 和ιΓ漂移区1夹着的部分的p基区2的表面上，隔着栅极绝缘膜6设置有由多晶硅构成的 栅电极7。发射电极9在η+发射区3和ρ+体区4的表面均形成欧姆接触。在栅电极7与 发射电极9之间设置有层间绝缘膜8,将栅电极7与发射电极9电绝缘。
[0007] 在成为ιΓ漂移区1的FZ硅基板的背面侧，设置有ρ集电区10和与ρ集电区10 欧姆接触的集电极11。使FZ硅基板的背面侧的构成为这样的构成时，通过薄化ρ集电区 10的厚度，并且将p集电区10控制在所要求的低杂质浓度，从而能够降低来自p集电区10 的少数载流子的注入效率，提高传输效率。其结果，就上述的构成的反向阻断IGBT而言，导 通电压特性和关断损耗之间的权衡关系得到改善，能够同时降低导通电压的减少和关断损 耗。
[0008] 作为这样的反向阻断IGBT，提出了在半导体基板的正面侧形成p基区，在该p基区 的内部形成n+发射区，在该半导体基板的外周部和背面侧，以包围p基区的方式形成基板 侧面的P+分离区域和背面侧的P+集电区，将背面的P+集电区的厚度设为1 μ m左右的反向 阻断IGBT (例如，参照下述专利文献1)。
[0009] 另外，作为其它的反向阻断IGBT，提出了如下的反向阻断IGBT，即在半导体基板 至少具备在将该半导体基板设为一层的层的两侧形成的正向反向耐压用pn结，根据分离 扩散区域在上述半导体基板的第一主面侧具备这两个pn结的耐压结终端结构的高耐压半 导体装置中，将半导体基板设为一层的层通过设置从第一主面朝向内部实际上一定的杂质 浓度分布或者杂质浓度朝向内部减少的区域，从而能够不使反向耐压降低而减少反向漏电 流（例如，参照下述专利文献2)。
[0010] 另外，作为提高电特性的反向阻断IGBT，公知有如下的装置。图17是表示以往的 反向阻断IGBT的施加正向电压时和施加反向电压时的电场强度分布的说明图。图17(a) 中示出了以往的反向阻断IGBT的主要部分的截面结构。图17(b)中，以y轴表示图17(a) 所示的反向阻断IGBT的厚度，以X轴表示施加正向电压时和施加反向电压时的各电场强度 分布。y轴的距离是设基板背面（P集电区10与集电极11的界面）为〇(零）的朝向发射 方向的距离。在图17(a)所示的反向阻断IGBT中，通过在ιΓ漂移区1与p基区2的界面和 η_漂移区1与Ρ集电区10的界面分别以相同的导电型形成高杂质浓度的缓冲层201、202， 从而能够得到正向耐压值和反向耐压值一致的IGBT(例如，参照下述专利文献3)。
[0011] 另外，作为提高了电特性的IGBT，提出了通过在ρ基区与ιΓ漂移区的边界的至少 一部分以与ιΓ漂移区相同的导电型设置高杂质浓度区域，从而缩短沟道长，减少导通状态 的电压下降的装置（例如，参照下述专利文献4)。
[0012] 另外，作为提高了电特性的另一个IGBT，提出了如下的装置。在η漂移区的离ρ集 电区较近的部分形成短寿命区域。短寿命区域以η型且与η基底层相比高浓度地掺杂。通 过该构成，能够减少ΝΡΤ (非穿通）型IGBT的漏电流（例如，参照下述专利文献5)。
[0013] 另外，作为提高了电特性的另一个IGBT，提出了具有第二导电型集电区和与第二 导电型集电区分离且以比第一导电型半导体基板的杂质浓度更高的杂质浓度形成在第一 导电型半导体基板内的第一导电型场停止区域的装置（例如，参照下述专利文献6)。在下 述专利文献6中，即使在集电区存在部分的缺损的情况下，也能够抑制导通状态下的电压 下降特性的上升和/或耐压特性的降低。
[0014] 另外，作为提高电特性的双向IGBT，提出了如下的装置。在形成于半导体基板的两 主面的沟道内，分别隔着栅极氧化膜埋设栅电极，在半导体基板的两主面构成沟道型的M0S 栅（由金属-氧化膜-半导体构成的绝缘栅）结构（以下，称为沟道栅M0S结构）。在半导 体基板的两主面的漂移区与基底层的界面，设置与漂移区域相同的导电型，并且浓度比漂 移区高的缓冲层。并且，成为施加截止电压时扩展到漂移区域的耗尽层充分延伸到达高浓 度的缓冲层的穿通型的结构。根据这样的结构，能够同程度地提高双向的耐压，去除关断时 的振动波形，并且能够在双向进行栅控制（例如，参照下述专利文献7)。
[0015] 另外，作为提高了电特性的反向阻断IGBT，提出了如下装置。S卩，通过在集电极侧 形成第二沟道，在该第二沟道的表面覆盖氧化膜，填充多晶硅，在被第二沟道夹着的位置形 成第2n缓冲区域，反向偏压时的耗尽层的延伸跳过第2n缓冲区域向ιΓ漂移区扩展，从而 由ΡΤ型结构得到与正向耐压与反向耐压相同的装置（例如，参照下述专利文献8)。
[0016] 现有技术文献
[0017] 专利文献
[0018] 专利文献1:日本特开2002-319676号公报
[0019] 专利文献2:日本特开2006-080269号公报
[0020] 专利文献3:日本特表2002-532885号公报
[0021] 专利文献4:日本特开平09-326486号公报
[0022] 专利文献5:日本特开平09-260662号公报
[0023] 专利文献6:日本特开2002-246597号公报
[0024] 专利文献7:日本特开2001-320049号公报
[0025] 专利文献8:日本特开2003-318399号公报


【发明内容】

[0026] 技术问题
[0027] 然而，在上述的专利文献1所示的反向阻断IGBT中，产生反向耐压与正向耐压相 比容易变低的问题。以下，对其理由进行说明。为了确保反向阻断能力，平面型反向阻断 IGBT需要有从半导体基板的正面到达背面侧的ρ+集电区的ρ+分离区域。在为了形成该ρ+ 分离区域所需要的高温下长时间的驱动扩散（热处理），为了防止η型的硅基板的表面粗糙 而在氧气氛中进行。就该热处理的扩散时间而言，例如为600V用耐压器件时在1300°C的温 度下需要100小时左右，为1200V用的耐压器件时在1300°C的温度下需要200小时左右。
[0028] 通过在氧气氛下对硅基板施加这样的高温长时间的热处理从而使掺杂的氧原子 施主化，特别是在硅基板的杂质浓度低的情况下受到由氧原子的施主化导致的影响而使硅 基板的氧浓度变高。由于硅基板的表面附近的氧浓度因向外侧扩散而降低，因此硅基板的 杂质浓度分布是从基板两主面向深度方向以数μm?数十μm的宽度（深度）成为低，基 板中央部成为高。另外，在该反向阻断IGBT的制造工序中，包括：在正面侧形成所需的M0S 栅结构和铝电极膜的工序；用于在设为低导通电压的同时，形成耐压所需要的η漂移区的 厚度的背面研削工序；形成Ρ+集电区和集电极的工序。背面研削工序中的硅基板的背面研 削量为最初的硅基板的厚度的一半以上，这是非常大的。因此，如上所述受到氧原子的施主 化的影响的硅基板在背面研削工序后成为如下的杂质浓度分布，即，在进行了背面研削的 集电极侧杂质浓度较高，在发射极侧，由于外侧扩散的影响杂质浓度在从基板正面沿深度 方向数μm?数十μm的宽度（深度）范围内倾斜地降低。
