一种金属银网格埋栅透明导电电极的制备方法
【专利摘要】本发明公开了一种金属银网格埋栅透明导电电极的制备方法，包括以下步骤：（1）在衬底表面制备排列整齐的划痕沟槽；（2）配制银纳米颗粒溶液，并将其置于衬底表面的划痕沟槽中，干燥后制得电极样品；（3）加热电极样品，使划痕沟槽中的银纳米颗粒相互熔合形成相互连接的金属银网络结构，制成金属银网格埋栅透明导电电极。该方法制成的金属银网格埋栅透明导电电极具有优异的载流子收集效率和较高的透光性，且能提高太阳能电池前电极的导电性，降低反射率，潜在提高电池效率和降低制作成本，且机械和环境稳定性好，适合大面积低成本制备。
【专利说明】—种金属银网格埋栅透明导电电极的制备方法
【技术领域】
[0001]本发明属于透明电极【技术领域】，具体涉及一种金属银网格埋栅透明导电电极的制备方法。
【背景技术】
[0002]太阳能是一种取之不尽、用之不竭的清洁能源。随着煤炭、石油等不可再生能源的日益枯竭，研究、开发、利用太阳能电池无疑是当前的热点。提高太阳能电池的光电转化效率，降低制备成本是太阳能电池研究和发展的方向。透明导电前电极是太阳能电池中重要的组成部件之一，直接影响电池器件的填充因子和短路电流，进而影响电池的光电转化效率。一般来说，透明导电电极是指对入射光波长范围在380 nm到780 nm之间的光谱的透射率大于80%、且电阻率低于10_3 Ω.cm的薄膜电极。1907年Badeker首次报道半透明导电CdO材料,直到第二次世界大战,透明导电薄膜(Transparent conductive film,TCF)材料才得到足够的重视和应用。现在，TCF材料(例如ITO (Indium tin oxide)),TFO(fluorine-doped tin oxide))已经广泛地应用在平板显示,节能玻璃和太阳能电池中。从物理角度看，物质的透光性和导电性是一对基本矛盾。一种材料要具备良好的导电性，必须同时有较高的载流子浓度和较高的载流子迁移率，然而较高浓度的载流子会吸收光子而提高材料对光的吸收率而降低其透射率。从CdO到ΙΤ0，以及AZO (Al-doped ZnO);从金属薄膜到聚合物薄膜；从单一组分到多元材料；对透明导电薄膜的研究一直围绕这一矛盾展开。金属氧化物，特别是ΙΤ0，在可见光区具有较高的光透过率和较低的电阻率，在过去50年来一直是透明导电电极研究和应用的热点。然而金属氧化物用作太阳能电池电极本身导电性有限，且质脆易碎，不易变形等缺陷，同时原料资源日益稀缺，价格昂贵。传统电极的组成材料和制备工艺，例如晶体硅太阳能电池中的大尺寸银浆栅线电极，其昂贵的丝网印刷、高温退火工艺；薄膜太阳能电池中的金属氧化物(例如ΙΤ0)电极与真空镀膜工艺等，在一定程度上，提高了电池的成本，而且某些苛刻的工艺条件对电池的光电转化效率和其它性能造成了一定的影响。因此，太阳能电池透明导电电极的新材料、新结构以及新工艺的研究，是高效率低成本太阳能电池的重要研究方向。
[0003]近年来随着微纳米技术的发展，透明导电电极开拓的一个新领域是二维微纳米新材料与结构薄膜电极，例如高聚物导电薄膜，碳纳米管膜，石墨烯膜以及纳米金属线膜。石墨烯薄膜本身特殊的形貌而具有很好的柔性，同时也具有很好的载流子迁移率，但量产技术尚未成熟；碳纳米管薄膜需要较大长径比，且碳管的均匀分散和碳管之间的欧姆电阻问题限制了薄膜的面内导电性。透明导电薄膜除了优良的导电性，还需要优良的光透射率，光电导率之比(σ DC/ ο opt, σ DC决定电极面电阻，σ opt决定薄膜光透过率)很好的描述透明导电薄膜的光电性能。研究表明:一般碳纳米管光电导率之比为6-14，石墨烯为?70，ITO为120-200，而纳米金属银线电极具有215，由此可以看出纳米银线具有出色的导电性和光透射率。由于银是电良导体，导电性好，因而微纳米银线用作电极材料可以降低能耗(相对于氧化物薄膜电极)。同时微纳米银线的粒径小于可见光入射波长时，金属微纳米结构的等离子效应增强光透射率，使电极具有很好的光电性能，有利于提高电池器件的效率。同时微纳米银线电极适合柔性、大面积低成本生产。因而微纳米银线电极将成为现在ITO透明导电电极的有利替代者。
