蚀刻设备及其显影装置的制作方法

文档序号:12566001阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种蚀刻设备用显影装置,包括架体、传送装置、以及至少一个与所述传送装置相对设置在所述架体上的喷淋装置,其特征在于,所述喷淋装置包括至少一个喷淋单元,所述喷淋单元包括至少一个纵长的出水部,所述出水部长度方向与该传送装置的传送方向成锐角或者钝角。

2.根据权利要求1所述的蚀刻设备用显影装置,其特征在于,所述至少一个喷淋装置包括两个喷淋单元,其中一个喷淋单元的出水部的长度方向与所述传送方向成锐角,另一个喷淋单元出水部的长度方向与所述传送方向成钝角。

3.根据权利要求1或2所述的蚀刻设备用显影装置,其特征在于,所述至少一个喷淋装置包括设置在所述传送装置上方的第一喷淋装置、设置在所述传送装置下方的第二喷淋装置。

4.根据权利要求1或2所述的蚀刻设备用显影装置,其特征在于,所述出水部包括若干个沿着所述出水部长度方向间隔设置的喷淋口、或者至少一个沿着所述出水部长度方向设置的长条形出水缝。

5.根据权利要求1或2所述的蚀刻设备用显影装置,其特征在于,所述至少一个喷淋装置包括喷淋架以及若干根平行间隔设置在所述喷淋架上的喷淋管,每一喷淋管包括若干个沿着所述喷淋管长度方向间隔排列的喷淋口,所述喷淋管长度方向与该传送装置的传送方向成锐角或者钝角。

6.根据权利要求1或2所述的蚀刻设备用显影装置,其特征在于,所述喷淋装置相对传送方向可横向往复移动地设置在所述架体上;所述蚀刻设备用显影装置还包括驱动装置,所述驱动装置包括电机、与所述电机连接并随所述电机同步转动的传动杆、设置在所述传动杆上的至少一个偏心机构、以及与所述至少一个偏心机构配合并带动所述喷淋装置相对传送方向可横向往复移动的从动件。

7.根据权利要求6所述的蚀刻设备用显影装置,其特征在于,所述至少一个喷淋装置包括设置在所述传送装置上方的第一喷淋装置、设置在所述传送装置下方的第二喷淋装置;所述至少一个偏心机构包括设置在所述传动杆上与第一喷淋装置对应的第一偏心机构和与第二喷淋装置对应的第二偏心机构,所述从动件包括分别与第一偏心机构和第一偏心机构配合的第一从动件和第二从动件。

8.根据权利要求6所述的蚀刻设备用显影装置,其特征在于,所述喷淋装置还包括设置在所述喷淋架上的滚轮,所述架体包括与所述滚轮配合的导轨。

9.根据权利要求1或2所述的蚀刻设备用显影装置,其特征在于,所述传送装置包括传送架、沿着所述传送方向设置在传送架上并传送基板的下传送辊组、设置在所述下传送辊上方并压紧基板的上传送辊组、以及沿着所述传送架长度方向活动固定在传送架上,并带动所述下传送辊组和所述下传送辊组转动的传动轴。

10.一种蚀刻设备,其特征在于,依序包括卷式放料装置、片料放料装置、权利要求1至8任一项所述的显影装置、拉料装置、蚀刻装置、片式收料装置以及卷式收料装置。

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