[0029] 其结果，η漂移区的集电极侧的杂质浓度变得比发射极侧的杂质浓度高，所以与从 处于反向阻断IGBT的发射极侧的ρ基结（ρ基区与η漂移区之间的ρη结）延伸的耗尽层 相比，从集电结（Ρ+集电区与η漂移区之间的ρη结）延伸的耗尽层变得难以延伸。由此， 在施加低的电压下电场容易变高，所以反向耐压变得比正向耐压小。这样的由氧施主对耐 压产生的影响在硅基板的电阻率大的情况，例如耐压为600V以上的情况下容易产生问题。 另一方面，对于初始pn结周边的曲率半径，也有集电结（反向耐压结）的曲率半径比P基 结（正向耐压结）大而容易得到高耐压的情况，在小于耐压600V的器件中，即使考虑上述 的由氧施主对反向耐压产生的影响，反向耐压也容易变得比正向耐压大。
[0030] 另外，在上述的专利文献3和专利文献4所示的技术中，产生如下的问题。例如， 如图17(b)的虚线所示，施加反向电压（反向偏压）时，从集电结21延伸的耗尽层难以延 伸到达发射极侧的缓冲层（以下，称为壳区）201，因此电场急剧变高，在集电结21附近，表 现出电场峰（临界电场强度）212。另一方面，如图17(b)的实线所示，施加正向电压（正 向偏压）时，从P基结20延伸的耗尽层到达p集电区10时电场同样地急剧变高，在p基结 20的界面附近，表现出电场峰211。因此，正向耐压和反向耐压均变得容易降低。即，通过 设置壳区201和缓冲区域（集电极侧的缓冲层）202,可能无法实现没有这些区域的情况下 得到的正向耐压和反向耐压。已知这样的耐压降低问题能够通过降低ιΓ漂移区域1的杂 质浓度，提高设计耐压而避免。
[0031] 然而，虽然通过降低rr漂移区域1的杂质浓度，耗尽层变得容易延伸，但在半导体 装置的动作中容易产生耗尽层到达缓冲区域202的穿通现象。其结果，产生关断时的电压 波形和电流波形（以下，称为关断波形）发生振动的新问题。另外，反向阻断IGBT在从导 通状态切换到反向阻断状态的反向恢复时，具有大的电流过渡地流过的特性（反向恢复特 性）。因此，也产生反向恢复时的电压波形和电流波形（以下，称为反向恢复波形）容易振 动的问题。并且，关断波形和反向恢复波形发生振动的情况下，产生噪音和/或电压波形的 振动变得非常大时半导体装置可能被破坏等。
[0032] 本发明为了消除上述的现有技术中的问题，目的在于提供一种能够提高反向耐 压、提高正向耐压、抑制关断时的电压波形和电流波形的振动，并且能够抑制反向恢复时的 电压波形和电流波形的振动的半导体装置。
[0033] 技术方案
[0034] 为了解决上述的课题，实现本发明的目的，本发明的半导体装置具有如下的特征。 在成为漂移区的第一导电型的半导体基板的一个主面的表面层，选择性地设置有第二导电 型的基区。在上述基区的内部选择性地设置有第一导电型的发射区。设置有从上述半导体 基板的一个主面贯通上述发射区和上述基区到达上述漂移区的沟道。沿上述沟道的内壁设 置有绝缘膜。在上述沟道内部隔着上述绝缘膜埋设有栅电极。设置有与上述发射区和上述 基区接触的发射电极。在上述漂移区的内部，设置有与上述基区的漂移区侧接触的第一导 电型的壳区。在上述半导体基板的另一个主面的表面层，设置有第二导电型的集电区。其 中，上述壳区具有比上述漂移区高的杂质浓度。上述壳区中的第一导电型的杂质的有效注 入剂量为5. OX 1012cnT2以下。上述漂移区具有施加以上述发射电极为正极的反向的额定电 压时使得从上述集电区扩展的耗尽层不能到达上述壳区或上述沟道的底部中的离上述集 电区较近的一方的电阻率。
[0035] 另外，本发明的半导体装置优选在上述的发明中，上述壳区中的第一导电型的杂 质的有效注入剂量为4.0X10 12cnT2以下。
[0036] 另外，本发明的半导体装置优选在上述的发明中，在上述漂移区与上述集电区之 间，设置用于减少漏电流的具有比上述漂移区高的杂质浓度的第一导电型的区域。
[0037] 另外，本发明的半导体装置优选在上述的发明中，在上述漂移区的外周端部，进一 步具备从上述半导体基板的一个主面到达上述集电区的第二导电型的分离区域。
[0038] 另外，本发明的半导体装置优选在上述的发明中，上述漂移区具有施加以上述发 射电极为正极的反向的额定电压时，使得从上述集电区朝向上述基区扩散的耗尽层不能到 达上述基区或上述沟道的底部中的离上述集电区较近的一方的电阻率。
[0039] 另外，为了解决上述的课题，实现本发明的目的，本发明的半导体装置具有如下的 特征。在成为漂移区的第一导电型的半导体基板的一个主面的表面层，选择性地设置有第 二导电型的第一基区。在上述第一基区的内部选择性地设置有第一导电型的第一发射区。 设置有从上述半导体基板的一个主面贯通上述第一发射区和上述第一基区到达上述漂移 区的第一沟道。沿上述第一沟道的内壁设置有第一绝缘膜。在上述第一沟道的内部隔着上 述第一绝缘膜埋设有第一栅电极。设置有与上述第一发射区以及上述第一基区接触的发射 电极。在上述漂移区的内部，设置有与上述第一基区的上述漂移区侧接触的第一导电型的 第一壳区。在上述半导体基板的另一个主面的表面层选择性地设置有第二导电型的第二基 区。在上述第二基区的内部选择性地设置有第一导电型的第二发射区。设置有从上述半导 体基板的另一个主面贯通上述第二发射区和上述第二基区而到达上述漂移区的第二沟道。 沿上述第二沟道的内壁设置有第二绝缘膜。在上述第二沟道的内部隔着上述第二绝缘膜埋 设有第二栅电极。设置有与上述第二发射区和上述第二基区接触的背面电极。在上述漂移 区的内部，设置有与上述第二基区的上述漂移区侧接触的第一导电型的第二壳区。其中，上 述第一壳区和上述第二壳区具有比上述漂移区高的杂质浓度。上述第一壳区和上述第二壳 区中的第一导电型的杂质的有效注入剂量为5. OX 1012cnT2以下。上述漂移区具有施加以上 述发射电极为正极的反向的额定电压时使得从上述第二基区扩展的耗尽层不能到达上述 第一壳区和上述第一沟道的底部中的离上述第二壳区较近的一方的电阻率。
[0040] 另外，本发明的半导体装置优选在上述的发明中，上述第二壳区中的第一导电型 的杂质的有效注入剂量为4. OX 1012cnT2以下。
[0041] 另外，本发明的半导体装置优选在上述的发明中，上述漂移区具有施加以上述发 射电极为正极的反向的额定电压时，使得从上述第二基区朝向上述第一基区扩展的耗尽层 不能到达上述第一基区和上述第一沟道的底部中的离上述第二壳区较近的一方的电阻率。
[0042] 根据上述的发明，通过在漂移区的内部以与基区接触的方式设置壳区，而能够与 以往相比缓和半导体基板内的电场，因此能够提高正向耐压和反向耐压。另外，根据上述的 发明，通过将壳区中的第一导电型的杂质的有效注入剂量设为5. 0X1012cnT2以下，能够使 反向恢复波形的反向恢复电流从负值收敛到零为止的期间比以往快。即，与以往相比能够 加快阻断电压的恢复。
