技术总结
一实施方式的等离子体处理装置具备处理容器、载置台、多个加热器及供电装置。载置台设置于处理容器内。多个加热器设置于载置台内。供电装置对多个加热器供给电力。供电装置具备多个变压器及多个零交控制型的固态继电器(SSR)。多个变压器构成为使来自交流电源的电压降压。多个变压器各自具有一次线圈及二次线圈。一次线圈与交流电源连接。多个SSR分别设置于多个加热器中对应的一个加热器与多个变压器中对应的一个变压器的二次线圈之间。
技术研发人员：照内怜
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
文档号码：201580024624
技术研发日：2015.06.01
技术公布日：2017.02.22