太阳能电池用背面电极糊组合物的制作方法

文档序号:17118779发布日期:2019-03-15 23:35阅读:138来源:国知局
太阳能电池用背面电极糊组合物的制作方法

本发明涉及太阳能电池用玻璃料、背面电极糊及利用其而形成的太阳能电池。



背景技术:

太阳能电池通过吸收从太阳发生的光能而生成电子和空穴的光电效应来生成电流、电压。其具备构成pn结的半导体基板(substarte)和发射极层(emmitterlayer),发射极上部形成与上述发射极通电的正面电极,在与光入射面相对的另一面形成与基板通电的背面电极。

由于吸收到太阳能电池的光具有各种波长,折射率根据波长而不同,因此存在吸收良好的波长范围。大体上,长波长的光由于折射率低而不容易吸收而透过太阳能电池。因此,还具备钝化层,该钝化层使透过的光反射而使其再次通过太阳能电池,从而起到增加光的吸收的作用。

perc型(钝化发射极背面接触型,passivatedemitterandrearcontacttype)太阳能电池是在晶片背面具备钝化层(passivationlayer)的太阳能电池,其增加入射到太阳能电池的光的吸收率,并且能够防止由生成的电子与空穴的再结合而带来的损失。这时,钝化层一般由氧化铝层(al2o3layer)和氮化硅层(sinxlayer)构成,氧化铝层在太阳能电池背面产生固定负电荷(fixednegativecharge)。上述负电荷(negativecharge)有助于将太阳能电池中产生的空穴移动到背面电极,减少由此生成的电子与空穴再结合的量,使得能够收集更多的电子和空穴,从而能够提高开路电压(voc),增大太阳能电池效率。

另外,perc型太阳能电池即使在制造时煅烧工序(约800℃热处理工序)以后也保持钝化层的结构是重要的。就钝化层而言,在晶片的背面部铝电极和背面电极接触,各个电极中存在的玻璃料(glassfrit)成分在煅烧工序中对钝化层造成损伤。

由于电极中的玻璃料是起到电极与太阳能电池粘接的作用的必要成分,因此铝电极和背面电极要求在不损伤钝化层的情况下能够实现所需的粘接力的特定的玻璃料组成。



技术实现要素:

本发明是为了解决如上所述的问题而被提出的,其目的在于,即使在制造太阳能电池时煅烧工序以后也不发生结构损伤,并且能够提高电极附着力的太阳能电池用背面电极的玻璃料及包含其的太阳能电池用背面电极糊。

另外,本发明的目的在于,利用含有上述玻璃料的背面电极糊来提供太阳能电池。

为了实现如上所述的目的,本发明提供包含氧化铜-氧化硅系(cuo-sio2)化合物的太阳能电池用背面电极的玻璃料组合物。这时,上述氧化铜-氧化硅系(cuo-sio2)化合物相对于玻璃料组合物总重量可以包含15至70重量%。

根据本发明的一实施例的太阳能电池用背面电极的玻璃料组合物还可以包含bi2o3和mno2。

根据本发明的一实施例的太阳能电池用背面电极的玻璃料组合物可以包含10至80重量%的bi2o3、5至30重量%的sio2、3至30重量%的mno2、以及10至40重量%的cuo。

根据本发明的一实施例的太阳能电池用背面电极的玻璃料组合物的软化点(ts)可以为450至800℃。

根据本发明的一实施例的太阳能电池用背面电极的玻璃料组合物中,上述玻璃料的平均粒径可以为0.5至5.0μm。

另外,本发明提供包含(a)导电性粉末、(b)含有氧化铜-氧化硅系(cuo-sio2)化合物的玻璃料、以及(c)有机介质的太阳能电池用背面电极糊。

根据本发明的一实施例的太阳能电池用背面电极糊中,上述玻璃料还可以包含bi2o3和mno2。

根据本发明的一实施例的太阳能电池用背面电极糊中,上述玻璃料可以包含10至80重量%的bi2o3、5至30重量%的sio2、3至30重量%的mno2、以及10至40重量%的cuo。

根据本发明的一实施例的太阳能电池用背面电极糊中,相对于总重量可以包含0.1至6重量%的玻璃料。

根据本发明的一实施例的太阳能电池用背面电极糊中,上述玻璃料的平均粒径可以为0.5至5.0μm。

根据本发明的一实施例的太阳能电池用背面电极糊中,上述导电性粉末可以包含选自银、金、铜、镍、铝、钯、铂、铬、钴、锡、锌、铁、铱、铑、钨、钼以及它们的合金中的一种以上。

