技术总结
本发明公开了一种等离子体处理装置，包括反应箱、电极组件和高频电源，反应箱上设置有抽真空口和进气口，电极组件包括至少一组电极管，每组电极管沿反应箱的长度方向和反应箱的高度方向设置于反应箱内部，每组电极管分别与高频电源的正极、负极电连接，电极管内设置有绝缘层且电极管与冷却水源连通。本发明电极管与冷却水源连通，直接对电极管降温，相较于现有技术，降温效果更佳，避免电极管升温对设备造成损坏，也避免反应箱内升温损坏产品。
技术研发人员：杨志军;
受保护的技术使用者：苏州爱特维电子科技有限公司;
文档号码：201510051111
技术研发日：2015.02.02
技术公布日：2016.10.05