技术特征：
1.等离子体处理装置，其特征在于，包括反应箱、电极组件、高频电源和物料板，所述反应箱上设置有抽真空口和进气口，所述电极组件包括至少一组电极管，每组电极管沿所述反应箱的长度方向和所述反应箱的高度方向设置于所述反应箱内部，每组电极管分别与所述高频电源的正极、负极电连接，所述电极管内设置有绝缘层且所述电极管与冷却水源连通，所述物料板水平设置于每组电极管之间。2.根据权利要求1所述的等离子体处理装置，其特征在于，所述电极管包括一个折弯管或多个相连的折弯管。3.根据权利要求1或2所述的等离子体处理装置，其特征在于，沿所述反应箱长度方向、沿所述反应箱高度方向设置的电极管交错与所述高频电源的正极、负极电连接。4.根据权利要求3所述的等离子体处理装置，其特征在于，还设置有安装板，所述安装板沿反应箱的高度方向水平设置于所述反应箱内，所述电极组件设置于所述安装板上，所述物料板水平设置于每二个安装板之间。5.根据权利要求3所述的等离子体处理装置，其特征在于，所述电极组件穿设于所述反应箱的箱体壁上并与冷却水源和高频电源电连接，所述电极组件与所述冷却水源的连接处设置有绝缘密封件。