根据本发明的一实施例的太阳能电池用背面电极糊中,上述有机介质可以是有机粘合剂溶解于溶剂而成的,上述有机粘合剂包含选自纤维素系树脂、丙烯酸系树脂和聚乙烯系树脂中的一种以上。

另外,本发明提供包含上述的背面电极糊且具有常规型(conventionaltype)或perc型(passivatedemitterandrearcelltype)结构的太阳能电池。

根据本发明的太阳能电池用背面电极的玻璃料组合物具有防止制造太阳能电池时由煅烧工序导致的结构损伤、能够显著提高电极和基板之间的粘接力的优点。

另外,本发明具有能够提供利用含有上述的玻璃料组合物的背面电极糊可实现高能量转换效率的太阳能电池的优点。

附图说明

图1是简单地示出perc型太阳能电池的一个方式的图。

符号说明

10:硅基板;20:bsf层;

30:n型半导体层;31:p型半导体层;

40:防反射膜;50:钝化层;

60:正面电极;70:背面电极

具体实施方式

下面,对本发明的太阳能电池用背面电极的玻璃料组合物、含有其的背面电极糊、以及包含上述糊而制造的太阳能电池详细地进行说明。通过下述的实施例能够进一步更好地理解本发明,下述的实施例是用于例示本发明,而并不限定本发明要求保护的保护范围。这时,使用的技术用语和科学用语只要没有其他定义,则是指该发明所属技术领域中具有常规知识的人员通常理解的意思。

本发明可应用于具有常规型(conventionaltype)或perc型(passivatedemitterandrearcelltype)结构的太阳能电池。其中,以下例示的太阳能电池为perc型,但本发明并不是一定限定在perc型太阳能电池而应用。

perc型太阳能电池在背面具有钝化层(passivation),能够提高长波长区域的光的吸收率,减少电子与空穴的再结合而提高短路电流(isc)和开路电压(voc),从而能够提高太阳能电池的效率。此外,这种钝化层减少基板损伤,增加酸的掺杂水平(重掺杂,heavydoping),增加开路电压,增加电流密度。

图1是简单示出perc型太阳能电池的一个方式的图,所述太阳能电池包括:正面包含n型半导体部30的p型硅基板10、p型半导体层31、n型半导体层30电连接的正面电极60、以及与硅基板10电连接的背面电极70,上述n型半导体层的上部可以形成防反射膜40,硅基板10可以形成bsf层20。特别是,perc型太阳能电池中,将背面的铝用氧化硅膜替代而在背面形成钝化层(passivationlayer)50。此外,去除上述钝化层50的一部分而将金属电极直接形成于硅。

这时,在煅烧工序中包含在背面电极用糊中的玻璃料成分对钝化层进行蚀刻(etching)而导致损伤。当钝化层受损时成为由开路电压降低和电阻提高导致的效率降低的原因。

本发明的发明人认识到如上所述的工序上的问题点,开发了防止背面电极与钝化层之间的粘接界面的钝化层的损伤的技术。这并不限定于改善钝化层,而包含能够在根据太阳能电池制造的工序中防止结构损伤,提高电极或基板的粘接力,由此能够使太阳能电池效率极大化的技术。

根据本发明的太阳能电池用背面电极糊的玻璃料组合物的特征在于,包含氧化铜-氧化硅系(cuo-sio2)化合物。上述氧化铜(cuo)与氧化硅(sio2)的组合在不损伤钝化层的情况下能够提高背面电极与焊带之间的粘接力。这时,氧化铜-氧化硅系化合物相对于玻璃料组合物总重量可以包含15至70重量%,优选包含25至50重量%,更优选包含30至40重量%。

作为另一方式,上述太阳能电池用背面电极的玻璃料组合物可以在氧化铜-氧化硅系化合物中进一步包含bi2o3和mno2。即,根据本发明的太阳能电池用背面电极的玻璃料组合物可以包含bi2o3、sio2、mno2和cuo的组合。

