技术特征:
技术总结
本发明提供了一种半导体器件及其制造方法和电子装置。所述方法包括:提供第一衬底,所述第一衬底具有第一表面和与之相对的第二表面,在所述第一衬底的第一表面一侧形成有功能材料层,在所述功能材料层内形成有晶体管和第一互连结构;形成内嵌于所述功能材料层表面的第一顶部金属层、第二顶部金属层和第三顶部金属层,所述第一顶部金属层与所述第一互连结构电连接;提供第二衬底,将第二衬底与所述功能材料层相接合;从所述第二表面一侧对所述第一衬底进行减薄处理;同时形成第二金属层和导电插塞,并且所述第二金属层与所述第二顶部金属层电连接,所述导电插塞与所述第三顶部金属层电连接。所述方法工艺步骤更加简单,提高了器件的性能和良率。
技术研发人员:李海艇;黄河;朱继光
受保护的技术使用者:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
技术研发日:2016.04.11
技术公布日:2017.10.24