一种晶舟的制作方法

文档序号:12262275阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种晶舟,用于校准机械臂,所述晶舟包括:顶板、与所述顶板相对设置的底板以及连接于所述顶板和所述底板之间的挡板,所述挡板上设置有层叠分布的多个晶圆放置槽;其特征在于,所述顶板面向所述底板的一侧设置有激光接收装置,至少一个所述晶圆放置槽上设置有三个以上的激光发射装置,至少一个所述晶圆放置槽上容置有一晶圆,并且,所述激光发射装置发射的激光经所述晶圆的表面反射后由所述激光接收装置接收。

2.如权利要求1所述的晶舟,其特征在于,还包括用于增强所述晶圆放置槽内亮度的光线增强装置,所述光线增强装置设置于所述晶圆放置槽内。

3.如权利要求2所述的晶舟,其特征在于,每个所述晶圆放置槽内设置有多个光线增强装置。

4.如权利要求3所述的晶舟,其特征在于,每个所述晶圆放置槽内的多个光线增强装置均匀分布。

5.如权利要求2所述的晶舟,其特征在于,所述光线增强装置为LED光源。

6.如权利要求1所述的晶舟,其特征在于,还包括用于限制晶圆插入所述晶圆放置槽的深度的防撞装置,所述防撞装置设置于所述晶圆放置槽的底部。

7.如权利要求6所述的晶舟,其特征在于,所述防撞装置为一垫片。

8.如权利要求1~7中任一项所述的晶舟,其特征在于,所述挡板包括第一挡板以及与所述第一挡板相对设置的第二挡板,所述第一挡板上设置有层叠分布的多个第一晶圆放置凹槽,所述第二挡板上设置有层叠分布的多个第二晶圆放置凹槽,所述第一晶圆放置凹槽与同层的第二晶圆放置凹槽共同构成晶圆放置槽。

9.如权利要求8所述的晶舟,其特征在于,同一层的晶圆放置槽的第一晶圆放置凹槽和第二晶圆放置凹槽上均设置有所述激光发射装置。

10.如权利要求9所述的晶舟,其特征在于,同一层的晶圆放置槽的第一晶圆放置凹槽和第二晶圆放置凹槽各自设置有两个以上的激光发射装置。

11.如权利要求9所述的晶舟,其特征在于,所述第一晶圆放置凹槽上设置的激光发射装置位于第一晶圆放置凹槽的边缘位置且朝向晶圆方向。

12.如权利要求9所述的晶舟,其特征在于,所述第二晶圆放置凹槽上设置的激光发射装置位于第二晶圆放置凹槽的边缘位置且朝向晶圆方向。

13.如权利要求1~7中任一项所述的晶舟,其特征在于,所述激光接收装置设置有至少一个状态显示灯,所述状态显示灯具有第一色和第二色;当所述机械臂完成水平校准时,所有的状态显示灯均显示第一色;当所述机械臂未完成水平校准时,至少部分状态显示灯显示第二色。

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