[0004]正是由于具有上述优点和良好的应用前景，微纳米银线电极近年来受到国内外广泛的关注。微纳米银线用作电极主要包括两种方式，一是液相法大面积制备随机纳米银线薄膜电极，该方式的重要问题在于调控纳米银线薄膜电极的结构，实现纳米银线电极的光学透射率和导电性的协同提高难以实现。二是有序的网格电极，即在衬底表面通过丝网印刷、电子束、聚焦离子束刻蚀等技术获得规则宏观或微纳米尺度栅线。在传统晶体硅太阳能电池中，银浆栅线电极被大量使用。通过丝网印刷和后续的高温Γ 800°C)退火得到银浆栅线电极。但这种大尺寸栅线电极对电池前表面造成了明显的阴影效应，增加了前表面对入射光的反射率(为表面总反射率的?15%);而且这些栅线间距很大，为了获得较好的导电性，电池表面发射极都采用了 η++重掺杂，而造成表面发射极载流子复合概率明显增加，降低电池的短波吸收率，从而降低整个发射极的性能和电池的效率。单晶硅太阳能电池的理论效率上限值达?33%，而现有产业化电池平均效率约为16?20%,传统栅线电极及其现有工艺是其效率差别来源之一。另外，其昂贵的制备方法(丝网印刷、离子束和电子束刻蚀等)也大幅地提高了电池成本。因此，如何低成本地制备具有优异光电特性，良好的面内和接触电阻，及其良好附着力和机械环境稳定性等优异特征的微纳米尺度栅线电极成为光伏应用领域的关键问题。同时网格透明导电电极也是触摸屏，显示等器件的关键部件，决定这些器件的性能。所以低成本制备微纳米级金属栅线透明电极对光伏，触摸屏显示等行业的有着重要的意义。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于提供一种金属银网格埋栅透明导电电极的制备方法，该方法制成的金属银网格埋栅透明导电电极能提高太阳能电池前电极的导电性，降低反射率，潜在提高电池效率和降低制作成本，且机械和环境稳定性好，适合大面积低成本制备。
[0006]本发明的上述目的是通过如下技术方案来实现的:一种金属银网格埋栅透明导电电极的方法，包括以下步骤:
(1)在衬底表面制备排列整齐的划痕沟槽；
(2)配制银纳米颗粒溶液，并将其置于衬底表面的划痕沟槽中，干燥后制得电极样品；
(3)加热电极样品，使划痕沟槽中的银纳米颗粒相互熔合形成相互连接的金属银网络结构，制成金属银网格埋栅透明导电电极。
[0007]本发明步骤(I)中所述衬底优选为PET (聚对苯二甲酸乙二酯)透明材料衬底或PMMA (聚甲基丙烯酸甲酯)透明材料衬底等。
[0008]本发明步骤(I)中所述划痕沟槽优选通过下述方法制备获得:在衬底上用整齐堆叠在一起的刀片组在衬底表面划出排列整齐的划痕沟槽，获得刀刃划痕衬底。
[0009]本发明所述的刀片可以为刮胡刀片或美工刀片等。
[0010]本发明步骤(I)中所述刀片组片数优选为2(Γ100片，下压力优选为2(Γ300Ν。
[0011]本发明步骤(2)中所述银纳米颗粒溶液制备过程为:
Al:取乙二醇，加热至12(Tl80°C (优选为160。。)，保持5?13分钟(优选为10分钟)，得乙二醇溶液；
A2:将硝酸银溶液和表面活性剂聚乙烯吡咯烷酮溶液加入到步骤(Al)中的乙二醇溶液中，高速搅拌8?12分钟(优选为10分钟)，待溶液颜色变成土黄色后停止加热，得混合液；A3:待步骤(A2)中的混合液冷却后，加入乙醇或甲醇稀释，洗涤，离心，除去上清液；A4:重复步骤(A3)，取下层沉淀物，并用甲醇稀释，超声形成均匀的纳米银甲醇胶体悬浮液，即银纳米颗粒溶液。