上述bi2o3降低玻璃料的软化点,使得在充分低的温度也能容易地熔融,从而在太阳能电池的快速煅烧工序中也能够使其稳定地被熔融,上述sio2起到强化与太阳能电池基板之间的粘接力的作用,利用与其它成分的组合能够实现目标物性的协同效果。

这时,根据本发明的一实施例的玻璃料组合物可以优选包含10至80重量%的bi2o3、5至30重量%的sio2、3至30重量%的mno2、以及10至40重量%的cuo。在满足上述范围的情况下,根据本发明设计的玻璃料防止钝化层的损伤,从而防止电子与空穴的再结合损失,提高光吸收率,从而能够增大光变换效率而更优选。

根据本发明的太阳能电池用背面电极的玻璃料组合物能够防止钝化层在经过太阳能电池制造工序中最高点的温度为约800℃的热处理工序的煅烧工序的过程中由玻璃料导致的损伤。因此,玻璃料与这种煅烧条件相结合,其各个成分的组合很重要。

因此,本发明的上述玻璃料组合物将构成成分的含量调节为特定范围而使用,尤其是在perc型太阳能电池中使钝化层能够得到的协同效果极大化而能够显著提高太阳能电池效率。

根据本发明的一实施例的玻璃料组合物中,相对于玻璃料总重量,bi2o3可以包含10至80重量%,优选包含50至80重量%,更优选包含55至65重量%;sio2可以包含5至30重量%,优选包含5至20重量%,更优选包含5至15重量%。此外,mno2可以含有3至30重量%,优选含有5至20重量%,更优选含有5至10重量%,相对于100重量份的玻璃料,cuo可以包含10至40重量%,优选包含15至30重量%,更优选包含20至25重量%。

由于根据本发明的玻璃料组合物不含有铅而环保,软化点(ts)可以为450至800℃,优选为500至750℃。此外,上述玻璃料组合物的玻璃化转变温度(tg)可以为300℃至800℃,优选为400℃至600℃。本发明的玻璃料组合物在满足上述的软化点和玻璃化转变温度的范围的情况下,在实现目标的物性的效果方面更优选。

在本发明中,在不降低目标效果的范围内,上述玻璃料还可以包含金属氧化物或金属卤化物。作为一个例子,优选地还可以包含选自v2o5、zno、b2o3、bao、sro、wo3、mo2o3、teo2、nb2o3、li2o、geo2、ga2o3、in2o3、nio、coo、b2o3、cao、mgo、sro、mno、seo2、moo3、wo3、y2o3、as2o3、la2o3、nd2o3、bi2o3、ta2o5、feo、hfo2、cr2o3、cdo、sb2o3、pbf2、zro2、mn2o3、p2o5、pr2o3、gd2o3、sm2o3、dy2o3、eu2o3、ho2o3、yb2o3、lu2o3、ceo2、bif3、sno、ag2o、nb2o5、tio2、rb2o、na2o、k2o、cs2o、lu2o3、sno2以及tl2o3中的任意一种以上的金属氧化物或nacl、kbr、nai、znf2等金属卤化物,但并不限定于此。

本发明提供包含上述的玻璃料组合物的perc型太阳能电池用背面电极糊。具体而言,本发明提供一种perc型太阳能电池用背面电极糊,其中,包含(a)导电性粉末、(b)含有bi2o3、sio2、mno2和cuo的玻璃料、以及(c)有机介质。

在本发明中,(a)导电性粉末是赋予电特性的金属的粉末,可以使用银(ag)、金(au)、铜(cu)、镍(ni)、铝(al)、钯(pd)、铂(pt)、铬(cr)、钴(co)、锡(sn)、锌(zn)、铁(fe)、铱(ir)、铑(rh)、钨(w)、钼(mo)等,只要是具有良好的导电性的金属粉末则可以没有特别限制地使用。优选选自银、金、铜、镍、铝以及包含它们中的一种以上的合金。从即使在空气中实施煅烧处理的情况下也不被氧化,而能够保持优异的导电性的方面来看,更优选使用银(ag)。

上述导电性粉末可以使用球形粉末。但并不限定于此,可以为薄片(flake)型、板状形、无定形等非球状,也可以使用球状或它们的非球状混合一种以上而使用。

上述导电性粉末的粒径考虑到所需的烧结速度和形成电极的工序的影响等,可以调节为适当的范围。导电性粉末的平均粒径可以优选为0.5至5μm,可以更优选为0.7至2μm。更优选地,可以混合具有彼此不同的平均粒径的导电性粉末而使用。

