一种用于led外延片的回收利用装置制造方法
【专利摘要】一种用于LED外延片的回收利用装置，包括支架，在支架上面的前端设置前辊，在支架的后端设置后辊，在前辊和后辊之间连接有输送带，前辊和后辊中至少有一个与旋转动力连接，支架上面依次布置有高温烤炉、清洗槽、IO水槽和低温烤炉，输送带上环面依次穿过高温烤炉、清洗槽、IO水槽和低温烤炉内腔，在所述高温烤炉和清洗槽之间以及IO水槽与低温烤炉之间分别设有一氮气枪，在后辊的下方设置固定在支架上的接片盒；该回收利用装置能够对损伤的外延片进行回收再利用，改善报废外延片的发光效率，降低成本，改善晶体质量，提高LED流明效率。
【专利说明】 —种用于LED外延片的回收利用装置
【技术领域】
[0001]本实用新型属于光电【技术领域】，具体地涉及一种用于LED外延片的回收利用装置。
【背景技术】
[0002]随着则LED应用领域的不断扩大，LED生产厂商在扩大量产和投入研发力度的同时，都会不同程度的积存大量LED芯片、外延片(也称为试验片)，如存在波长偏离、芯片亮度不高、高电压、漏电等缺陷的报废片，如何实现这些规格外的芯片、外延片回收再利用将成为各公司迫切需要解决的难题之一。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种用于LED外延片的回收利用装置，其可以对损伤的外延片进行回收再利用，并改善报废片的发光效率，降低成本。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是:一种用于LED外延片的回收利用装置，包括支架，在支架上面的前端设置前辊，在支架的后端设置后辊，在前辊和后辊之间连接有输送带，前辊和后辊中至少有一个与旋转动力连接，支架上面依次布置有高温烤炉、清洗槽、1水槽和低温烤炉，输送带上环面依次穿过高温烤炉、清洗槽、1水槽和低温烤炉内腔，在所述高温烤炉和清洗槽之间以及1水槽与低温烤炉之间分别设有一氮气枪，在后辊的下方设置固定在支架上的接片盒。
[0005]在清洗槽的前面设置有托住输送带的第一托辊，在清洗槽的内部设置压住输送带的第一压辊，在清洗槽的后面设置托住输送带的第二托辊，所述1水槽的内部设置有压住输送带的第二压辊，1水槽的后面设置托住输送带的第三托辊，所述第一压辊和第二压辊的位置平齐均低于第一托辊、第二托辊和第三托辊。
[0006]优选的，在支架上设置压在输送带下带面上的张紧压辊。
[0007]优选的，所述的1水槽其槽体的两侧设有至少两排进水口与出水口，所述进水口与出水口之间设有与流量阀相连接的管网循环泵。
[0008]本实用新型的有益效果是:本实用新型一种用于LED外延片的回收利用装置能够对损伤的外延片进行回收再利用，并改善报废片的发光效率，降低成本；利用化学腐蚀法对报废的外延片进行处理，清洗、烘干，避免了现有技术的机械打磨对外延片衬底造成的损伤，能够更好的将报废片回收利用，改善晶体质量，提高LED流明效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的结构示意图；图中:
[0010]1.支架，2.输动带，3.高温烤炉，4.第一托辊，5.氮气枪，6.清洗槽，7.第二托辊，8.1O水槽，9.第三托辊，10.低温烤炉，11.第四托辊，12.接片盒，13.后辊，14.第二压辊，15.循环泵，16.流量阀，17.张紧压辊，18.第一压辊，19.前辊。
【具体实施方式】
[0011]参照说明书附图对本实用新型作进一步详细的说明:
[0012]如图1所示，一种用于LED外延片的回收利用装置，包括支架1，在支架I上面的前端设置前辊19，所述支架I的后端设置后辊13，在前辊19和后辊13之间连接有输送带2，前辊19和后辊13中至少有一个与旋转动力连接，支架I上面依次布置有高温烤炉3、清洗槽6、1水槽8和低温烤炉10，输送带2的环面依次穿过高温烤炉3、清洗槽6、1水槽8和低温烤炉10内腔，在所述高温烤炉3和清洗槽6之间以及1水槽8与低温烤炉10之间分别设有一氮气枪5，所述后辊13的下方设置有固定在支架I上的接片盒12。