[0012]本发明步骤(A2)中所述的硝酸银溶液和表面活性剂聚乙烯吡咯烷酮溶液的摩尔浓度比优选为1: 4.5?10。
[0013]本发明步骤(A3)中乙醇或甲醇的体积优选为混合液体积的5?10倍。
[0014]本发明步骤(A4)中甲醇的体积优选与下层沉淀物的体积相同。
[0015]本发明步骤(A3)中离心时优选采用高速离心机，转速优选为5000转/每分钟。
[0016]本发明步骤(A4)中重复步骤(A3)优选为两遍。
[0017]本发明步骤(A4)中制备的银纳米颗粒溶液的浓度优选为0.51?1.02 mg/cm2，所述的银纳米颗粒的形状为球形状、棒状、立方体形状或四面体形状，所述的银纳米颗粒溶液中银纳米颗粒的直径或边长是1飞00纳米。
[0018]本发明步骤(2)中所述的干燥优选为在室温下静置晾干I飞分钟。
[0019]作为本发明的优选的实施方式，本发明步骤(2)中可以通过用手指或刮棒刮擦衬底表面，使银纳米颗粒掉落在划痕沟槽中。
[0020]本发明步骤(3)中优选采用微波辐射或加热台加热，其中微波辐射加热时，微波辐射的功率为1(Γ300 W，微波温度为8(T200°C，微波时间为0.Γ100分钟，用加热台加热时，加热台加热温度为8(T200°C，加热时间为3(Γ120分钟。
[0021]本发明步骤(3)中的电极样品在微波烧结过程中，纳米银颗粒表面的表面活性剂聚乙烯吡咯烷酮层被除去，纳米银颗粒熔合而形成相互连接的金属银纳米线/棒网络。
[0022]本发明的原理是:在衬底表面制备出排列整齐的划痕沟槽，制作刀刃划痕衬底；将事先制备的银纳米颗粒溶液滴涂在衬底表面，静置晾干；刮擦衬底表面，使银纳米颗粒掉落在沟槽内；再将样品经微波辐射或加热台加热的方式高温退火，控制退火温度，使银颗粒表面轻度熔融并再结晶，形成较为良好的欧姆接触，形成金属银网格埋栅透明导电电极。
[0023]本发明具有如下优点:
(1)本发明电极网格栅线的图案和尺寸灵活可变，通过划痕时下压力，刀片数目的变化，可形成不同深度，不同图案的栅线电极；
(2)本发明容易调节银栅线结构，实现电极良好的光透射率和导电性；
(3)本发明避免多次薄膜沉积工艺，取而代之低廉的液相法；
(4)本发明提出的金属网格透明导电电极是传统丝网印刷制备的昂贵大尺寸银浆栅线电极的可能替代者，能够提高太阳能电池的转换效率和降低电池的生产成本；
(5)本发明金属网格埋栅透明导电电极工艺简单，流程少，造价低廉，产率较高，易于产业化，同时制成的电极具有优异的载流子收集效率和较高的透光性，能预期提高载流子收集效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0024]图1是实施例1-3中金属银网格埋栅透明导电电极的制备流程图，其中(I)表示制作刀刃划痕衬底:1表示刀片组，2表示PET衬底，(2)表示经过刀刃划刻之后的PET衬底或PMMA衬底等透明材料衬底，3表示在衬底表面划出排列整齐的划痕沟槽，(3)表示在划痕衬底表面滴涂银纳米颗粒溶液，静置晾干，并用手指或刮棒刮擦衬底表面，使银纳米颗粒掉落在沟槽内；(4)表示沟槽内填充银纳米颗粒的衬底，4表示沟槽内填充的银纳米颗粒；
(5)表示烧结电极样品；(6)表示用微波辐射或加热台加热之后的电极样品，5表示银纳米颗粒相互熔合形成相互连接的金属网络结构，形成透明埋栅电极。
[0025]图2是本发明实施例1中经步骤(I)刀片划刻后衬底表面划出的排列整齐的划痕沟槽的SEM图(放大2500倍)；
图3是本发明实施例1中经步骤(3)用手指或刮棒刮擦衬底表面后，银纳米颗粒掉落在沟槽内的电极样品SEM图(放大550倍)；
