半导体部件的制作方法

文档序号:12262317阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种半导体部件,其特征在于,所述半导体部件包括:

支撑部(102、202),具有第一器件接纳结构(104、204)、第二器件接纳结构(106、206)和第一引线(108);

第一半导体芯片(10),具有第一表面和第二表面,其中,第一栅极接合焊盘(16)从第一表面的第一部分延伸,源极接合焊盘(18)从第一表面的第二部分延伸,并且漏极触点(20)处于第二表面上,第一半导体芯片(10)的栅极接合焊盘(16)与第一引线(108)耦合并且第一半导体芯片(10)的源极接合焊盘(18)与第一器件接纳结构(104)耦合,第一半导体芯片(10)由硅半导体材料构成并且以倒装芯片配置与支撑部耦合;和

第二半导体芯片(30),具有第一表面和第二表面,第二半导体芯片(30)的栅极接合焊盘(36、38)从第二半导体芯片(30)的第一表面的第一部分延伸,第二半导体芯片(30)的源极接合焊盘(40)从第二半导体芯片(30)的第一表面的第二部分延伸,并且漏极接合焊盘(42)从第二半导体芯片(30)的第一表面的第三部分延伸,第二半导体芯片(30)的源极接合焊盘(40)与第一半导体芯片(10)的第二表面耦合,第二半导体芯片(30)的栅极接合焊盘(36、38)与第一器件接纳结构(106)耦合,并且第二半导体芯片(30)的漏极接合焊盘(42)与第二器件接纳结构(106)耦合,第二半导体芯片(30)由III族氮化物半导体材料构成并且以倒装芯片配置与支撑部(102)耦合。

2.根据权利要求1所述的半导体部件,其特征在于,所述半导体部件还包括电气耦合第一半导体芯片(10)的漏极触点(20)与第二半导体芯片(30)的第二表面的第一电气互连部(144)。

3.根据权利要求1所述的半导体部件,其特征在于,第二器件接纳结构(106)包含底座部分(134),并且第一器件接纳结构(104)包含配合部分(132),底座部分(136)比配合部分(132)厚。

4.一种半导体部件,其特征在于,所述半导体部件包括:

支撑部(202),具有第一器件接纳结构(204)、第二器件接纳结构(206)和第一引线(210),第一引线(210)从第二器件接纳结构(206)延伸;

与第一器件接纳结构(204)接合的第一半导体芯片(240),第一半导体芯片(240)具有第一表面和第二表面,其中,阴极(248)由第一表面的第一部分形成,并且阳极(246)由第二表面的第一部分形成,第一半导体芯片(240)由硅半导体材料构成;和

第二半导体芯片(50),具有第一表面和第二表面,第二半导体芯片(50)的栅极接合焊盘(56)从第二半导体芯片(50)的第一表面的第一部分延伸,第二半导体芯片(50)的源极接合焊盘(60)从第二半导体芯片(50)的第一表面的第二部分延伸,并且漏极接合焊盘(62)从第二半导体芯片(50)的第一表面的第三部分延伸,第二半导体芯片(50)的源极接合焊盘(60)与第一半导体芯片(240)的阴极(248)耦合,第二半导体芯片(50)的栅极接合焊盘(56)与第一器件接纳结构(204)耦合,并且第二半导体芯片(50)的漏极接合焊盘(62)与第二器件接纳结构(206)耦合,第二半导体芯片(50)由III族氮化物半导体材料构成并且以倒装芯片配置与支撑部(202)耦合。

5.根据权利要求4所述的半导体部件,其特征在于,第二器件接纳结构(206)包含与第一器件接纳结构(204)分开且电气隔离的导电材料体(220),并且其中第一引线(210)从导电材料体(220)延伸。

6.根据权利要求5所述的半导体部件,其特征在于,第一器件接纳结构包含矩形部分(212),所述矩形部分(212)具有从其延伸的第二引线(208),并且其中第二引线(208)和第一半导体芯片(204)的厚度的和基本上等于导电材料体(220)的厚度。

7.根据权利要求6所述的半导体部件,其特征在于所述半导体部件还包括阳极(246)与第一器件接纳结构(204)之间的第一接合剂部分(138)、阴极(248)与源极接合焊盘(60)之间的第二接合剂部分(138)、和漏极接合焊盘(62)与导电材料体(220)之间的第三接合剂部分(138)。

8.一种半导体部件,其特征在于,所述半导体部件包括:

支撑部(302、502),具有互连区域(509)、器件接纳区域(510)和导电基板(504);

在器件接纳区域(510)上形成的绝缘材料部(350、550);

在绝缘材料部(350、550)的一部分上形成的第一导电层(354、554);

在绝缘材料部(552)的第二部分上形成的第二导电层(352、552);

与第一导电层(554)相邻且电气绝缘的第一引线(526);

与第二导电层(552)相邻且电气绝缘的第二引线(532);

从导电基板(304、504)延伸的第三引线(324、524);

第一半导体芯片(10A),具有第一表面和第二表面,其中,第一栅极接合焊盘(16A)从第一表面的第一部分延伸,源极接合焊盘(18)从第一表面的第二部分延伸,并且漏极触点(20)处于第二表面上,第一半导体芯片(10A)的栅极接合焊盘(16A)与第一导电层(554)耦合并且第一半导体芯片(10A)的源极接合焊盘(18)与第二导电层(552)耦合,第一半导体芯片(10A)由硅半导体材料构成并且以倒装芯片配置与支撑部(502)耦合;和

第二半导体芯片(30),具有第一表面和第二表面,第二半导体芯片(30)的栅极接合焊盘(38、36)从第二半导体芯片(30)的第一表面的第一部分延伸,第二半导体芯片(30)的源极接合焊盘(40)从第二半导体芯片(30)的第一表面的第二部分延伸,并且漏极接合焊盘(42)从第二半导体芯片(30)的第一表面的第三部分延伸,第二半导体芯片(30)的源极接合焊盘(40)与第一半导体芯片(10A)的漏极触点(20)耦合,第二半导体芯片(30)的栅极接合焊盘(38、36)与第二导电层(552)耦合,并且第二半导体芯片(30)的漏极接合焊盘(42)与导电基板(504)耦合,第二半导体芯片(30)由III族氮化物半导体材料构成并且以倒装芯片配置与支撑部(502)耦合。

9.根据权利要求8所述的半导体部件,其特征在于,导电基板(504)具有矩形形状和从导电基板(504)的一部分延伸的底座(512);还包括:

电气耦合第一导电层(554)与第一引线(526)的第一芯片(566);和

电气耦合第二导电层(552)与第二引线(532)的第二芯片(362、562),其中,第二芯片(562)通过接合剂(138)与第二导电层(552)接合,并且第一半导体芯片(10A)的源极接合焊盘(18)通过另一接合剂与第二导电层接合。

10.根据权利要求8所述的半导体部件,其特征在于,导电基板(504)具有矩形形状和从导电基板(504)的一部分延伸的底座(512);还包括:

电气耦合第一导电层(554)与第一引线(526)的第一芯片(566);和

电气耦合第二导电层(552)与第二引线(532)的第二芯片(362、562),其中,第二芯片(362、562)通过接合剂(138)与第二导电层(552)接合,并且,第一半导体芯片(10A)的源极接合焊盘(18)通过另一接合剂与第二芯片(562)接合。

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