三维集成结构的制作方法

文档序号:12537769阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种三维集成结构,其特征在于,包括:

第一衬底,包括定向在至少第一优选方向上的第一部件,

第二衬底,包括定向在至少第二方向上的第二部件,以及

至少一个互连层级,包括在至少第三方向上行进的导电轨道,

其中所述第二方向和所述第三方向之一与第一方向形成非直角并且非零角,使得所述第一部件和所述第二部件之一的两个点通过第一电链路连接,所述第一电链路包括所述至少一个互连层级的所述导电轨道中的至少一个导电轨道。

2.根据权利要求1所述的结构,其特征在于,其中所述非直角并且非零角是45°的角。

3.根据权利要求1所述的结构,其特征在于,包括:

第一元件,包括所述第一衬底和至少第一互连层级,所述第一互连层级包含在平行于或者正交于所述第一方向的至少第四方向上行进的第一导电轨道,以及

第二元件,包括至少所述第二衬底和至少第二互连层级,所述第二互连层级包含在至少第三方向上行进的第二导电轨道,

其中所述第一元件和所述第二元件被刚性附接在一起,

其中所述第二方向与所述第一方向形成所述非直角并且非零角,并且

其中所述第三方向平行于或者正交于所述第二方向,并且

其中所述第一元件内的所述两个点通过包括所述第二导电轨道中的至少一个第二导电轨道的所述第一电链路电连接。

4.根据权利要求3所述的结构,其特征在于,

其中所述第一导电轨道在所述第四方向或者正交于所述第四方向的第五方向之一上行进,并且

其中所述第二导电轨道在所述第三方向或者正交于所述第三方向的第六方向之一上行进。

5.根据权利要求3所述的结构,其特征在于,

其中所述第一元件和所述第二元件中的每个元件都包括互连部分,所述互连部分包括若干金属层级,并且

所述第一互连层级和所述第二互连层级包括所述互连部分的至少一个金属层级。

6.根据权利要求3所述的结构,其特征在于,其中所述第一电链路包括将所述两个点连接到至少第二导电轨道的过孔。

7.根据权利要求3所述的结构,其特征在于,其中所述第一元件和所述第二元件通过导电柱体刚性附接在一起。

8.根据权利要求3所述的结构,其特征在于,其中所述第一元件和所述第二元件通过混合结合刚性附接在一起。

9.根据权利要求3所述的结构,其特征在于,其中所述第一元件和所述第二元件中的至少一个元件包括至少一个集成电路。

10.根据权利要求3所述的结构,其特征在于,其中所述第二互连层级的至少两个点通过第二电链路电连接,所述第二电链路包括与所述第二互连层级的所述第二导电轨道形成非直角并且非零角的所述第一导电轨道中的至少一个第一导电轨道。

11.根据权利要求1所述的结构,其特征在于,形成包括至少所述第一衬底、所述第二衬底、以及所述至少一个互连层级的单片三维结构。

12.根据权利要求11所述的结构,其特征在于,其中所述第一方向和所述第二方向平行,并且所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向形成非直角并且非零角。

13.根据权利要求11所述的结构,其特征在于,其中所述第二方向和所述第三方向平行,并且与所述第一方向形成非直角并且非零角。

14.根据权利要求12所述的结构,其特征在于,其中所述第一衬底的所述两个点通过包括所述至少一个互连层级的所述导电轨道中的一个导电轨道的电链路连接。

15.根据权利要求12所述的结构,其特征在于,包括在所述第一衬底和所述第二衬底之间的至少第一互连层级,并且其中所述第一互连层级的所述两个点通过包括在至少所述第三方向上行进的第二互连层级的导电轨道的电链路连接。

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