阵列基板的制作方法以及通过该方法制得的阵列基板与流程

文档序号:12370176阅读:来源:国知局
技术总结
一种阵列基板的制作方法,该方法包括:提供薄膜晶体管,该薄膜晶体管包括通道层;形成覆盖所述薄膜晶体管的绝缘覆盖层;以及通过紫外光照射所述绝缘覆盖层并用一遮挡物遮蔽所述通道层,所述绝缘覆盖层未被所述遮挡物遮蔽的部分在所述紫外光的照射下由半透明变为透明。本发明还提供一种通过该方法制得的阵列基板。本发明所提供的阵列基板的制作方法以及通过该方法制得的阵列基板由于在漂白绝缘覆盖层时通道层被遮挡物遮挡,该通道层不会被破坏,从而能够得到更加稳定的阵列基板。

技术研发人员:高逸群;林欣桦;李志隆;方国龙;施博理
受保护的技术使用者:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
文档号码:201510261908
技术研发日:2015.05.21
技术公布日:2017.01.04

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