图4是本发明实施例1中经步骤(4)烧结电极样品后银纳米颗粒相互熔合形成相互连接的金属银网络结构，形成金属银埋栅透明导电电极的SEM图(放大2000倍)；
图5是本发明实施例1-3中经步骤(4)退火后完成的金属银网格埋栅透明导电电极样品1，2，3的透射率。
【具体实施方式】
[0026]实施例1
本实施例提供的金属银网格透明导电电极的制备方法，如图1所示，其中(I)表示制作刀刃划痕衬底:1表示刀片组，2表示PET衬底，(2)表示经过刀刃划刻之后的PET衬底，3表示PET衬底表面划出排列整齐的划痕沟槽，(3)表示在划痕衬底表面滴涂银纳米颗粒溶液，静置晾干，并用手指或刮棒刮擦衬底表面，使银纳米颗粒掉落在沟槽内；(4)表示沟槽内填充银纳米颗粒的PET衬底，4表示沟槽内填充的银纳米颗粒；(5)表示烧结电极样品；(6)表示用微波辐射加热之后的电极样品，5表示使银纳米颗粒相互熔合形成相互连接的金属银网络结构，形成金属银透明埋栅电极。其包括四个主要步骤:一是制作刀刃划痕衬底，二是滴涂银纳米颗粒溶液，三是刮擦衬底表面，四是烧结电极样品，获得金属银网格透明导电电极样品。
[0027]各步骤的详细过程如下:
(一)制作刀刃划痕衬底
在PET衬底上用整齐堆叠在一起的刀片组在衬底表面划出排列整齐的划痕沟槽，所用刀片优选为剑鱼牌刮胡刀片，50片刀片为一组，下压力为约200N，划痕沟槽放大2500倍的SEM图如图2所示。
[0028](二)滴涂银纳米颗粒溶液
将事先制备的银纳米颗粒溶液滴涂在衬底表面，静置晾干20 min。
[0029]这里详述银纳米颗粒溶液制备过程为:将一定体积的乙二醇溶剂加热到160°C，保持10分钟；将硝酸银溶液和表面活性剂聚乙烯吡咯烷酮溶液(硝酸银溶液和表面活性剂聚乙烯吡咯烷酮溶液的摩尔浓度为1: 4.5至1: 10)同时匀速加入到上述160°C的乙二醇溶剂中，高速搅拌10分钟，待溶液颜色变成土黄色后停止加热，得混合液；待混合溶液冷却后，取一定量的混合溶液用5-10倍的乙醇或者甲醇稀释，洗涤，并用5000转/每分钟高速离心，离心完以后，去掉上面清液；重复上一步骤两遍，最后用甲醇按照1:1体积比例稀释，超声形成均匀的纳米银甲醇胶体悬浮液，即银纳米颗粒溶液。制备的银纳米颗粒溶液的浓度为0.51?1.02 mg/cm2。银纳米颗粒溶液中银纳米颗粒的形状为球形状、棒状、立方体形状或四面体形状，银纳米颗粒的直径或边长在f500纳米范围之间。
[0030](三)刮擦衬底表面
用手指刮擦衬底表面，使银纳米颗粒掉落在沟槽内，经过步骤(3)的样品放大550倍的SEM图如图3所示。
[0031](四)烧结电极样品，获得金属银网格透明导电电极
用微波辐射加热电极样品使银纳米颗粒相互熔合形成相互连接的金属银网络结构，形成金属银网格透明导电电极。微波辐射加热时，微波辐射的功率为200 W，微波温度为180°C，微波时间为80分钟。
[0032]退火后完成的金属银网格透明导电电极放大2000倍的SEM图如图4所示，退火后完成的金属银网格透明导电电极样品I的透射率如图5所示。
[0033]与传统丝网印刷制备银大尺寸栅线电极相比，本实施例中的金属银网格透明导电电极工艺简单，流程少，造价低廉，产率较高，易于产业化。同时电极导电性好，透射率较高，并能预期提高载流子收集效率。如图5所示，本发明制备的金属银网格透明导电电极具有较高的透射率，尤其是在可见光波段本实施例的金属银网格透明导电电极样品透射率高于95%，并且制成的金属银网格透明导电电极样品I的方阻约为2.56Q/sq，具有优良的导电性倉泛。
[0034]实施例2
