一种高LED发光效率的外延片及其生长方法与流程

文档序号:11870173阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高LED发光效率的外延片,在衬底的同一侧依次设置缓冲层、非故意掺杂GaN层、N型掺杂GaN层、AlN/GaN叠层结构MQB层、多量子阱层、电子阻挡层和P型掺杂GaN层。

2.根据权利要求1所述高LED发光效率的外延片,其特征在于所述AlN/GaN叠层结构MQB 层由1~8对AlN/GaN层组成。

3.根据权利要求2所述高LED发光效率的外延片,其特征在于所述AlN/GaN层至少两对,每对AlN/GaN层的总厚度为1~10nm,每对AlN/GaN层中AlN与GaN的厚度比为0.2~5∶1,相邻对的AlN与GaN的厚度比呈梯度变化。

4.根据权利要求1或2或3所述高LED发光效率的外延片,其特征在于所述AlN/GaN叠层结构MQB 层的总厚度为30±10nm。

5.如权利要求1所述高LED发光效率的外延片的生长方法,包括在衬底的同一侧依次外延生长缓冲层、非故意掺杂GaN层、N型掺杂GaN层、AlN/GaN叠层结构MQB层、多量子阱层、电子阻挡层和P型掺杂GaN层,其特征在于在温度为1100~1200℃、压力为50~400mbar的条件下,在N型掺杂GaN层上生长形成AlN/GaN叠层结构MQB层。

6.根据权利要求5所述高LED发光效率的外延片的生长方法,其特征在于在生长AlN/GaN叠层结构MQB层时,对AlN或GaN中的至少一层进行N型掺杂。

7.根据权利要求5或6所述高LED发光效率的外延片的生长方法,其特征在于在生长AlN/GaN叠层结构MQB层时,生长形成1~8对AlN/GaN层。

8.根据权利要求7所述高LED发光效率的外延片的生长方法,其特征在于生长形成至少两对AlN/GaN层,每对AlN/GaN层的总厚度为1~10nm,每对AlN/GaN层中AlN与GaN的生长厚度比为0.2~5∶1。

9.根据权利要求5所述高LED发光效率的外延片的生长方法,其特征在于生长形成的所述AlN/GaN叠层结构MQB 层的总厚度为30±10nm。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1