1.一种晶圆撕金去胶清洗装置，其特征在于：包括浸泡单元(1)、对中盒站单元(5)、去胶单元(3)、清洗单元(4)、机器人(2)和工作台(23)，机器人(2)设置于工作台(23)中部，所述浸泡单元(1)、对中盒站单元(5)、去胶单元(3)和清洗单元(4)均设置于所述工作台(23)上并环设于所述机器人(2)周围，其中浸泡单元(1)和对中盒站单元(5)设置于机器人(2)的前后两侧，机器人(2)的左右两侧均设有去胶单元(3)和清洗单元(4)，且设置于机器人(2)同一侧的去胶单元(3)和清洗单元(4)叠放设置，晶圆通过机器人(2)依次送至各个单元中；
所述去胶单元(3)包括去胶腔体(6)、去胶臂(7)、去胶夹持托盘(9)、密封门(10)和去胶臂移动机构，其中去胶夹持托盘(9)设置于所述去胶腔体(6)中，密封门(10)和去胶臂移动机构分别设置于所述去胶腔体(6)的两侧，去胶臂(7)安装在所述去胶臂移动机构上，所述去胶臂(7)伸入至去胶腔体(6)内，所述去胶臂(7)上装有高压去胶药液喷嘴和常压去胶药液喷嘴，在所述去胶腔体(6)内设有金属回收管路和去胶液回收管路，去胶腔体(6)外侧设有排风接口(8)。
2.根据权利要求1所述的晶圆撕金去胶清洗装置，其特征在于：所述去胶臂移动机构包括升降气缸(11)和摆动电缸(12)，其中升降气缸(11)安装在所述摆动电缸(12)上，去胶臂(7)安装在所述升降气缸(11)上。
3.根据权利要求1所述的晶圆撕金去胶清洗装置，其特征在于：所述清洗单元(4)包括清洗腔体(19)、清洗臂(13)、摆动电缸(14)、清洗夹持托盘(15)、清洗喷头(16)、氮气固定臂(17)、去离子水固定臂(18)、排风接口(8)和密封门(10)，晶圆由所述密封门(10)送入清洗腔体(19)中，所述清洗腔体(19)内设置有清洗夹持托盘(15)，在清洗腔体(19)远离密封门(10)的一侧设有摆动电缸(14)，清洗臂(13)安装在所述摆动电缸(14)上，所述清洗臂(13)伸入至清洗腔体(19)中，在所述清洗臂(13)上设有异丙醇喷嘴、去离子水喷嘴和氮气喷嘴，在所述清洗腔体(19)内设有清洗喷头(16)、氮气固定臂(17)和去离子水固定臂(18)，在清洗腔体(19)外侧设有排风接口(8)。
4.根据权利要求1或3所述的晶圆撕金去胶清洗装置，其特征在于：所述密封门(10)包括回转气缸(20)和密封门板(21)，所述密封门板(21)通过所述回转气缸(20)作用打开，在所述密封门板(21)上设有密封垫(22)。
5.根据权利要求1或3所述的晶圆撕金去胶清洗装置，其特征在于：所述排风接口(8)底端设有一个可抽动的调风板(24)。
6.根据权利要求1所述的晶圆撕金去胶清洗装置，其特征在于：所述去胶单元(3)设置在清洗单元(4)上侧。
7.根据权利要求1所述的晶圆撕金去胶清洗装置，其特征在于：所述浸泡单元(1)内设有2个浸泡槽。
8.根据权利要求1所述的晶圆撕金去胶清洗装置，其特征在于：所述金属回收管路与一个金属回收桶相连；所述去胶液回收管路与一个去胶液回收桶相连。