使用重布层的晶片级封装中的射频和电磁干扰屏蔽的制作方法

文档序号:11586707阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供扇出型晶片级封装的重布层内的射频/电磁干扰(RF/EMI)屏蔽。通过使用RDL金属层来提供屏蔽,避免了额外的处理步骤(例如,并入屏蔽盖或在封装背侧上涂覆保形涂料)。实施例使用RDL介电层中由金属填充的沟槽通孔,在穿过RDL的介电层区的RF敏感信号线周围提供金属“壁”。这些壁耦合到地线,这将所述信号线与所述壁外部所产生的干扰或噪声隔离开来。

技术研发人员:叶荣丰;爱德华·简·帕布斯特
受保护的技术使用者:飞思卡尔半导体公司
技术研发日:2016.10.19
技术公布日:2017.08.11
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