[0043] 另外，为了解决上述的课题，实现本发明的目的，本发明的半导体装置具有如下的 特征。在成为第一半导体区域的第一导电型的半导体基板的一个主面的表面层，选择性地 设置有第二导电型的第二半导体区域。在上述第二半导体区域的内部，选择性地设置有杂 质浓度比上述第一半导体区域高的第一导电型的第三半导体区域。在上述第二半导体区 域的被上述第三半导体区域和上述第一半导体区域夹着的部分的表面上隔着绝缘膜设置 有第一电极。设置有与上述第三半导体区域和上述第二半导体区域接触的第二电极。在上 述半导体基板的另一个主面的表面层，设置有第二导电型的第四半导体区域。设置有与上 述第四半导体区域接触的第三电极。在上述第一半导体区域的内部的上述第四半导体区域 侦牝设置有与上述第四半导体区域的上述第一半导体区域侧的至少一部分对置的第一导电 型的第五半导体区域。上述第五半导体区域的杂质浓度比上述第一半导体区域高。在上述 半导体基板的外周部设置有第二导电型的第六半导体区域。上述第六半导体区域从上述半 导体基板的一个主面贯通上述第一半导体区域而到达上述第四半导体区域。其中，上述第 五半导体区域中的第一导电型的杂质的总注入剂量为2. OX l〇12cm2以下。
[0044] 另外，为了解决上述的课题，实现本发明的目的，该发明的半导体装置具有如下的 特征。在成为第一半导体区域的第一导电型的半导体基板的一个主面的表面层，选择性地 设置有第二导电型的第二半导体区域。在上述第二半导体区域的内部，选择性地设置有杂 质浓度比上述第一半导体区域高的第一导电型的第三半导体区域。设置有从上述半导体基 板的一个主面贯通上述第三半导体区域和上述第二半导体区域而到达上述第一半导体区 域的沟道。沿上述沟道的内壁设置有绝缘膜。在上述沟道内部隔着上述绝缘膜埋设有第一 电极。设置有与上述第三半导体区域和上述第二半导体区域接触的第二电极。在上述半导 体基板的另一个主面的表面层，设置有第二导电型的第四半导体区域。设置有与上述第四 半导体区域接触的第三电极。在上述第一半导体区域的内部的上述第四半导体区域侧，设 置有与上述第四半导体区域的上述第一半导体区域侧的至少一部分对置的第一导电型的 第五半导体区域。上述第五半导体区域的杂质浓度比上述第一半导体区域高。在上述半导 体基板的外周部设置有第二导电型的第六半导体区域。上述第六半导体区域从上述半导体 基板的一个主面贯通上述第一半导体区域而到达上述第四半导体区域。其中，上述第五半 导体区域中的第一导电型的杂质的总注入剂量为2. OX 1012cnT2以下。
[0045] 另外，本发明的半导体装置优选在上述的发明中，上述第五半导体区域与上述第 四半导体区域的上述第一半导体区域侧整个面对置。
[0046] 另外，本发明的半导体装置优选在上述的发明中，设置有具有上述第二半导体区 域、上述第三半导体区域、上述第四半导体区域、上述第一电极、上述第二电极以及上述第 三电极的活性区域。在上述半导体基板的一个主面的表面层以包围上述活性区域的方式设 置有耐压结构区域。上述耐压结构区域可以具有多个第二导电型的第七半导体区域。
[0047] 另外，本发明的半导体装置优选在上述的发明中，上述第一半导体区域具有施加 以上述第二电极为正极的反向的额定电压时使得从上述第二半导体区域朝向上述第五半 导体区域扩展的耗尽层不能到达上述第五半导体区域的电阻率。
[0048] 根据上述的发明，由于通过设置第五半导体区域，而能够施加反向电压时使半导 体基板内的电场强度均匀，因此能够提高反向耐压。另外，根据上述的发明，由于通过在第 一半导体区域内部的第四半导体区域侧设置第五半导体区域，从而在施加正向电压时，在 第五半导体区域与第四半导体区域之间残留中性区域，因此能够抑制关断时的电压波形和 电流波形的振动。
[0049] 发明效果
[0050] 根据本发明的半导体装置，起到如下效果，即能够提供一种能够提高反向耐压、提 高正向耐压、抑制关断时的电压波形和电流波形的振动，并且能够抑制反向恢复时的电压 波形和电流波形的振动的半导体装置。

【专利附图】

【附图说明】
[0051] 图1是表示本发明的实施方式1的反向阻断IGBT的构成的截面图。
[0052] 图2是表示图1的反向阻断IGBT的活性区域的构成的截面图。
[0053] 图3是表示图1的反向阻断IGBT的耐压结构区域的构成的截面图。
[0054] 图4是表示本发明的实施方式1的反向阻断IGBT的活性区域中的电场强度分布 的特性图。
[0055] 图5是表示图2的切割线A - A'中的有效注入剂量的分布的特性图。
[0056] 图6是表示图2的切割线B - B'中的有效注入剂量的分布的特性图。
[0057] 图7是表示实施方式1的反向阻断IGBT的η壳区的有效注入剂量与反向漏电流 之间的关系的特性图。
[0058] 图8是表示实施方式1的反向阻断IGBT的η壳区的有效注入剂量与关断损耗和 导通损耗之和的关系的特性图。
[0059] 图9是表示实施方式1的反向阻断IGBT的反向恢复时的电压波形和电流波形的 特性图。
[0060] 图10是表示以往的反向阻断IGBT的反向恢复时的电压波形和电流波形的特性 图。
[0061] 图11是表示实施方式1的反向阻断IGBT的另一例的截面图。
[0062] 图12是表示实施方式1的反向阻断IGBT的另一例的截面图。
[0063] 图13是表示实施方式1的反向阻断IGBT的另一例的截面图。
[0064] 图14是表示实施方式1的反向阻断IGBT的另一例的截面图。
[0065] 图15是示意性地表示以往的反向阻断IGBT的构成的截面图。
[0066] 图16是详细表示图15所示的以往的反向阻断IGBT的活性区域的构成的截面图。
[0067] 图17是表示以往的反向阻断IGBT的施加正向电压时和施加反向电压时的电场强 度分布的说明图。
[0068] 图18是表示本发明的实施方式2的反向阻断IGBT的构成的截面图。
[0069] 图19是表示图18的反向阻断IGBT的活性区域的构成的截面图。
[0070] 图20是表示图18的反向阻断IGBT的耐压结构区域的构成的截面图。
[0071] 图21是表示实施方式2的反向阻断IGBT的施加正向电压时和施加反向电压时的 电场强度分布的说明图。
[0072] 图22是表示图19的切割线C 一 C'中的杂质量的分布的特性图。
[0073] 图23是表示实施方式2的反向阻断IGBT的η型高浓度区域的有效的总杂质量与 反向耐压之间的关系的特性图。
[0074] 图24是表示实施方式2的反向阻断IGBT的η型高浓度区域的有效的总杂质量与 正向漏电流之间的关系的特性图。
