夹持式桂片涂布旋转的制造方法
【专利摘要】一种夹持式硅片涂布旋转机，包括马达、转轴、转盘、夹板、推板、推板弹簧、拉绳、踏板和马达开关，所述马达的输出轴与所述转轴的底端连接，所述转盘设置在转轴顶端，所述转盘、推板和推板弹簧自上而下依次套置在所述转轴上；所述夹板有三个，等间距的通过销轴可转动的设置在所述转盘边缘，在夹板的上端设置有凸台；所述推板上的边缘设置有与所述夹板对应的凹槽；所述拉绳有两根，对称设置在推板底部两侧，拉绳的下端固定在踏板上。本实用新型保证了硅片与转轴同心，不会发生偏心现象；推板通过拉绳控制，踏板放在地面用脚踩踏，操作方便；夹板上设置有阶梯状凸台，可以加持不同直径的硅片，实用性强。
【专利说明】夹持式硅片涂布旋转机
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种硅片涂布设备，具体的说是一种夹持式硅片涂布旋转机。
【背景技术】
[0002]硅片加工工艺中，在硅片放入高温扩散炉中扩散时需要在硅片表面涂金水，现在的涂布设备都是采用真空泵将硅片吸附在转盘上，然后用毛刷在硅片上涂布，由于转盘上没有卡位装置，硅片放在转盘上旋转时会偏心，不仅不方便涂布，而且会造成涂布不均。
实用新型内容
[0003]为了克服上述现有技术存在的缺点，本实用新型的目的在于提供一种操作方便，硅片不会偏心的夹持式硅片涂布旋转机。
[0004]为了解决上述问题，本实用新型采用以下技术方案:一种夹持式硅片涂布旋转机，包括马达、转轴和转盘，所述马达的输出轴与所述转轴的底端连接，所述转盘设置在转轴顶端，其特征在于，它还包括夹板、推板、推板弹簧、拉绳、踏板和马达开关，所述转盘、推板和推板弹簧自上而下依次套置在所述转轴上；所述夹板有三个，等间距的通过销轴可转动的设置在所述转盘边缘，在夹板的上端设置有凸台；所述推板上的边缘设置有与所述夹板对应的凹槽；所述拉绳有两根，对称设置在推板底部两侧，拉绳的下端固定在踏板上。
[0005]进一步的，所述踏板包括末端铰接在一起的上板和下板，在所述上板和下板之间设置一扭簧；所述拉绳分别固定在上板的前端两侧。
[0006]进一步的，在所述夹板的上端设置有阶梯状凸台。
[0007]本实用新型的有益效果是:它通过夹板与推板的配合将硅片夹住，使硅片与转轴同心，不会发生偏心现象；推板通过拉绳控制，踏板放在地面用脚踩踏，操作方便；夹板上设置有阶梯状凸台，可以加持不同直径的硅片，实用性强。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明:
[0009]图1为本实用新型的整体结构示意图；
[0010]图2为本实用新型的踏板结构示意图；
[0011]图3为本实用新型的推板俯视图。
[0012]图中，I夹板、11凸台、2推板、21凹槽、3推板弹簧、4拉绳、5踏板、51上板、52下板、53扭簧、6转轴、61圆环台、7转盘、8马达开关、9桌面。
【具体实施方式】
[0013]如图1至图3所示，本实用新型的具体实施例包括夹板1、推板2、推板弹簧3、拉绳
4、踏板5、转轴6、转盘7、马达和马达开关8。
[0014]所述马达的输出轴与所述转轴6的底端连接，马达位于桌面9的下方，马达开关8优选的设计成脚踏式开关。
[0015]所述转盘7、推板2和推板弹簧3自上而下依次套置在所述转轴6上，所述转盘7固定设置在转轴6顶端，推板2活动套置在转轴6上，在转轴6的底部设置有圆环台61，推板弹簧3套在转轴6上后，圆环台61将推板弹簧3挡住，然后套上推板2。
[0016]所述夹板I有三个，夹板I竖立设置，等间距的通过销轴可转动的设置在所述转盘7的边缘，本实施例中，转盘7设计成近似等边三角形，在每一个角上设置一个夹板I。在夹板I的上端设置有凸台，进一步的，为了可以加持不同直径的硅片，在所述夹板I的上端设置有阶梯状凸台11。所述推板2上的边缘设置有与所述夹板I对应的凹槽21，夹板I的下边缘落入对应的凹槽内。
[0017]所述拉绳4有两根，对称设置在推板2底部两侧，拉绳4的下端固定在踏板5上。所述踏板5包括末端铰接在一起的上板51和下板52,在所述上板51和下板52之间设置一扭簧53。所述拉绳4分别固定在上板51的前端两侧。
[0018]使用时，用脚踩踏上板51，带动拉绳4，拉绳4拉动推板2下移，夹板I在重力作用下，下端落下，这时将硅片放在夹板I的上端的凸台11上，松开脚后，在推板弹簧3的作用力下，推板2上移，推动夹板1，夹板I将硅片夹紧。
[0019]以上所述只是本实用新型的优选实施方式，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也被视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.一种夹持式硅片涂布旋转机，包括马达、转轴和转盘，所述马达的输出轴与所述转轴的底端连接，所述转盘设置在转轴顶端，其特征在于，它还包括夹板、推板、推板弹簧、拉绳、踏板和马达开关，所述转盘、推板和推板弹簧自上而下依次套置在所述转轴上；所述夹板有三个，等间距的通过销轴可转动的设置在所述转盘边缘，在夹板的上端设置有凸台；所述推板上的边缘设置有与所述夹板对应的凹槽；所述拉绳有两根，对称设置在推板底部两侧，拉绳的下端固定在踏板上。
2.根据权利要求1所述的夹持式硅片涂布旋转机，其特征在于，所述踏板包括末端铰接在一起的上板和下板，在所述上板和下板之间设置一扭簧；所述拉绳分别固定在上板的前端两侧。
3.根据权利要求1所述的夹持式硅片涂布旋转机，其特征在于，在所述夹板的上端设置有阶梯状凸台。
【文档编号】H01L21/67GK204029775SQ201420406699
【公开日】2014年12月17日 申请日期:2014年7月23日 优先权日:2014年7月23日
【发明者】马汝朝 申请人:济南晶博电子有限公司