1.一种非晶硅太阳能电池生产方法，其特征在于：按下列步骤
（1）红激光刻膜：导电玻璃即ITO导电片清洗后用波长80-110nm激光将导电玻璃刻划成互相独立部分，线条宽度为50-100umm，线速500-700mm/s，并进行清洗；
（2）装片预热：将刻划好的ITO导电片与沉积夹具装配后推入烘炉，160-1750Ｃ预热2小时；
（3）非晶硅的沉积：将预热好的ITO导电片移入沉积炉中进行PIN层放电，沉积p层非晶硅工艺条件：使用B2H6、SiH4、CH4、Ar气体，沉积温度180～210℃，功率密度0.18～0.40W/ cm2，硅烷与甲烷流量比为10：1～1.35，沉积压力为75～88Pa，放电时间500Ｓ；Ｉ层非晶硅层工艺条件：使用SiH4、H2气体，沉积温度180～210℃，功率密度0.18W/cm2，沉积压力为70～85Pa，放电时间3000Ｓ；Ｎ层非晶硅工艺条件：使用PH3、SiH4、Ar气体，沉积温度180～210℃，功率密度0.18～0.40W/cm2，沉积压力为80～100Pa，放电时间240Ｓ；射频放电功率参数为12-14W，冷却后卸片；
（4）绿激光切割，用波长420-500nm的激光对沉积好非晶硅膜的导电片进行切割；
（5）印刷、固化，分别通过制版印刷并固化，背电极所用材料为碳银浆，其固化温度1300Ｃ±150Ｃ、固化时间40m（分钟）；背漆所用材料为防焊油墨，其固化温度1150Ｃ±100Ｃ、固化时间30m；字符所用材料为油墨，其固化温度1000Ｃ±150Ｃ、固化时间20m；印刷铜浆固化温度1500Ｃ±150Ｃ、固化时间45m，所说的碳银浆即碳浆中加入4-10％重量比的银浆，混匀后静置30分钟使用；
（6）切割：按电池的规格参数尺寸±0.2mm进行多刀切割，切割完毕进行裂片；
（7）检测：根据产品型号及客户要求，在光照度200Lux±5、温度250Ｃ下分别对产品的空载及负载情况下的电流、电压进行检测、分档，最后包装。