[0075] 图25是表示实施方式2的反向阻断IGBT的耐电荷性的特性图。
[0076] 符号说明
[0077] l、la:rT 漂移区
[0078] 2、2a:p 基区
[0079] 2b :基板背面侧的p基区
[0080] 3、3a:n+发射区
[0081] 4、4a:p+体区
[0082] 5 :第一沟道
[0083] 5a :第二沟道
[0084] 6、6a :栅绝缘膜
[0085] 7、7a:栅电极
[0086] 8、8a :绝缘膜、层间绝缘膜
[0087] 8b :场绝缘膜
[0088] 9、9a:发射电极
[0089] 10、10a:p 集电区
[0090] 11、11a:集电极
[0091] 12 :nLCS 区域
[0092] 13 :n壳区（第一壳区）
[0093] 13a :n壳区（第二壳区）
[0094] 14 :场板
[0095] 15:背面侧电极
[0096] 20 :p 基结
[0097] 21 :集电结
[0098] 21a:分离区域结
[0099] 31a:分离区域
[0100] 100 :耐压结构区域
[0101] 101 :场限环
[0102] 200 :活性区域

【具体实施方式】
[0103] 以下，对本发明的半导体装置的优选的实施方式，参照附图进行详细说明。在以下 的说明中，作为反向阻断型半导体装置，举例说明反向阻断IGBT的情况，另外，将第一导电 型作为η型，将第二导电型作为p型进行说明。在本说明书和附图中，对于标记了 η或!)的 层和/或区域，分别指电子或空穴为多数载流子。另外，对η或ρ附加的+和-分别指与没 有附加+和-的层和/或区域相比杂质浓度相对高或低。应予说明，在以下的实施方式的 说明和附图中，对相同的构成标记相同的符号，省略重复的说明。另外，为了容易观察或容 易理解，以下的实施方式中说明的附图未用准确的比例、尺寸比绘出。本发明只要不超过其 要旨，并不限于以下说明的实施方式的记载。
[0104] (实施方式1)
[0105] 对实施方式1的半导体装置，举例说明反向阻断IGBT。图1是表示本发明的实施 方式1的反向阻断IGBT的构成的截面图。如图1所示，该反向阻断IGBT在成为ιΓ漂移区 la的FZ硅基板（半导体基板）上，具备活性区域200、在活性区域200的外侧设置的耐压 结构区域100和在耐压结构区域100的外侧设置的分离部130。例如为了不对600V耐压等 级的反向阻断IGBT的特性产生不良影响，半导体基板的厚度例如可以为90 μ m以上，ιΓ漂 移区la的厚度可以为80 μ m以上。纵型反向阻断IGBT构成为在活性区域200具有在ιΓ漂 移区la的基板正面侧设置的沟道栅MOS结构和在ιΓ漂移区la的基板背面侧设置的ρ集 电区l〇a以及集电极11a。关于沟槽栅MOS结构的详细说明，在后面进行描述。
[0106] 在耐压结构区域100的基板正面侧设置的耐压结构在活性区域200与分离部130 之间，具有包围活性区域200的预定的图案。耐压结构区域100具有缓和构成IGBT的pn 主结终端面的电场强度而实现期望的耐压和耐压可靠性的功能。作为pn主结是指ρ基区 2a与ιΓ漂移区la之间的pn结（ρ基结）。关于耐压结构区域100的结构，在后面进行描 述。将晶圆切割成各个晶片时具有成为半导体基板的侧面的切割面，分离部130沿该切割 面形成。因此，分离部130需要有在该切割面产生的结晶缺陷至少对耐压结构区域100不 产生不良影响的宽度。分离部130位于ιΓ漂移区la的外周侧端部，具有从ιΓ漂移区la的 基板正面到达基板背面侧的P集电区l〇a的深度的分离区域31a。施加反向电压时，耗尽层 从半导体基板的背面侧的集电结（P集电区l〇a与ιΓ漂移区la之间的pn结）21和分离区 域31a与ιΓ漂移区la之间的pn结（以下，称为分离区域结）21a，朝向ρ基区2a延伸。由 此，施加反向电压时，能够防止耗尽层到达半导体基板的侧面而防止漏电流的产生，能够得 到相反方向的耐压。
[0107] 接下来，对活性区域200的构成进行详细说明。图2是表示图1的反向阻断IGBT 的活性区域200的构成的截面图。在活性区域200,在成为ιΓ漂移区la的半导体基板的正 面，以预定的间隔设置多个第一沟道5。在半导体基板的正面的表面层，以被ρ第一沟道5 夹着的方式设置基区2a。ρ基区2a具有比ιΓ漂移区la高的杂质浓度。在被相邻的第一沟 道5夹着的部分中，在ρ基区2a的基板正面侧的表面层，选择性地设置有n+发射区3a和p+ 体区4a。p+体区4a具有比ρ基区2a高的杂质浓度。在ρ基区2a的被相邻的第一沟道5 夹着的部分，将设有n+发射区3a和p+体区4a的构成的部分和该构成中没有n+发射区3a 的构成的部分交替并列地设置。
[0108] η壳区13设置于ιΓ漂移区la与ρ基区2a之间且被第一沟道5夹住的部分。另 夕卜，η壳区13可以设置为至少占有全部ρ基区2a的下方（ιΓ漂移区la侧）的区域。其理 由是能够抑制少数载流子从P集电区l〇a向ρ基区2a的注入，并且降低传输效率。优选 地，η壳区13可以设置为包围活性区域200内的ρ基区2a的下方的整个区域。即，通过完 全去除P基区2a与ιΓ漂移区la接触的区域，从而能够可靠地抑制少数载流子从ρ集电区 l〇a向ρ基区2a的注入，并且能够降低传输效率。另外，η壳区13在图2中虽然被第一沟 道5完全夹着，但也可以设置一部分被第一沟道5夹着，一部分具有达到第一沟道5的下层 的深度（覆盖第一沟道5的底部的深度）的η壳区13。发射电极9a与η+发射区3a以及 P+体区4a的表面共通接触。另外，发射电极9a通过层间绝缘膜8a与栅电极7a电绝缘。
[0109] 对上述的第一沟道5的结构，进一步进行说明。第一沟道必须具有贯通n+发射区 3a和ρ基区2a的深度，但相对于上述的η壳区13,可以是达到该η壳区13的中间的深度， 也可以是贯通的深度。形成于第一沟道5内的M0S栅结构（沟道栅M0S结构）与以往同样， 可以是沿第一沟道5的内壁设置有栅绝缘膜6a，在第一沟道5的内部隔着栅绝缘膜6a埋设 由多晶硅构成的栅电极7a的结构。
[0110] 另外，η壳区13具有比η漂移区la商的杂质浓度。而且，η漂移区la优选具有 满足从P集电区l〇a朝向η壳区13扩展的耗尽层不到达η壳区13这样的条件的电阻率。 至少，n_漂移区la需要具有在施加与额定电压相等的反向电压时，从p集电区10a朝向η壳 区13扩散的耗尽层不到达η壳区13的电阻率。为了在尽可能低的导通电压下实现额定电 压600V的反向阻断IGBT的耐压，ιΓ漂移区la的电阻率例如可以为22Q cm以上且35Qcm 以下，rT漂移区la的宽度（厚度）例如可以为80 μ m以上且100 μ m以下。由此，反向电压 的恢复时，能够使耗尽层不到达η壳区13。
