热传导片及其制造方法与流程

本发明涉及一种面方向的热传导率高且热传输量大的热传导片及其制造方法。

背景技术：

近年来，伴随着各种电子设备的动作速度的显著提高，从半导体元件等电子部件发出的发热量不断增大。对此，为了使电子设备稳定地进行动作，对这些发热的电子部件使用石墨片等热传导片使热量扩散或者散热。但是，石墨片具有导电性，另外，若一部分石墨粉末从石墨片脱离，则可能会引起电路的短路。因此，通过在石墨片的两主面上粘合绝缘片，并在石墨片的外周端的外侧使绝缘片彼此相互粘合，从而密封石墨片。

随着发热元件的发热量进一步变大，除面方向的热传导率外，还谋求热传输量大的热传导片。

专利文献1中公开有与上述的热传导片类似的现有的热传导片。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-210035号公报

技术实现要素：

热传导片具备：层叠片、和分别与层叠片的第一和第二主面粘合的第一和第二绝缘片。层叠片具有多个石墨片、和与多个石墨片交替配置并粘合多个石墨片的一个以上的粘接层。第一和第二绝缘片通过在层叠片的外周端的外侧相互粘合来密封层叠片。层叠片具有与外周端相连的外周部、和从外周端离开的内陆部。层叠片的外周部的厚度比内陆部的厚度薄。

该热传导片中绝缘片的密封的可靠性优异。

附图说明

图1A是实施方式中的热传导片的俯视图。

图1B是图1A所示的热传导片的线1B-1B处的剖视图。

图2A是对实施方式中的热传导片的制造方法进行说明的图。

图2B是对实施方式中的热传导片的制造方法进行说明的图。

图2C是对实施方式中的热传导片的制造方法进行说明的图。

图2D是对实施方式中的热传导片的制造方法进行说明的图。

图3是比较例的热传导片的剖视图。

具体实施方式

图1A是实施方式中的热传导片1000的俯视图。图1B是图1A所示的热传导片1000的线1B-1B处的剖视图。热传导片1000通过粘接层12粘合三个石墨片11，形成层叠片13，将层叠片13夹在绝缘片14与绝缘片15之间进行密封。

石墨片11使用厚度约10μm的热分解石墨片，其面方向的热传导率为约1950W/m·K。粘接层12由厚度约3μm的丁苯橡胶构成，通过热压能够进行粘接。通过粘接层12粘合石墨片11，从而构成层叠片13。绝缘片14和绝缘片15是由厚度约10μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯构成的膜，在与层叠片13对向的面上设有丙烯酸类粘着剂。通过该粘着剂进行绝缘片14、绝缘片15与层叠片13的粘接、以及绝缘片14与绝缘片15的粘接，密封层叠片13。

粘接层12设在从石墨片11的外周端离开并进入内侧约1mm的区域。因此，层叠片13的包含外周端的外周部比从外周端离开并位于外周部的内侧的内陆部薄粘接层12的厚度。由于在将层叠片13夹入绝缘片14、15密封时，层叠片13的外周部的厚度比外周部的内侧的内陆部薄，因此，在层叠片13的外周端的外侧容易与绝缘片14、15粘接，提高了密封的可靠性。

此外，在实施方式中，仅在绝缘片14、15的与层叠片13对向的面上设有粘着剂，但也可以由双面粘性带构成绝缘片14和绝缘片15中的任一方或两方。通过这样构成，能够容易地将热传导片1000接合到发热体或者壳体等上。

在热传导片1000中，层叠片13具有多个石墨片11、和与多个石墨片11交替配置并粘合多个石墨片11的一个以上的粘接层12，并具有主面13a、主面13a的相反侧的主面13b、和与主面13a、13b相连并包围主面13a、13b的外周端13c。绝缘片14粘合在层叠片13的主面13a上。绝缘片15粘合在层叠片13的主面13b上。通过在层叠片13的外周端13c的外侧相互粘合的绝缘片14、15密封层叠片13。层叠片13具有与外周端13c相连的外周部13d、和从外周端13c离开的内陆部13e。层叠片13的外周部13d的厚度比内陆部13e的厚度薄。在层叠片13上，与外周部13d相比，内陆部13e位于内侧。

层叠片13的外周端13c完全包围主面13a、13b。

石墨片11具有主面111a、主面111a的相反侧的主面111b、和与主面111a、111b相连并完全包围主面111a、111b的外周端111c。一个以上的粘接层12也可以从石墨片11的外周端111c离开。在层叠方向1000a上层叠的多个石墨片11中的一个最外侧的石墨片的主面111a构成层叠片13的主面13a，另一最外侧的石墨片的主面111b构成层叠片13的主面13b。粘接层12粘接一个石墨片11的主面111b和另一石墨片11的主面111a。

接下来，参照附图对实施方式中的热传导片1000的制造方法进行说明。图2A～图2D是对实施方式中的热传导片1000的制造方法进行说明的图。

首先，如图2A所示，在大尺寸的多个石墨片11a的区域16形成粘接层12。石墨片11a由厚度约10μm的热分解石墨片构成，其面方向的大小约为500mm×250mm。在本实施方式中，粘接层12为约100mm×200mm的长方形，4个粘接层12形成在石墨片11a的面的区域16上。粘接层12通过在石墨片11a上图案化地涂布在由丁苯橡胶构成的粘接剂中添加由醋酸丁酯构成的溶剂使粘度减小的液体而形成。该液体可以使用掩膜进行图案化。另外，作为涂布的方法，可以采用喷雾、印刷等方法，但是为了形成薄的粘接层12，优选使用喷雾。将形成了粘接层12的石墨片11a放入约100℃的干燥机中使溶剂蒸发。使溶剂蒸发后的粘接层12的厚度约为3μm。

