技术特征：
技术总结
本发明提供一种等离子体处理装置和等离子体处理方法，即使在对偏置用电力进行脉冲调制的情况下，也能够检测到电弧放电发生的可能性或者实际上发生了电弧放电。对基板实施规定的等离子体处理等离子体处理装置包括：收纳基板的处理容器；对处理容器内供给处理气体的气体供给部；配置在处理容器内的电极；对电极供给脉冲调制后的高频电力的高频电源部；以规定的周期测定从处理容器向高频电源部返回的反射波功率的反射波功率测定部；和判断部，其在由反射波功率测定部测定的反射波功率成为规定的条件时，判断为在处理容器内有发生电弧放电的可能性或者实际上已经发生了电弧放电，脉冲调制后的高频电力的脉冲周期与反射波功率测定部中的测定周期不同。
技术研发人员：东条利洋;藤井祐希
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2017.03.29
技术公布日：2017.10.20