技术总结
在一些方面，本发明提供了形成金属硫化物薄膜的方法。根据一些方法，金属硫化物薄膜在循环过程中沉积在反应空间中的衬底上，其中至少一个循环包括使所述衬底交替地并连续地与第一气相金属反应物和第二气相硫反应物接触。在一些方面，本发明提供了在衬底表面上形成三维结构的方法。在一些实施方案中，所述方法包括在所述衬底表面上形成金属硫化物薄膜并且在所述金属硫化物薄膜上形成覆盖层。所述衬底表面可包括高迁移率沟道。
技术研发人员：S·P·郝卡;F·唐;M·E·吉文斯;J·W·梅斯;Q·谢
受保护的技术使用者：ASMIP控股有限公司
文档号码：201480075311
技术研发日：2014.11.19
技术公布日：2017.02.22