接下来，如图2B所示，使规定数量的石墨片11a对齐来在层叠方向1000a上重合，进而在层叠方向1000a上重叠其上没有形成粘接层的石墨片11b，从而得到大尺寸的层叠片113。石墨片11b使用厚度约10μm的热分解石墨片。此外，在使两个石墨片两片重叠的情况下，只要在石墨片11a上重叠石墨片11b即可。

接下来，通过使用约150℃的烙铁对重叠了石墨片11a、11b的层叠片113进行热压，从而使石墨片11a、11b在区域16粘接。由于石墨片对与层叠方向1000a成直角的、即平行于层叠片13的主面13a、13b(石墨片11a、11b的主面)的面方向1000b、1000c的热传导性优异，因此，能够对粘接层12均匀地传递热量，从而能够使石墨片11a、11b均匀地粘合。

接下来，如图2C所示，通过用模具2000冲压粘合了石墨片11a和石墨片11b的大尺寸的层叠片113使得剩余区域17，在外周端13c进行切断，从而得到层叠片13。区域17在区域16的外侧约为2mm的大小。若在石墨片11a、11b之间存在具有粘接层或者双面粘性带等粘着剂的部分，则在用模具2000进行冲压时，其粘着剂会附着在模具2000上，不容易对石墨片11a、11b进行高精度的冲压。与此相对，在本实施方式中，由于在用模具2000冲压的位置即层叠片13的外周端13c不存在粘接层，因此，能够高精度地冲压石墨片11a、11b。另外，由于在石墨片11a、11b之间存在粘接层12，因此，区域16比区域17的周边厚。

接下来，通过在绝缘片14上重叠层叠片13，并以与绝缘片14夹住层叠片13的方式重叠绝缘片15，并用辊施加压力，从而粘合绝缘片14、层叠片13、和绝缘片15，得到层叠片213。在层叠片213中，层叠片13位于区域17。用模具在层叠片13(区域17)的外侧宽约1mm的区域18冲压层叠片213，得到图2D所示的热传导片1000。

图3是比较例的热传导片500的剖视图。热分解石墨片的面方向的热传导率非常高，具有其厚度越薄则面方向的热传导率越高的趋势。另一方面，其厚度越薄则热传输量越小。图3所示的热传导片500具备：用双面粘性带2粘合的多个薄热分解石墨片1、和粘合在热分解石墨片1的两主面上的绝缘片3。用双面粘性带2粘合热分解石墨片1，切断后，在两主面上粘合绝缘片3，得到热传导片500。粘在一起的多个热分解石墨片不容易切断，而且，如果用绝缘片密封变厚的热分解石墨片的端面的外侧，则在密封的可靠性上会出现问题。

在图1A、图1B和图2D所示的实施方式中的热传导片1000中，绝缘片14、15为由厚度约10μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯构成的膜，在与层叠片13对向的面上设有丙烯酸类粘着剂。通过该粘着剂，进行绝缘片14、绝缘片15与层叠片13的粘接、和在层叠片13的周围绝缘片14与绝缘片15的粘接，对层叠片13进行密封。在此，由于在区域16中，在石墨片11a、11b间存在粘接层12，而在区域16的周边不存在粘接层，因此，区域17的周边部比区域16薄。在通过用辊施加压力来粘接绝缘片14与绝缘片15时，辊能够与区域17的正上方和区域18的正上方接触，能够较大且充分地对在区域18形成的密封部分进行加压。因此，在层叠片13的周围，绝缘片14与绝缘片15的粘接变得容易，能够提高密封的可靠性。

如上所述，热传导片1000能够通过以下的方法制造。在一个以上的石墨片11a的一个以上的区域16形成一个以上的粘接层12。在一个以上的石墨片11a上以交替夹入一个以上的粘接层12的方式在层叠方向1000a上重叠石墨片11b。通过一个以上的粘接层12粘合一个以上的石墨片11a与石墨片11b。切断一个以上的石墨片11a与石墨片11b使得剩余区域17，从而得到层叠片13。通过在中间夹入层叠片13地在绝缘片14上层叠绝缘片15而在区域18粘合绝缘片14、层叠片13和绝缘片14，从而在区域18直接粘接绝缘片14、15，得到热传导片1000。从层叠方向1000a来看，一个以上的区域16处于区域17的内侧。从层叠方向1000a来看，区域17处于区域18的内侧。

也可以通过热压来粘合一个以上的石墨片11a与石墨片11b。

区域16也可以从包围石墨片11a的外周端11c分别离开。

也可以在区域17冲压一个以上的石墨片11a和石墨片11b来得到层叠片13。

产业上的可利用性

本发明能够得到一种向面方向的热传导率高且热传输量也大的热传导片，对发热部件的散热有用。

标号说明

11 石墨片(第一石墨片、第二石墨片)

11a 石墨片(第一石墨片)

11b 石墨片(第二石墨片)

111c 外周端

12 粘接层

13 层叠片

13a 主面(第一主面)

13b 主面(第二主面)

13c 外周端

13d 外周部

13e 内陆部

14 绝缘片(第一绝缘片)

15 绝缘片(第二绝缘片)

16 区域(第一区域)

17 区域(第二区域)

18 区域(第三区域)

1000 热传导片

1000a 层叠方向