在本发明中,导电性粉末相对于构成糊的成分总重量,可以含有30至79重量%,优选含有35至70重量%。当上述导电性粉末小于30重量%的情况下,糊的粘度降低而可能发生相分离,电极的膜厚度变薄而电阻可能增加,在超过79重量%的情况下,粘度升高而不容易印刷,并且存在费用上升的问题。

在本发明中,如上所述,(b)玻璃料在perc型太阳能电池中作为与钝化层的组合,为了提高太阳能电池的电特性而使用,包含特定成分,与导电性粉末和有机介质构成糊,防止钝化层的损伤,提高粘接性,从而能够使太阳能电池的效率极大化。

这时,上述玻璃料在糊全部组合物内的含量范围可以优选为0.1至6重量%,更优选为0.5至4重量%。在满足上述含量范围的情况下,在界面的反应性好,实现优异的粘接力且不会渗透到钝化层,开路电压不会降低,因而效率优异。

另外,超过上述范围时,导电性粉末的烧结性和粘接力降低,电阻提高,从而可能降低太阳能电池的效率。

另外,上述玻璃料的平均粒径为0.5至5.0μm,优选为0.7至3μm。在满足上述范围的情况下,能够防止形成电极时发生针孔不良而优选。

另外,根据本发明的一实施例,可以在不降低目标效果的范围内在糊中进一步包含金属化合物。作为上述金属化合物,优选地,可以进一步包含选自v2o5、zno、b2o3、pbo、bao、sro、wo3、mo2o3、teo2、nb2o3、geo2、ga2o3、in2o3、nio、coo、b2o3、cao、mgo、sro、mno、seo2、moo3、wo3、y2o3、as2o3、la2o3、nd2o3、bi2o3、ta2o5、feo、hfo2、cr2o3、cdo、sb2o3、pbf2、zro2、mn2o3、p2o5、pr2o3、gd2o3、sm2o3、dy2o3、eu2o3、ho2o3、yb2o3、lu2o3、ceo2、bif3、sno、ag2o、nb2o5、tio2、rb2o、cs2o、lu2o3、sno2、tl2o3以及金属卤化物中的任意一种以上。上述金属卤化物作为一个例子,可举出nacl、kbr、nai、znf2等,但并不一定限定于此。

在本发明中,(c)有机介质(vehicle)通过与太阳能电池用糊的无机成分的物理混合,向组合物赋予粘度和流变学特性使其印刷性良好。

上述有机介质可以使用通常用于太阳能电池电极糊的有机介质,作为一个例子,可以为高分子与溶剂的混合物。可以优选为在选自txib(三甲基戊二醇二异丁酸酯,trimethylpentanyldiisobutylate)、二元酯(dibasicester)、bc(丁基卡必醇,butylcarbitol)、丁基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇、丁基溶纤剂、丁基溶纤剂乙酸酯、丙二醇单甲醚、二丙二醇单甲醚、己二酸二甲酯、戊二酸二甲酯、丙二醇单甲醚丙酸酯、乙醚丙酸酯、萜品醇(terpineol)、丙二醇单甲醚乙酸酯、二甲氨基甲醛、甲乙酮、γ-丁内酯、乳酸乙酯和2,2,4-三甲基-1,3戊二醇单异丁酸酯(texanol)中的一种以上的溶剂中添加选自乙基纤维素、甲基纤维素、硝化纤维素、纤维素酯等纤维素系树脂;松香(rosin)或醇的聚甲基丙烯酸酯、丙烯酸酯等丙烯酸系树脂以及聚乙烯醇、聚乙烯醇缩丁醛等聚乙烯系树脂中的一种以上的树脂而成的混合物。

上述有机介质相对于糊总重量为20重量%至69重量%,优选为30至65重量%。在满足上述范围的情况下,能够容易地分散导电性粉末,并且能够防止煅烧后残留碳导致的电阻增加而太阳能电池的转换效率降低。

本发明的太阳能电池用背面电极糊除了上述的构成要素以外,为了提高流动特性、工序特性以及稳定性,还可以包含常规的添加剂。作为上述添加剂,可举出分散剂、增粘剂、触变剂、流平剂、增塑剂、粘度稳定剂、消泡剂、颜料、紫外线稳定剂、抗氧化剂、偶联剂等,但并不限定于此。

