具有堆叠半导体管芯的半导体器件结构的制作方法

文档序号:11709337阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明实施例提供了一种半导体器件结构,半导体器件结构包括第一半导体管芯和第二半导体管芯。半导体器件结构还包括位于第一半导体管芯和第二半导体管芯之间的钝化层,以及钝化层直接接合至第二半导体管芯的第二层间介电层。半导体器件结构还包括位于通穴中并且直接接合至第二半导体管芯的第二导电线的导电部件。半导体器件结构还包括位于导电部件和钝化层之间的第二阻挡层,第二阻挡层覆盖导电部件的侧壁和导电部件的靠近第一半导体管芯的表面。本发明实施例涉及具有堆叠半导体管芯的半导体器件结构。

技术研发人员:高敏峰;杨敦年;刘人诚;黄薰莹
受保护的技术使用者:台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日:2016.12.21
技术公布日:2017.07.18
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