本实用新型涉及太阳能电池片技术领域，具体为一种用于多晶硅太阳能电池片背表面刻蚀的蚀刻装置。
背景技术：
在现今的光伏产业中，多晶硅太阳能电池片产线上较多引入混酸各向同性腐蚀多晶硅太阳能电池片背表面工艺, 这种混酸湿法刻蚀多晶硅太阳能电池片背表面在一定程度上能够提升电池片的光电转换效率，但是现有的设备，不能达到非常好的将电池片背表面“镜面”化的效果，所以最终产品质量并不是很高，良品率也偏低，蚀刻反应的过程稳定性不高，设备使用寿命也不长。
技术实现要素：
本实用新型的一个目的是提供一种结构稳定、工作效率高、蚀刻效果好的用于多晶硅太阳能电池片背表面刻蚀的蚀刻装置。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种用于多晶硅太阳能电池片背表面刻蚀的蚀刻装置，包括蚀刻槽，所述蚀刻槽的槽体呈矩形状，所述蚀刻槽靠底部的位置设有匀流板，所述匀流板包括呈水平平铺状的中心板以及四块与所述中心板四个边角分别固定连接并向斜上方倾斜的边角倾斜板，所述匀流板的下方配有鼓泡气管，所述鼓泡气管连接有鼓泡设备，所述中心板和边角倾斜板上均开设有与所述鼓泡气管相配合的鼓泡通孔。
上述技术方案中，对蚀刻槽的设计，使得湿法蚀刻工艺得到更好地发挥，最终可以形成非常高质量的太阳能电池片成品。
作为对本实用新型的优选，所述中心板与边角倾斜板之间的固定连接处设有温度调节管。
作为对本实用新型的优选，所述中心板四个边角的各个边角倾斜板与水平面的倾斜角度均相等。
作为对本实用新型的优选，所述蚀刻槽的外侧壁的外围设有隔板，所述蚀刻槽和隔板之间连接有减震装置，所述蚀刻槽的外侧壁上还铺设有冷却管。
作为对本实用新型的优选，隔板上安装有支撑柱。
作为对本实用新型的优选，所述中心板和所述边角倾斜板上均具有向板背面凹陷的凹陷部，所述鼓泡通孔开设在所述凹陷部上。
本实用新型的有益效果：该装置使得太阳能电池片的蚀刻过程更加稳定，可以进行大批量生产，且蚀刻效果好，将电池片背表面“镜面”化效果极大地提升,同时也提升电池片的光电转换效率，使镀膜颜色更加均匀，从而降低反射率，增强光吸收，提升短路电流Isc，提升转换效率Eff。
附图说明
图1是本实用新型实施例的剖开后的立体结构示意图。
图中：1、蚀刻槽，2、匀流板，21、中心板，22、边角倾斜板，3、鼓泡气管，4、鼓泡通孔，5、温度调节管，6、隔板，61、减震装置，62、冷却管，7、支撑柱，20、凹陷部。
具体实施方式
以下具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。
实施例，如图1所示，一种用于多晶硅太阳能电池片背表面刻蚀的蚀刻装置，包括蚀刻槽1，所述蚀刻槽1的槽体呈矩形状，所述蚀刻槽1靠底部的位置设有匀流板2，所述匀流板2包括呈水平平铺状的中心板21以及四块与所述中心板21四个边角分别固定连接并向斜上方倾斜的边角倾斜板22，所述匀流板2的下方配有鼓泡气管3，所述鼓泡气管3连接有鼓泡设备，所述中心板21和边角倾斜板22上均开设有与所述鼓泡气管3相配合的鼓泡通孔4。槽体填充蚀刻溶液，鼓泡设备可以采用现有的氮气设备，通过鼓泡气管3向鼓泡通孔4吹气，使得槽内蚀刻液得到有效的流动，鼓泡气管3上应开设细小的出气孔。
所述中心板21与边角倾斜板22之间的固定连接处设有温度调节管5，温度调节管5可以采用水管等，调整槽内的以维持稳定的温度。所述中心板21四个边角的各个边角倾斜板22与水平面的倾斜角度均相等，优选角度在30度左右。
所述蚀刻槽1的外侧壁的外围设有隔板6，所述蚀刻槽1和隔板6之间连接有减震装置61，所述蚀刻槽1的外侧壁上还铺设有冷却管62。该方案的改进可以保证结构的稳定，同时，冷却管62对外部稳定有较好的调节作用，也能配合温度调节管5工作。隔板6上安装有支撑柱7，减震装置可以采用现有的弹性设备。
进一步地，所述中心板21和所述边角倾斜板22上均具有向板背面凹陷的凹陷部20，所述鼓泡通孔4开设在所述凹陷部20上，进一步提升上述的有益效果。
另外，还可以配有相应的PH传感器、自动加液装置、自动控制设备等，通过自动控制设备的控制，进行实时的监控和控制，进一步提升自动化，保证蚀刻的有效性。