[0013]所述清洗槽6的前面设置有托住输送带2的第一托辊4，在清洗槽6的内部设置有压住输送带2的第一压辊18，在清洗槽6的后面设置托住输送带2的第二托辊7，所述1水槽8的内部设置有压住输送带2的第二压辊14，1水槽8的后面设置有托住输送带2的第三托辊9，所述第一压辊18和第二压辊14的位置平齐均低于第一托辊4、第二托辊7和第三托辊9，所述低温烤炉10的后面还设有第四托辊11。
[0014]所检这支架I上设置有压在输送带2下带面上的张紧压辊17。
[0015]所述的1水槽8其槽体的两侧设有至少两排进水口与出水口，上述进水口与出水口之间设有与流量阀16相连接的循环泵15。
[0016]本实用新型的外延片为研发LED外延片其报废的实验用片，需进行回收利用，首先将外延片放置输送带上输送至高温烤炉内，即把外延片上的芯片结构加热融化、分解；炉内温度为1400度，高温时间10小时即可，烤完后，使用氮气枪吹掉外延片上的表面残留物；然后进入清洗槽，所述清洗槽内盛装有氢氧化钠溶液，侵泡2个小时；之后转至1水槽内，涌动浸泡2个小时，用于清洗掉外延片的残留物质；继而使用氮气枪吹至外延片外表面无残留物质，最后转至低温烤炉内加热，温度为90度，持续时间约为2小时，并将外延片吹干，转至接片盒保存备用。
[0017]本实用新型所述用于LED外延片的回收利用装置，结构简单合理，能够对损伤的外延片进行回收再利用，并改善外延片的发光效率，降低成本；利用化学腐蚀法对报废的外延片进行处理，清洗、烘干，避免了现有技术的机械打磨对外延片衬底造成的损伤，能够更好地将报废的外延片回收利用，改善晶体质量，提高LED流明效率，节省了 LED外延片的研发成本。
[0018]除说明书所述技术特征外，均为本专业技术人员已知技术。
【权利要求】
1.一种用于LED外延片的回收利用装置，包括支架，在支架上面的前端设置前辊，在支架的后端设置后辊，在前辊和后辊之间连接有输送带，前辊和后辊中至少有一个与旋转动力连接，其特征在于:支架(1)上面依次布置有高温烤炉(3)、清洗槽(6) 10水槽(8)和低温烤炉(10)，输送带(2)上环面依次穿过高温烤炉(3)、清洗槽(6)、10水槽(8)和低温烤炉(10)内腔，在所述高温烤炉(3)和清洗槽(6)之间以及10水槽(8)与低温烤炉(10)之间分别设有一氮气枪(5)，在后辊(13)的下方设置固定在支架(1)上的接片盒(12)。
2.根据权利要求1所述的一种用于LED外延片的回收利用装置，其特征在于:在清洗槽(6)的前面设置有托住输送带(2)的第一托辊(4)，在清洗槽(6)的内部设置压住输送带(2)第一压辊(18)，在清洗槽(6)的后面设置托住输送带(2)的第二托辊(7)，所述10水槽(8 )的内部设置有压住输送带(2 )的第二压辊(14 )，10水槽(8 )的后面设置托住输送带(2 )第三托辊(9)，在所述低温烤炉(10)的后面还设有第四托辊(11)，所述第一压辊(18)和第二压辊(14)的位置平齐均低于第一托辊(4)、第二托辊(7)和第三托辊(9)。
3.根据权利要求1所述的一种用于LED外延片的回收利用装置，其特征在于:在支架(1)上设置压在输送带(2 )下带面上的张紧压辊(17)。
4.根据权利要求1所述的一种用于LED外延片的回收利用装置，其特征在于:所述的10水槽(8)其槽体的两侧设有至少两排进水口与出水口，上述进水口与出水口之间设有与流量阀(16 )相连接的循环泵(15)。
【文档编号】H01L33/00GK204257683SQ201420828820
【公开日】2015年4月8日 申请日期:2014年12月24日 优先权日:2014年12月24日
【发明者】邓顺达, 林溪汉, 陈浩中 申请人:冠铨（山东）光电科技有限公司