[0111] 另一方面，在半导体基板的背面侧，在rT漂移区la与ρ集电区10a之间设置有与 P集电区l〇a接触的nLCS(Leakage Cuurrent Stop)区域12。设置nLCS区域12的理由是 能够抑制少数载流子从P集电区l〇a向nLCS区域12的注入，并且降低传输效率。nLCS区 域12具有减少漏电流的功能。
[0112] 另外，nLCS区域12具有比η漂移区la商的杂质浓度。并且，η漂移区la具有在 施加正向电压，优选为与额定电压相等的正向电压时，从P基区2a朝向nLCS区域12扩展 的耗尽层不到达nLCS区域12的电阻率。并且，nLCS区域12具有nLCS区域12中的η型 杂质的有效注入剂量（以下，称为nLCS区域12的有效注入剂量）成为5. 0X 1012cnT2以下 的杂质浓度。对于该杂质浓度，虽然nLCS区域12中的有效注入剂量集中在nLCS区域12 中的某个区域而分布，但是以整个nLCS区域12中包含的η型杂质的有效注入剂量平均为 5. 0 X 1012cnT2以下的方式包含在nLCS区域12中即可，不需要nLCS区域12为特别规定的杂 质浓度分布。优选地，nLCS区域12可以具有nLCS区域12的有效注入剂量成为4. 0 X 1012cm_2 以下的杂质浓度。其理由是能够对反向阻断IGBT抑制作为特有的动作的反向恢复损耗（反 向电压恢复时的开关损耗）和导通损耗的总和。
[0113] 接下来，对耐压结构区域100的构成进行说明。图3是表示图1的反向阻断IGBT 的耐压结构区域100的构成的截面图。耐压结构区域100以环状平面图案形成于活性区域 200的外圆周。具体而言，在耐压结构区域100的rT漂移区la的基板正面侧的表面，设置 作为耐压保护膜覆盖n_漂移区la的场绝缘膜8b。在成为该场绝缘膜8b下层的rT漂移区 la的基板正面侧的表面层，以包围活性区域200的表层的方式以环状平面图案设置多个作 为电悬浮的P型区域的场限环（以下，FLR:Field Limiting Ring) 101。在场绝缘膜8b分 别设置使FLR101的表面以环状的平面图案露出的开口部8c。在多个FLR101上，通过场绝 缘膜8b的开口部8c，沿FLR101的表面形状分别设置作为悬浮的导电膜的场板（以下，记为 FP)14。
[0114] 接下来，对实施方式1的反向阻断IGBT的电场强度分布进行说明。图4是表示本 发明的实施方式1的反向阻断IGBT的活性区域中的电场强度分布的特性图。图14是表示 实施方式1的反向阻断IGBT的另一例的截面图。图4中示出图1、2的实施方式1的反向 阻断IGBT的电场强度分布（图4(a))和图14以及上述专利文献6中分别记载的双向IGBT 的电场强度分布（图4(b)、4(c))。图4(a)、4(b)是表不从ρ集电区10a表面（ρ集电区10a 与集电极1 la之间的界面）起算的距离y与电场强度E之间的关系的电场强度分布特性图 (图4(c)中也相同）。
[0115] 如图4(a)所示，在图1、2的实施方式1的反向阻断IGBT中，由于第一沟道5贯通 了 η壳区13,因此正向偏压时（施加正向电压时：图4 (a)的实线）所产生的电场峰（临界 电场强度）不像图17 (b)所示的以往的反向阻断IGBT的电场峰211那样在ρ基结20的附 近，而是处于η壳区13与rT漂移区la的边界附近的第一沟道5底部的位置（与壳区平行 的虚线）的ιΓ漂移区la内。并且，在实施方式1的反向阻断IGBT中，特征在于，电场峰前 后的电场强度的倾斜与图17(b)所示的以往结构的电场峰211前后的倾斜相比较为缓和。
[0116] 另外，在实施方式1的反向阻断IGBT中，反向偏压时（施加反向电压时：图4(a) 的倾斜虚线）在P集电区l〇a与nLCS区域12的边界附近所产生的电场峰与正向偏压同样 (产生电场峰的方向与正向偏压相反）地与图17(b)所示的以往结构的电场峰212前后的 倾斜相比较为缓和。另外，反向偏压时的电场强度分布的发射极侧没有到达η壳区13而是 处于ιΓ漂移区la内。这表示使从集电结21朝向发射极方向延伸的耗尽层在到达η壳区 13前达到雪崩击穿电场。
[0117] 另外，在图14所示的基板的两主面侧分别具有沟道栅M0S结构的双向IGBT中，第 一壳区13、第二壳区13a (η壳区）分别在基板的两主面侧设置于在第一沟道5、第二沟道5a 间夹着的狭窄区域。因此，如图4(b)所示，施加正向电压时和施加反向电压时电场峰的位 置均移动到第一壳区13、第二壳区13a与ιΓ漂移区la的边界附近的第一沟道5、第二沟道 5a底部的位置（与壳区平行的虚线），并且电场强度的倾斜与图17所示的以往结构相比较 为缓和。并且，确认从P基结20朝向p集电区10a(相当于图14的p基区2b)延伸的耗尽 层（倾斜实线）在到达第二壳区13a之前达到产生雪崩击穿的临界电场强度。另外，确认 从集电结21朝向第一壳区13延伸的耗尽层（倾斜虚线）在到达第一壳区13前达到产生 雪崩击穿的临界电场强度。在图14中，将基板正面侧的η壳区13设定为第一壳区，将基板 背面侧的η壳区设定为第二壳区13a。另外，将构成基板背面侧的沟道栅M0S结构的沟道 5a设定为第二沟道。关于图14所示的实施方式1的反向阻断IGBT的另一例的构成，在后 面进行描述。
[0118] 如上所述，通过将η壳区13设置于p基区2a与ιΓ漂移区la之间的第一沟道5 之间，从而电场峰前后的倾斜变得缓和的理由如下所述。P基结20的反向偏压时，狭窄的 第一沟道5之间的η壳区13不仅从与p基区2a的pn结开始耗尽，而且也从与夹着η壳区 13的两侧的第一沟道5内的栅绝缘膜6a的边界开始耗尽。因此，即使η壳区13的杂质浓 度高，η壳区13也容易在低的正向偏压下完全耗尽。由此，通过等电位间隔扩大，电场强度 的上升变少，从而使电场峰前后的倾斜变缓。上述的狭窄的第一沟道5之间例如为4 μ m? 5 μ m的沟道间隔。
[0119] 本发明的反向阻断IGBT以成为上述的电场强度分布的方式在上述的条件下设置 η壳区13。本发明的双向IGBT以成为上述的电场强度分布的方式在上述的条件下设置第 一壳区13或第二壳区13a。并且，本发明的反向阻断IGBT和双向IGBT如上所述通过施加 额定电压在耗尽层在ιΓ漂移区la内未充分延伸的条件下设置ιΓ漂移区la。
