技术总结
本发明涉及一种晶圆专用储存架，包括顶横梁、底横梁及安装于所述顶横梁与底横梁之间的多个支撑框，所述支撑框间隔布置于顶横梁与底横梁之间，支撑框的上下两端均设有转轴，借助所述转轴与顶横梁及底横梁转动连接，支撑框上设有贯通的、可容晶圆置入的安放槽，所述安放槽的上下两端具有软垫。本发明中，间隔设置的支撑框，晶圆的安放操作简单，支撑框可调节角度，方便储存架根据需要置入包装箱中，使用方便。
技术研发人员：吕耀安
受保护的技术使用者：无锡宏纳科技有限公司
文档号码：201610877792
技术研发日：2016.10.08
技术公布日：2017.02.22