本实施例提供的金属银网格透明导电电极的制备方法，如图1所示，其中(I)表示制作刀刃划痕衬底:1表示刀片组，2表示PMMA衬底，(2)表示经过刀刃划刻之后的PMMA衬底，3表示PMMA衬底表面划出排列整齐的划痕沟槽，(3)表示在划痕衬底表面滴涂银纳米颗粒溶液，静置晾干，并用手指或刮棒刮擦衬底表面，使银纳米颗粒掉落在沟槽内；(4)表示沟槽内填充银纳米颗粒的PMMA衬底，4表示沟槽内填充的银纳米颗粒；(5)表示烧结电极样品；
(6)表示用微波辐射加热之后的电极样品，5表示使银纳米颗粒相互熔合形成相互连接的金属银网络结构，形成金属银透明埋栅电极。其包括四个主要步骤:一是制作刀刃划痕衬底，二是滴涂银纳米颗粒溶液，三是刮擦衬底表面，四是烧结电极样品，获得金属银网格透明导电电极样品。
[0035]各步骤的详细过程如下:
(一)制作刀刃划痕衬底
在PMMA衬底上用整齐堆叠在一起的刀片组在衬底表面划出排列整齐的划痕沟槽，所用刀片优选为剑鱼牌刮胡刀片，100片刀片为一组，下压力为约300N。
[0036]( 二 )滴涂银纳米颗粒溶液
将事先制备的银纳米颗粒溶液滴涂在衬底表面，静置晾干20 min。
[0037]银纳米颗粒溶液制备过程同实施例1。
[0038](三)刮擦衬底表面
用手指刮擦衬底表面，使银纳米颗粒掉落在沟槽内。
[0039](四)烧结电极样品，获得金属银网格透明导电电极用微波辐射加热电极样品使银纳米颗粒相互熔合形成相互连接的金属银网络结构，形成金属银网格透明导电电极。微波福射加热时，微波福射的功率为250 W,微波温度为160°C，微波时间为100分钟。退火后完成的金属银网格透明导电电极样品2的透射率如图5所示。
[0040]与传统丝网印刷制备银大尺寸栅线电极相比，本实施例中的金属银网格透明导电电极工艺简单，流程少，造价低廉，产率较高，易于产业化。同时电极导电性好，透射率较高，并能预期提高载流子收集效率。如图5所示，本发明制备的金属银网格透明导电电极具有较高的透射率，尤其是在可见光波段本实施例的金属银网格透明导电电极样品透射率高于95%，并且制成的金属银网格透明导电电极样品2的方阻约为2.58Q/sq，具有优良的导电性倉泛。
[0041]实施例3
本实施例提供的金属银网格透明导电电极的制备方法，如图1所示，其中(I)表示制作刀刃划痕衬底:1表示刀片组，2表示PET衬底，(2)表示经过刀刃划刻之后的PET衬底，3表示PET衬底表面划出排列整齐的划痕沟槽，(3)表示在划痕衬底表面滴涂银纳米颗粒溶液，静置晾干，并用手指或刮棒刮擦衬底表面，使银纳米颗粒掉落在沟槽内；(4)表示沟槽内填充银纳米颗粒的PET衬底，4表示沟槽内填充的银纳米颗粒；(5)表示烧结电极样品；(6)表示用加热台加热之后的电极样品，5表示使银纳米颗粒相互熔合形成相互连接的金属银网络结构，形成金属银透明埋栅电极。其包括四个主要步骤:一是制作刀刃划痕衬底，二是滴涂银纳米颗粒溶液，三是刮擦衬底表面，四是烧结电极样品，获得金属银网格透明导电电极样品。
[0042]各步骤的详细过程如下:
(一)制作刀刃划痕衬底
在PET衬底上用整齐堆叠在一起的刀片组在衬底表面划出排列整齐的划痕沟槽，所用刀片优选为剑鱼牌刮胡刀片，80片刀片为一组，下压力为约250N。
[0043](二)滴涂银纳米颗粒溶液
将事先制备的银纳米颗粒溶液滴涂在衬底表面，静置晾干20 min。
[0044]银纳米颗粒溶液制备过程同实施例1。
[0045](三)刮擦衬底表面
用刮棒刮擦衬底表面，使银纳米颗粒掉落在沟槽内。
[0046](四)烧结电极样品，获得金属银网格透明导电电极
用加热台加热电极样品使银纳米颗粒相互熔合形成相互连接的金属银网络结构，形成金属银网格透明导电电极。加热台加热时，温度为180°C，加热时间为120分钟，退火后完成的金属银网格透明导电电极样品3的透射率如图5所示。