[0120] 接下来，对上述的图1、2的实施方式1的反向阻断IGBT(以下，称为第1实施例） 的电流特性进行验证。在第1实施例中，将额定电压设为600V。将半导体基板的电阻率和 厚度分别设为28 Ω cm和80 μ m。S卩，n_漂移区la的电阻率为28 Ω cm。将第一沟道5的宽 度设为1. 5 μ m，深度设为5. 0 μ m，第一沟道5的配置间隔设为4. 5 μ m。以下，参照图5?图 10,对该第1实施例的电流特性进行说明。图5是表示图2的切割线A - A'中的有效注入 剂量的分布的特性图。纵轴为杂质浓度（cnT3)，横轴为从发射表面起算的距离（μπι)(图6、 22中也相同）。发射表面是指η+发射区3a与发射电极9a的边界，即半导体基板的正面。 图6是表示图2的切割线B - B'中的有效注入剂量的分布的特性图。图5的纵轴所示的 杂质浓度是将从半导体基板正面起算某个深度（切割线A - A'）的区域的单位体积中的有 效注入剂量作为杂质浓度而示出。另外，图6的纵轴所示的杂质浓度也同样地将在从ιΓ漂 移区la起算朝向ρ+体区4a的方向的某个距离的区域的单位体积中的有效注入剂量作为杂 质浓度而示出。按照每个与η壳区13相当的区域的深度对有效注入剂量进行积分，算出η 壳区13的有效的杂质浓度。即，图5所示的η壳区13的有效注入剂量的分布的分布形状 内的区域为η壳区13的有效注入剂量。
[0121] ιΓ漂移区la的单位面积中的有效注入剂量是指ιΓ漂移区la的设置有η壳区13 的区域中的ιΓ漂移区la的单位面积中的有效注入剂量。ιΓ漂移区la的单位面积中的有 效注入剂量用与η壳区13相同的方法算出。图7是表示实施方式1的反向阻断IGBT的η 壳区13的有效注入剂量与反向漏电流之间的关系的特性图。制作（制造）η壳区13的有 效注入剂量（N-Shell Dose)不同的多个第1实施例。将η壳区13的有效注入剂量分别设 定为lX10nCnT2?6.8X10 12cnT2。然后，对这些第1实施例分别测定反向漏电流。另外，作 为比较，准备没有设置η壳区的反向阻断IGBT (以下，称为比较例），测定反向漏电流。
[0122] 在图7中，为了将有效注入剂量为零的情况作为比较例表示反向漏电流，并表示η 壳区13的有效注入剂量不同的多个第1实施例的反向漏电流（纵轴），而将横轴设为η壳区 13的有效注入剂量。ιΓ漂移区la的厚度为80 μ m。根据图7所示的结果，可确认比较例的漏 电流在600V时为6. 0 X 10_5A (0. 06mA)。另一方面，在设置有表面杂质浓度为1. 8 X 1012cm_3 以上的η壳区13的第1实施例中，可确认即使使n_漂移区la的厚度变薄（80μπι)，也能够 将反向漏电流实际上减少到零左右。另外，从第1实施例可知，η壳区13的有效注入剂量 越多，越能够减少反向漏电流。其理由是η壳区13设置于ιΓ漂移区la与ρ基区2a之间， 所以由P集电区l〇a、ιΓ漂移区la以及p基区2a(p+体区4a)构成的pnp晶体管的电流放 大率变小。此外，在ιΓ漂移区la的厚度为ΙΟΟμπι，有效注入剂量为零的情况的比较例中， 可确认漏电流在600V时显示为1. 1Χ1(Γ5Α(0. 011mA)。
[0123] 接下来，对η壳区13的有效注入剂量（N-Shell Dose)与关断损耗（Eoff :反向恢 复损耗）和导通（Eon)损耗之和的关系进行说明。图8是表示实施方式1的反向阻断IGBT 的η壳区13的有效注入剂量与关断损耗和导通损耗之和的关系的特性图。反向阻断IGBT 有在以反向并联用作矩阵转换器的双向开关器件的情况下，作为与使用了以往的IGBT的 双向开关器件时的IGBT串联的反向耐压用的二极管（续流二极管）发挥功能的阶段，所以 优选反向恢复损耗和/或导通损耗小。图8中示出分别对上述的第1实施例和比较例的反 向恢复损耗和导通损耗进行了测定的结果。
[0124] 在图8中，将作为比较例的没有η壳区的反向阻断IGBT的反向恢复损耗和导通损 耗之和（未图示）设定为有效的杂质注入剂量为零的情况。另外，将母线电压设为300V，测 定反向恢复电流为180A/cm 2的情况下的反向恢复损耗（关断损耗）和导通损耗。根据图 8所示的结果，可确认通过设置η壳区13,会有关断损耗与导通损耗之和随着杂质注入剂量 的增加而急剧变大的情况。推测其理由是η壳区13的有效注入剂量越多，反向恢复电流越 增大，反向恢复损耗越增大。因此，反向阻断IGBT被用作开关元件的情况下，为了降低开关 损耗，优选减少η壳区13的有效注入剂量。由图8所示的结果可知，η壳区13的有效的杂 质注入剂量为5. OX 1012cnT2以下（优选为4. OX 1012cnT2以下）时，反向恢复损耗与导通损 耗之和大致为8mJ?9mJ，反向恢复损耗与导通损耗之和的增加较少。另一方面，比较例的 反向阻断IGBT的关断损耗与导通损耗之和为13. 5mJ左右（未图示）。因此，对于关断损耗 与导通损耗之和，在上述的η壳区13的有效的杂质注入剂量为5. Ο X 1012cnT2以下（优选为 4. 0X1012cnT2以下）的情况的第1实施例中，与比较例相比，能够减少35%?40%左右。
[0125] 另外，图8示出了在η壳区13的有效的杂质注入剂量超过5. OX 1012cm_2的情况下， 反向恢复损耗与导通损耗之和急剧变大。例如，η壳区13的有效注入剂量为6. 8X 1012cnT2 时，反向恢复损耗与导通损耗之和为11. 7mJ左右。此时，虽然反向恢复损耗与导通损耗之 和与比较例（13. 5mJ)相比较小，但相对于5. OX 1012cm_2以下时的第1实施例（约8mJ? 9mJ)，增大30?46%左右。由这些结果可确认，在本发明中，可以将η壳区13的有效注入 剂量设为5. OX 1012cnT2以下，优选设为4. OX 1012cnT2以下。
[0126] 图9是表示实施方式1的反向阻断IGBT的反向恢复时的电压波形和电流波形的 特性图。图10是表示以往的反向阻断IGBT的反向恢复时的电压波形和电流波形的特性 图。在图9、10中，横轴表示时间（time)，纵轴表示阳极电流（Anode Current)和阳极电压 (Anode Voltage)。图9中示出将第1实施例的η壳区13的有效注入剂量设为3. 2 X 1012cm_2 的情况。这些图9、10中示出母线电压为300V且反向恢复电流为180A/cm2时的反向恢复 波形。由这些结果可知，在图9所示的第1实施例中，反向恢复波形的反向恢复电流从负值 收敛到零的期间T1 (以下，成为收敛期间），与图10所示的比较例的收敛期间T2相比较短。 换言之，可知第1实施例与比较例相比阻止电压的恢复快。并且可知，在第1实施例中，不 产生反向恢复波形的振动。
[0127] 推测在第1实施例中不产生反向恢复波形的振动的理由是，通过在导通时在由p 基区2a和η壳区13构成的二极管的η壳区13积蓄少数载流子，从而能够抑制反向恢复电 流的增大。另外，还因为通过调整ιΓ漂移区la的基板浓度，从而从ρ集电区10a朝向ρ基 区2a延伸的空间电荷区域（耗尽层）没有到达η壳区13或第一沟道5的底部。另外，推 测在第1实施例中反向恢复电流变成零的收敛期间Τ1短，阻止电压的恢复快的理由是ρ基 区2a的有效的扩散深度由于η壳区13的影响而变浅，因而沟道长变短，栅容量C eE变小。
