技术总结
本发明公开了一种热处理设备的工艺门冷却系统，包括设于热处理设备工艺门上的热交换件和控制单元。热交换件包括冷却液进口、冷却液出口、同心设置的外环冷却管路和内环冷却管路、以及开关元件。控制单元在热处理工艺中根据热处理工艺不同工艺步骤的设定温度控制开关元件的导通或关断，以使外环冷却管路和/或内环冷却管路中流通冷却液，从而相应切换内外环冷却管路的工作方式使得内外环冷却管路同时工作或单独工作，从而提高设备的工艺适用性和稳定性，扩展设备竞争力。
技术研发人员：徐冬;刘东
受保护的技术使用者：北京北方华创微电子装备有限公司
文档号码：201710111604
技术研发日：2017.02.28
技术公布日：2017.05.10