作为上述分散剂,可举出lubrisol公司的solsperse、byk公司的disperbyk-180、110、996和997等,但并不限定于此。作为上述增粘剂,可举出byk公司的byk-410、411、420等,但并不限定于此。作为上述触变剂,可举出elementis公司的thixatrolmax、byk公司的anti-terra-203、204、205、lonza公司的acrawacc等,但并不限定于此。作为上述流平剂,可举出byk公司的byk-3932p、byk-378、byk-306、byk-3440等,但并不限定于此。有机添加剂相对于导电糊组合物全部100重量%,可以含有约1至20重量%。

本发明提供包含上述的背面电极糊的具有常规型(conventionaltype)或perc型(passivatedemitterandrearcelltype)结构的太阳能电池。

其中,根据本发明的一实施例的perc型太阳能电池包括:第一导电型的基板;形成在上述基板上的第二导电型的发射极层;形成在上述发射极层上的防反射膜;贯通上述防反射膜并与上述发射极层连接的正面电极;和上述基板的背面的钝化层以及背面电极、铝电极。

上述第一导电型的基板选自p型或n型,第二导电型的发射极层选择具有与基板相反导电型的材料。为了形成p+层,掺杂ⅲa族元素作为杂质,为了形成n+层,掺杂va族元素作为杂质。例如,为了形成p+层,可以掺杂b、ga、in,为了形成n+层,可以掺杂p、as、sb。上述基板和发射极层之间的界面处形成p-n结,这是接收太阳光并通过光电效应产生电流的部分。通过光电效应产生的电子和空穴分别被吸引到p层和n层,并且分别移动到基板下部和与发射极层上部接合的电极,并且通过向电极施加负载,可以利用在其中产生的电。

上述防反射膜减少入射到太阳能电池正面的太阳光的反射率。当太阳光的反射率减少时,到达p-n结的光量增大,太阳能电池的短路电流增加,太阳能电池的转换效率提高。作为一个例子,防反射膜可以具有选自氮化硅膜、包含氢的氮化硅膜、氧化硅膜、氧氮化硅膜中的任意一种单膜或两种以上组合而成的多重膜结构,但并不限定于此。

上述正面电极和背面电极、铝电极可以用公知方法制造,优选通过丝网印刷法形成。

上述钝化层形成在基板的背面,由铝氧化物(al2o3)形成,也可以由硅氧化物(sio2)或氮化硅(sin)形成。上述钝化层可以以1至50nm的厚度形成。这可以通过原子层沉积法(ald,atomiclayerdeposition)或等离子体增强化学气相沉积法(pecvd,plasmaenhancedcvd)进行蒸镀。

背面电极可以在钝化层的背面通过丝网印刷进行涂布而形成。上述背面电极利用根据本发明的太阳能电池用背面电极糊。将上述糊干燥后通过热处理工序进行煅烧而形成。上述背面电极收集来自基板的电荷即空穴并向外部装置输出。

下面,举出根据本发明的太阳能电池用背面电极糊的一个例子进行说明,但本发明并不限定于下述实施例。

(实施例1)

根据表1所示的组成,将玻璃料中的相应成分投入到反应器中并混合,将其在1100℃熔融30分钟,用纯水(h2o)淬火(quenching)而使其骤冷。用球磨机(ball-mill)粉碎骤冷的玻璃熔融物,制造了具有2μm的平均粒径的玻璃料。

使用制造的玻璃料制造了根据本发明的太阳能电池用背面电极糊。

作为导电性粉末,使用了银粉末。银粉末是将平均粒径为0.6μm的银粒子(daejoo公司)35重量%、平均粒径为1.2μm的银粒子(daejoo公司)10重量%、平均粒径为0.2μm的银粒子(daejoo公司)5.0重量%混合而使用的。玻璃料使用了1.4重量%。作为粘合剂,使用了乙基纤维素树脂(dow公司std-45)和乙基纤维素树脂(dow公司std-200)各1.3重量%;作为溶剂,使用了2,2,4-三甲基-1,3-戊二醇单异丁酸酯(2,2,4-trimethyl-1,3-pentanediolmonoisobutyrate)25重量%和萜品醇(4-三甲基-3-环己烯-1-甲醇,4-trimethyl-3-cyclohexene-1-methanol)20重量%;作为添加剂,添加了触变调节剂(lonza公司acrawaxc)1.0重量%。

