1.一种太阳能电池片扩散工艺，其特征在于包括如下步骤：
步骤一，将硅片放入扩散炉；
步骤二，将扩散炉温度加热至设定的第一温度，待加热的温度值稳定在第一温度的范围值后通入O2、POCL3，并保持设定的第一时间；
步骤三，将扩散炉温度加热至设定的第二温度，待加热的温度值稳定在第二温度的范围值后保持设定的第二时间；
步骤四，将扩散炉温度再进行冷却至第三温度，待冷却的温度值稳定在第三温度的范围值后通入O2、POCL3，并保持设定的第三时间；
步骤五，停止通入POCL3，继续通入O2，然后将扩散炉降温退火，退火后取出硅片即可。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片扩散工艺，其特征在于：所述的步骤二中的第一温度为750℃-820℃之间的任一数值，第一时间为6min-9min之间的任一数值，所述的步骤二中的O2通入流量为100-500sccm，步骤二中POCL3流量为800-1300sccm。
3.根据权利要求1或2所述的一种太阳能电池片扩散工艺，其特征在于：所述的步骤三中的第二温度为800℃-900℃之间的任一数值，第二时间为4min-10min之间的任一数值。
4.根据权利要求1或2所述的一种太阳能电池片扩散工艺，其特征在于：所述的步骤四中的第三温度为800℃-840℃之间的任一数值，所述的步骤四中的O2通入流量为300-500sccm，步骤四中POCL3流量为500-900sccm，第三时间为3min-8min之间的任一数值。
5.根据权利要求3所述的一种太阳能电池片扩散工艺，其特征在于：所述的步骤四中的第三温度为800℃-840℃之间的任一数值，所述的步骤四中的O2通入流量为300-500sccm，步骤四中POCL3流量为500-900sccm，第三时间为3min-8min之间的任一数值。
6.根据权利要求4所述的一种太阳能电池片扩散工艺，其特征在于：所述的步骤五中O2通入流量为400-800sccm，退火时间为30-60min。
7.根据权利要求5所述的一种太阳能电池片扩散工艺，其特征在于：所述的步骤五中O2通入流量为400-800sccm，退火时间为30-60min。