[0128] 如上所述，实施方式1的反向阻断IGBT在ιΓ漂移区la与ρ基区2a之间具备η壳 区13,该η壳区13具有η型杂质的有效注入剂量为5. OX 1012cnT2以下的杂质浓度。并且， 实施方式1的反向阻断IGBT具有ιΓ漂移区la，该ιΓ漂移区la具有从ρ集电区10a扩展 的耗尽层不能到达η壳区13的电阻率。因此，实施方式1的反向阻断IGBT与以往的反向 阻断IGBT相比，能够缓和基板内的电场。其结果，能够提高正向耐压和反向耐压。另外，根 据实施方式1，由于能够抑制反向恢复时的电压波形和电流波形（反向恢复波形）的振动， 因此能够防止噪声的产生、器件的破坏。
[0129] 接下来，对实施方式1的反向阻断IGBT的另一例的结构进行说明。图11?14是 表示实施方式1的反向阻断IGBT的另一例的截面图。实施方式1的反向阻断IGBT可以是 如图11所示，在一部分的第一沟道5之间设置省略了 n+发射区3a的区域，并将省略了该n+ 发射区3a的区域间的第一沟道5的栅电极7a设为栅极电位或者发射极电位的结构，也可 以是如图12所示，用层间绝缘膜8a覆盖一部分的第一沟道5之间，与设置有n+发射区3a 的第一沟道5之间相比宽度增宽而设置没有导通电流流过的区域的结构。或者，实施方式1 的反向阻断IGBT也可以是如图13所示，在设置有n+发射区3a的第一沟道5之间，与一个 第一沟道5接触的方式设置n+发射区3a的结构。这些图11、12、13所示的反向阻断IGBT 均是通过增大有效的第一沟道5附近的孔密度从而得到增强传导率调制效果，降低导通电 压的效果。并且，实施方式1的反向阻断IGBT通过调整ιΓ漂移区la的厚度，也能够形成省 略了 nLCS区域12的结构（未图示）。有效的第一沟道5之间是指设置有n+发射区3a的 相邻的第一沟道5之间。
[0130] 图14中示出可在正向和反向这两个方向进行栅控制的双向IGBT的活性区域的结 构。图14所示的双向IGBT通过在半导体基板的正面侧和背面侧这两个主面设置沟道栅M0S 结构，从而单独作为双向开关器件发挥功能。半导体基板的正面侧和背面侧的沟道栅M0S 结构与图1、2、11?13所示的反向阻断IGBT的沟道栅M0S结构是相同的构造。设基板背 面侧的第二沟道为符号5a，设基板背面侧的η壳区（第二壳区）为符号13a，设基板背面侧 的P基区为符号2b，设背面侧电极为15。在该双向IGBT中，两个主面侧的第一壳区13和 第二壳区13a的杂质浓度也优选为上述的杂质浓度。另外，对于ιΓ漂移区la的杂质浓度， 也可以是施加与额定电压相等的反向电压时，使ιΓ漂移区la中具有从p基区2a朝向第二 壳区13a扩展的耗尽层不能到达第二壳区13a的电阻率。对于图11?13所示的反向阻断 IGBT和图14所示的双向IGBT，也起到与图1、2的反向阻断IGBT相同的效果。
[0131] (实施方式2)
[0132] 对于实施方式2的半导体装置，举例说明反向阻断IGBT。图18是表示本发明的实 施方式2的反向阻断IGBT的构成的截面图。图19是表示图18的反向阻断IGBT的活性区 域的构成的截面图。图20是表示图18的反向阻断IGBT的耐压结构区域的构成的截面图。 实施方式2的反向阻断IGBT与实施方式1的反向阻断IGBT的不同点在于在ιΓ漂移区la 的内部的P集电区l〇a附近设置η型高浓度区域45用来代替η壳区。
[0133] 如图18、19所示，在实施方式2的反向阻断IGBT中，在活性区域220,在成为ιΓ漂 移区la的FZ硅基板（半导体基板）的正面侧，设置由ρ基区42、η+发射区43、ρ+体区44、 栅绝缘膜46和栅电极47构成的平面型的M0S栅结构和发射电极49。具体而言，ιΓ漂移区 la具有在施加了与额定电压相等的反向电压时，从ρ基区42与ιΓ漂移区la之间的ρη结 (Ρ基结）朝向Ρ集电区l〇a侧扩展的耗尽层不能到达η型高浓度区域45的电阻率。
[0134] ρ基区42选择性地设置于半导体基板的正面的表面层。η+发射区43和ρ+体区44 选择性地设置于Ρ基区42的内部。栅电极47隔着栅绝缘膜设置在ρ基区42的被η+发射 区43和ιΓ漂移区la夹着的部分的表面上。发射电极49与η+发射区43和ρ+体区44导 通连接。另外，发射电极49通过层间绝缘膜48与栅电极47电绝缘。
[0135] 在成为ιΓ漂移区la的半导体基板的背面侧，与实施方式1同样地，设置有ρ集电 区10a和集电极11a。η型高浓度区域45设置于rT漂移区la的内部的ρ集电区10a侧。 通过设置η型高浓度区域45,施加正向电压时耗尽层从ρ基结朝向ρ集电区10a侧扩展时， 能够抑制少数载流子从P集电区l〇a向rT漂移区la的注入，而能够降低传输效率。
[0136] 另外，η型高浓度区域45与ρ集电区10a分离地设置。由此，施加正向电压时耗 尽层从P基结朝向P集电区l〇a侧扩展时，在η型高浓度区域45与ρ集电区10a之间残留 有中性区域，所以能够抑制关断时的电压波形和电流波形的振动。
[0137] 另外，η型高浓度区域45以夹着rT漂移区la，且与ρ集电区10a的ρ基区42侧 的面的至少一部分对置的方式设置。由此，从集电结朝向P基区42扩展的耗尽层的延伸变 短，因此能够调整反向耐压使其降低以接近预定的耐压（额定电压）。因此，与不设置η型 高浓度区域的以往的反向阻断IGBT相比，能够缩短耐压结构区域的长度（从活性区域220 朝向基板外周的方向的宽度）。
[0138] 优选地，η型高浓度区域45优选以夹着ιΓ漂移区la，且与p集电区10a的p基区 42侧的整个面对置的方式设置。即，η型高浓度区域45优选以施加反向电压时，从与p集 电区10a和分离区域31a与ιΓ漂移区la之间的ρη结（集电结）朝向ρ基区42侧扩展的 耗尽层对置的方式设置。其理由是施加反向电压时耗尽层从集电结朝向Ρ基区42进行了 扩展时，能够使半导体基板内的电场强度均匀。η型高浓度区域45可以与分离区域31a接 触。
[0139] 另外，η型高浓度区域45具有在施加反向电压时耗尽层从集电结朝向ρ基区42扩 展时，η型高浓度区域45完全耗尽的杂质浓度。具体而言，η型高浓度区域45的总杂质量 (总注入剂量）N Dx利用基于一元泊松方程式的下述（1)式而用下述（2)式表示。

【权利要求】
