技术总结
本发明公开了一种薄膜晶体管液晶显示器的TFT加工工艺，所述水清洗后再用超声波清洗，可以除掉玻璃表面的杂质和油污，所述覆光刻胶时的温度以及湿度的确定，可以使胶与玻璃表面黏附良好，减少其脱落现象和出现图形缺陷的问题，所述曝光前先打开曝光机的紫外线预热稳定，可以增加其曝光效率，所述酸液为HCl、HNO3和水的混合液，可以起到腐蚀掉ITO膜，但不损坏玻璃和光刻胶的作用，所述刻蚀的温度和时间的确定，可以提高刻蚀效果。采用此种加工工艺加工出来的薄膜晶体管液晶显示器的TFT具有生产效率好和开口率高的优点，市场潜力巨大，前景广阔。
技术研发人员：罗文彬
受保护的技术使用者：合肥佳瑞林电子技术有限公司
文档号码：201610617906
技术研发日：2016.08.01
技术公布日：2016.11.23