晶圆专用储存架的制作方法

文档序号:12274865阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种晶圆专用储存架,其特征在于:包括顶横梁(1)、底横梁(2)及安装于所述顶横梁(1)与底横梁(2)之间的多个支撑框(3),所述支撑框(3)间隔布置于顶横梁(1)与底横梁(2)之间,支撑框(3)的上下两端均设有转轴(4),借助所述转轴(4)与顶横梁(1)及底横梁(2)转动连接,支撑框(3)上设有贯通的、可容晶圆置入的安放槽(5),所述安放槽(5)的上下两端具有软垫(6)。

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