一种霍尔元件及其制备方法与流程

文档序号:12681500阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种霍尔元件的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

在半导体单晶衬底(1)上形成晶格常数逐渐增大的晶格渐变层(2);

在所述晶格渐变层(2)上形成缓冲层(3);

在所述缓冲层(3)上形成与所述缓冲层(3)晶格常数相匹配的腐蚀隔离层(4);

在所述腐蚀隔离层(4)上形成与其晶格常数相匹配的霍尔功能层(5);

依次去除所述半导体单晶衬底(1)、所述晶格渐变层(2)、所述缓冲层(3)以及所述腐蚀隔离层(4)。

2.根据权利要求1所述的霍尔元件的制备方法,其特征在于,所述衬底(1)为GaAs衬底或InP衬底。

3.根据权利要求1或2所述的霍尔元件的制备方法,其特征在于,所述晶格渐变层(2)为In组分逐渐增大的InxAlyGa1-x-yAs渐变层;其中,0<x<1,0<y<1,且x+y<1。

4.根据权利要求1-3任一项所述的霍尔元件的制备方法,其特征在于,所述缓冲层(3)为InAs层。

5.根据权利要求1-4任一项所述的霍尔元件的制备方法,其特征在于,所述腐蚀隔离层(4)与所述缓冲层(3)晶格常数相同。

6.根据权利要求1-5任一项所述的霍尔元件的制备方法,其特征在于,所述腐蚀隔离层(4)为Ga(Al)AsSb层;所述霍尔功能层(5)为InAs。

7.根据权利要求1-6任一项所述的霍尔元件的制备方法,其特征在于,通过腐蚀工艺除去所述半导体单晶衬底(1)、所述晶格渐变层(2)、所述缓冲层(3)以及所述腐蚀隔离层(4)。

8.根据权利要求1-7任一项所述的霍尔元件的制备方法,其特征在于,所述晶格渐变层(2)、缓冲层(3)、腐蚀隔离层(4)以及霍尔功能层(5)均是利用金属有机化学气相沉积技术或分子束外延技术形成。

9.一种权利要求1-8任一项所述的制备方法制得的霍尔元件,其特征在于,包括依次层叠设置的半导体单晶衬底(1)、晶格渐变层(2)、缓冲层(3)、腐蚀隔离层(4)以及霍尔功能层(5),所述晶格渐变层(2)的晶格常数逐渐增大,所述腐蚀隔离层(4)与缓冲层(3)、霍尔功能层(5)的晶格常数相匹配。

10.根据权利要求9所述的霍尔元件,其特征在于,所述衬底(1)为GaAs衬底或InP衬底,所述晶格渐变层(2)为In组分逐渐增大的InxAlyGa1-x-yAs渐变层,所述缓冲层(3)为InAs层,所述腐蚀隔离层(4)为Ga(Al)AsSb层。

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