(实施例2)

使用1.0重量%的玻璃料、20.4重量%的萜品醇,除此以外,通过与实施例1相同的方法实施。

(实施例3)

使用0.6重量%的玻璃料、20.8重量%的萜品醇,除此以外,通过与实施例1相同的方法实施。

(实施例4)

使用1.8重量%的玻璃料、19.6重量%的萜品醇,除此以外,通过与实施例1相同的方法实施。

(实施例5)

使用2.0重量%的玻璃料、19.4重量%的萜品醇,除此以外,通过与实施例1相同的方法实施。

(实施例6至11)

将玻璃料的成分和含量根据表1进行变更,除此以外,通过与实施例1相同的方法实施。

(比较例1)

玻璃料的成分中不包含cuo和mno2,将成分和含量根据表1进行变更,除此以外,通过与实施例1相同的方法实施。

(比较例2)

玻璃料的成分中不包含cuo和mno2,将碱金属氧化物成分含量根据表1进行变更,除此以外,通过与实施例3相同的方法实施。

(比较例3)

玻璃料的成分中不包含bi2o3、cuo和mno2,将pbo的含量根据表1进行变更,除此以外,通过与实施例1相同的方法实施。

(比较例4)

玻璃料的成分中不包含sio2,将成分和含量根据表1进行变更,除此以外,通过与实施例1相同的方法实施。

(太阳能电池的制造)

利用晶体硅晶片,在管式炉(tubefurnace,850℃)中通过使用pocl3的扩散工序掺杂磷(p),从而形成了具有80ω/sq的薄层电阻的发射极层。通过化学气相沉积法(pecvd法),使用前体sih4和nh3,在上述发射极层上蒸镀氮化硅膜,以70nm厚度形成,从而形成防反射膜。在防反射膜的上表面涂布正面电极糊(daejoov89-11)并干燥。然后,在上述硅基板背面涂布上述制造的背面电极糊后,在250℃干燥2分钟。然后,在印刷了上述背面电极的上述硅基板涂布铝电极(daejoodpa-3200)后,在250℃干燥2分钟。这时,关于正面电极和背面电极、铝电极的涂布,进行丝网印刷(利用asyscompany公司的印刷机),以规定的图案实施。

将得到的太阳能电池硅基板在带式烧成炉中,在约800℃的峰值温度和入-出(in-out)约1分钟的条件下同时煅烧,从而制造了目标太阳能电池。

使用oriel公司制造的太阳光模拟器,对制造的太阳能电池的电特性(i-v特性)进行测试。每种糊分别制造10个样品,并使用10个样品的平均值,将制造的太阳能电池的特性示于表2。

(评价)

(1)太阳能电池的效率(转换效率、开路电压、曲线因子)

制造的电极利用太阳能电池效率测定设备(pasna公司,ct-801)测定了太阳能电池的转换效率(eff,%)、开路电压(voc,v)、曲线因子(ff,%)。这时,转换效率和开路电压是将根据实施例1的结果值设为100而作为基准值,将测定的值换算为上述基准值而示出相对比较的值。

(2)电极附着力

为了测定制造的太阳能电池的背面电极与焊带之间的粘接力,使用了带宽和成分分别为1.5mm、sn/pb=60/40(kosbon公司)的太阳能电池带。此外,为了带的焊接而使用955助焊剂(kester公司),并在焊接温度350℃、板的温度25℃进行。将焊带与背面电极焊接后使用推拉力计(push-pullgauge)(imada公司)以与带呈180°的角度牵拉而测定了粘接力(n)。测定粘接力的结果,当满足2.5n/mm的基准的情况下标记为○,不满足的情况下标记为×。

[表1]

[表2]

如上所述,虽然本发明中通过限定的实施例进行了说明,但这只不过是为了有助于进一步整体理解本发明而提供的,本发明并不限定于上述的实施例,只要是本发明所属领域中具有常规知识的人员,则能够基于这种记载实现各种修改或变形。

因此,本发明的思想不应限定于说明的实施例,可以说不仅是本发明要求保护的范围,而且与本发明要求保护的范围均等或具有等价变形的全部形态都属于本发明思想的范围。

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