一种LED芯片的制作方法

文档序号:11136587阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种LED芯片,包括:

衬底;

发光结构,所述发光结构位于所述衬底表面包括:位于所述衬底表面的N型氮化镓层,位于所述N型氮化镓层背离所述衬底一侧的有源层,位于所述有源层背离所述N型氮化镓层一侧的P型氮化镓层;

第一通孔,所述第一通孔完全贯穿所述发光结构,延伸至所述衬底表面;

第二通孔,所述第二通孔位于所述发光结构内,完全贯穿所述P型氮化镓层和所述有源层,延伸至所述N型氮化镓层表面;

DBR层,所述DBR层位于所述第一通孔和第二通孔的侧壁及所述P型氮化镓层表面,其中,位于所述P型氮化镓层表面的DBR层具有图形化;

欧姆接触层,所述欧姆接触层位于所述P型氮化镓层和所述DBR层表面;

电极结构,所述电极结构包括:位于所述欧姆接触层表面的P型电极和位于所述N型氮化镓层表面且完全填充所述第二通孔的N型电极。

2.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于,所述P型电极在所述P型氮化镓层上的DBR层的垂直投影上。

3.根据权利要求2所述的制造方法,其特征在于,所述P型电极的面积小于等于所述P型氮化镓层上的DBR层的面积。

4.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于,所述P型电极和N型电极的材料为Ag、Al、Pd、Pt、Au、W、Ni、Ti中的一种或几种合金。

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