技术总结
本发明提供了一种探针清洁方法及探针清洁装置，所述探针清洁方法包括：提供待清洁的探针；采用毛刷对待清洁的探针进行刷洗处理；采用研磨层对待清洁的探针进行研磨处理；采用粘附层对待清洁的探针进行粘附处理，增强了去除不同种类杂质的能力，提高了探针的清洁效果。研磨处理时，所述探针清洁方法还通过磨料颗粒分布密度不同的第一研磨处理和第二研磨处理对探针上附着的杂质进行粗、精磨处理，利于兼顾研磨质量和清洁效率。所述探针清洁方法进一步采用依次进行所述刷洗处理、第一研磨处理、第二研磨处理和粘附处理的方法对探针上附着的杂质进行清洁，清洁效果更佳，清洁效果更好。
技术研发人员：牛刚
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
文档号码：201510565831
技术研发日：2015.09.07
技术公布日：2017.03.15