1. 一种半导体装置，其特征在于，具备： 漂移区，由第一导电型的半导体基板构成； 第二导电型的基区，选择性地设置于所述半导体基板的一个主面的表面层； 第一导电型的发射区，选择性地设置于所述基区的内部； 沟道，从所述半导体基板的一个主面贯通所述发射区和所述基区而到达所述漂移区； 绝缘膜，沿所述沟道的内壁设置； 栅电极，隔着所述绝缘膜埋设于所述沟道的内部； 发射电极，与所述发射区和所述基区接触； 第一导电型的壳区，设置于所述漂移区的内部，且与所述基区的所述漂移区侧接触；和 第二导电型的集电区，设置于所述半导体基板的另一个主面的表面层， 所述壳区具有比所述漂移区高的杂质浓度， 所述壳区中的第一导电型的杂质的有效注入剂量为5.0X1012cnT2以下， 所述漂移区具有施加以所述发射电极为正极的反向的额定电压时使得从所述集电区 扩展的耗尽层不能到达所述壳区和所述沟道的底部中的离所述集电区较近的一方的电阻 率。
2. 根据权利要求1所述的半导体装置，其特征在于，所述壳区中的第一导电型的杂质 的有效注入剂量为4. OX 1012cm_2以下。
3. 根据权利要求1所述的半导体装置，其特征在于，在所述漂移区与所述集电区之间， 设置用于减少漏电流的具有比所述漂移区高的杂质浓度的第一导电型的区域。
4. 根据权利要求1所述的半导体装置，其特征在于，在所述漂移区的外周端部，进一步 具备从所述半导体基板的一个主面到达所述集电区的第二导电型的分离区域。
5. 根据权利要求1所述的半导体装置，其特征在于，所述漂移区具有施加以所述发射 电极为正极的反向的额定电压时，使得从所述集电区朝向所述基区扩展的耗尽层不能到达 所述基区和所述沟道的底部中的离所述集电区较近的一方的电阻率。
6. -种半导体装置，其特征在于，具备： 漂移区，由第一导电型的半导体基板构成； 第二导电型的第一基区，选择性地设置于所述半导体基板的一个主面的表面层； 第一导电型的第一发射区，选择性地设置于所述第一基区的内部； 第一沟道，从所述半导体基板的一个主面贯通所述第一发射区和所述第一基区而到达 所述漂移区； 第一绝缘膜，沿所述第一沟道的内壁设置； 第一栅电极，隔着所述第一绝缘膜埋设于所述第一沟道的内部； 发射电极，与所述第一发射区和所述第一基区接触； 第一导电型的第一壳区，设置于所述漂移区的内部，且与所述第一基区的所述漂移区 侧接触； 第二导电型的第二基区，选择性地设置于所述半导体基板的另一个主面的表面层； 第一导电型的第二发射区，选择性地设置于所述第二基区的内部； 第二沟道，从所述半导体基板的另一个主面贯通所述第二发射区和所述第二基区而到 达所述漂移区； 第二绝缘膜，沿所述第二沟道的内壁设置； 第二栅电极，隔着所述第二绝缘膜埋设于所述第二沟道的内部； 背面电极，与所述第二发射区和所述第二基区接触；和 第一导电型的第二壳区，设置于所述漂移区的内部，且与所述第二基区的所述漂移区 侧接触， 所述第一壳区和所述第二壳区具有比所述漂移区高的杂质浓度， 所述第一壳区和所述第二壳区中的第一导电型的杂质的有效注入剂量为 5. Ο X 1012cm 2 以下， 所述漂移区具有施加以所述发射电极为正极的反向的额定电压时使得从所述第二基 区扩展的耗尽层不能到达所述第一壳区和所述第一沟道的底部中的离所述第二壳区较近 的一方的电阻率。
7. 根据权利要求6所述的半导体装置，其特征在于，所述第二壳区中的第一导电型的 杂质的有效注入剂量为4. OX 1012cnT2以下。
8. 根据权利要求6所述的半导体装置，其特征在于，所述漂移区具有施加以所述发射 电极为正极的反向的额定电压时，使得从所述第二基区朝向所述第一基区扩展的耗尽层不 能到达所述第一基区和所述第一沟道的底部中的离所述第二壳区较近的一方的电阻率。
9. 一种半导体装置，其特征在于，具备： 第一半导体区域，由第一导电型的半导体基板构成； 第二导电型的第二半导体区域，选择性地设置于所述半导体基板的一个主面的表面 层； 第一导电型的第三半导体区域，选择性地设置于所述第二半导体区域的内部，且杂质 浓度比所述第一半导体区域高； 第一电极，隔着绝缘膜设置在所述第二半导体区域的被所述第三半导体区域和所述第 一半导体区域夹着的部分的表面上； 第二电极，与所述第三半导体区域和所述第二半导体区域接触； 第二导电型的第四半导体区域，设置于所述半导体基板的另一个主面的表面层； 第三电极，与所述第四半导体区域接触； 第一导电型的第五半导体区域，设置于所述第一半导体区域的内部的所述第四半导体 区域侧，且与所述第四半导体区域的所述第一半导体区域侧的至少一部分对置，杂质浓度 比所述第一半导体区域高；和 第二导电型的第六半导体区域，设置于所述半导体基板的外周部，从所述半导体基板 的一个主面贯通所述第一半导体区域而到达所述第四半导体区域， 所述第五半导体区域中的第一导电型的杂质的总注入剂量为2. OX 1012cnT2以下。
10. -种半导体装置，其特征在于，具备： 第一半导体区域，由第一导电型的半导体基板构成； 第二导电型的第二半导体区域，选择性地设置于所述半导体基板的一个主面的表面 层； 第一导电型的第三半导体区域，选择性地设置于所述第二半导体区域的内部，杂质浓 度比所述第一半导体区域高； 沟道，从所述半导体基板的一个主面贯通所述第三半导体区域和所述第二半导体区域 而到达所述第一半导体区域； 绝缘膜，沿所述沟道的内壁设置； 第一电极，隔着所述绝缘膜埋设于所述沟道的内部； 第二电极，与所述第三半导体区域和所述第二半导体区域接触； 第二导电型的第四半导体区域，设置于所述半导体基板的另一个主面的表面层； 第三电极，与所述第四半导体区域接触； 第一导电型的第五半导体区域，设置于所述第一半导体区域的内部的所述第四半导体 区域侧，且与所述第四半导体区域的所述第一半导体区域侧的至少一部分对置，杂质浓度 比所述第一半导体区域高；和 第二导电型的第六半导体区域，设置于所述半导体基板的外周部，从所述半导体基板 的一个主面贯通所述第一半导体区域而到达所述第四半导体区域， 所述第五半导体区域中的第一导电型的杂质的总注入剂量为2. OX 1012cnT2以下。
11. 根据权利要求9或10所述的半导体装置，其特征在于，所述第五半导体区域与所述 第四半导体区域的所述第一半导体区域侧的整个面对置。
12. 根据权利要求9或10所述的半导体装置，其特征在于，还具备： 活性区域，具有所述第二半导体区域、所述第三半导体区域、所述第四半导体区域、所 述第一电极、所述第二电极以及所述第三电极； 耐压结构区域，具有在所述半导体基板的一个主面的表面层以包围所述活性区域的方 式设置的多个第二导电型的第七半导体区域。
13. 根据权利要求9或10所述的半导体装置，其特征在于，所述第一半导体区域具有施 加以所述第二电极为正极的反向的额定电压时使得从所述第二半导体区域朝向所述第五 半导体区域扩展的耗尽层不能到达所述第五半导体区域的电阻率。
【文档编号】H01L29/78GK104145342SQ201380008904
【公开日】2014年11月12日 申请日期:2013年2月13日 优先权日:2012年3月16日
【发明者】吉川功 申请人:富士电机株式会社