[0047]与传统丝网印刷制备银大尺寸栅线电极相比，本实施例中的金属银网格透明导电电极工艺简单，流程少，造价低廉，产率较高，易于产业化。同时电极导电性好，透射率较高，并能预期提高载流子收集效率。如图5所示，本发明制备的金属银网格透明导电电极具有较高的透射率，尤其是在可见光波段本实施例的金属银网格透明导电电极样品透射率高于95%，并且制成的金属银网格透明导电电极样品3的方阻约为1.44Q/sq，具有优良的导电性倉泛。
[0048]
上述实施例为本发明较佳的实施方式，但本发明的实施方式并不受上述实施例的限制，例如选用不同材料的衬底，划痕沟槽的制作方式采用激光等，或者使用其他金属的纳米颗粒溶液，又或者采用不同的刮擦方法或退火方式等，其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种金属银网格埋栅透明导电电极的制备方法，其特征是包括以下步骤: (1)在衬底表面制备排列整齐的划痕沟槽； (2)配制银纳米颗粒溶液，并将其置于衬底表面的划痕沟槽中，干燥后制得电极样品； (3)加热电极样品，使划痕沟槽中的银纳米颗粒相互熔合形成相互连接的金属银网络结构，制成金属银网格埋栅透明导电电极。
2.根据权利要求1所述的金属银网格埋栅透明导电电极的制备方法，其特征是:步骤(O中所述衬底为PET透明材料衬底或PMMA透明材料衬底。
3.根据权利要求1所述的金属银网格埋栅透明导电电极的制备方法，其特征是:步骤(O中所述的划痕沟槽通过以下方法制备获得:采用整齐堆叠在一起的刀片组在衬底表面划出排列整齐的划痕沟槽。
4.根据权利要求3所述的金属银网格埋栅透明导电电极的制备方法，其特征是:所述的刀片组的片数为2(Γ100片，下压力为2(Γ300Ν。
5.根据权利要求1所述的金属银网格埋栅透明导电电极的制备方法，其特征是:步骤(2)中所述的银纳米颗粒溶液的制备过程为: Al:取乙二醇，加热至12(Tl80°C，保持5?13分钟，得乙二醇溶液； A2:将硝酸银溶液和表面活性剂聚乙烯吡咯烷酮溶液加入到步骤(Al)中的乙二醇溶液中，高速搅拌8?12分钟，待溶液颜色变成土黄色后停止加热，得混合液； A3:待步骤(A2)中的混合液冷却后，加入乙醇或甲醇稀释，洗涤，离心，除去上清液； A4:重复步骤(A3)，取下层沉淀物，并用甲醇稀释，超声形成均匀的纳米银甲醇胶体悬浮液，即银纳米颗粒溶液。
6.根据权利要求5所述的金属银网格埋栅透明导电电极的制备方法，其特征是:步骤(A2)中所述的硝酸银溶液和表面活性剂聚乙烯吡咯烷酮溶液的摩尔浓度比为1: 4.5?10。
7.根据权利要求5所述的金属银网格埋栅透明导电电极的制备方法，其特征是:步骤(A3)中乙醇或甲醇的体积为混合液体积的5?10倍；步骤(A4)中甲醇的体积与下层沉淀物的体积相同。
8.根据权利要求5所述的金属银网格埋栅透明导电电极的制备方法，其特征是:步骤(A4)中制备的银纳米颗粒溶液的浓度为0.51?1.02 mg/cm2，所述的银纳米颗粒的形状为球形状、棒状、立方体形状或四面体形状，所述的银纳米颗粒溶液中银纳米颗粒的直径或边长是1飞00纳米。
9.根据权利要求1所述的金属银网格埋栅透明导电电极的制备方法，其特征是:步骤(2)中所述的干燥为在室温下静置晾干f 5分钟。
10.根据权利要求1所述的金属银网格埋栅透明导电电极的制备方法，其特征是:步骤(3)中采用微波辐射或加热台加热，其中微波辐射加热时，微波辐射的功率为1(Γ300W，微波温度为8(T200°C，微波时间为0.f 100分钟，用加热台加热时，加热台加热温度为8(T200°C，加热时间为30?120分钟。
【文档编号】H01L31/18GK104409567SQ201410631427
【公开日】2015年3月11日 申请日期:2014年11月12日 优先权日:2014年11月12日
【发明者】高进伟, 黄苑林, 韩兵, 陈晓鹏 申请人:华南师范大学