一种太阳能电池干法制绒的弹片装置的制作方法

本发明属于太阳能电池生产技术领域，涉及一种太阳能电池干法制绒技术，特别涉及一种太阳能电池干法制绒的弹片装置。

背景技术：

太阳能电池制造近年来得到了飞速发展，利用晶硅太阳能发电在全世界已经有250gw的电站安装容量。为了使太阳能发电更具有商业优势，业界在不断寻求技术革新，使光电转换效率更高，生产成本更低，环境影响最小。

干法制绒是最近才开始产业化的一种技术，它利用真空中化学刻蚀的方法，把原光滑硅片表面在纳米级粗糙化，使入射光在硅表面的反射率从30%降低到10%以下，相比于传统的湿法（在溶液中）制绒，反射率只能到达20%左右，而且避免了使用强酸或强碱制绒，不仅减少污染环境，而且降低了成本。由于反射率降低，表面颜色发黑，所以俗称“黑硅”。

授权公告号为cn102534622b的中国发明专利公开了一种“在晶硅太阳能电池片表面制绒的方法”，该方法具体的工艺步骤如下：①自动传送装置带动硅片载板，通过硅片上料将需刻蚀硅片置于硅片载板上；②载有硅片的硅片载板在自动传输装置的带动下经过平行放置的线性等离子源，载有硅片的硅片载板在自动传输装置的带动下在真空中按一定速度经过线性等离子源；③刻蚀后的气体通过真空泵及其导管抽走；④硅片载板经过硅片下料装置使硅片下料，得成品黑硅。其优点是：①等离子密度高，对硅表面损伤低，使所得的黑硅电池片转换效率高；②刻蚀速度度快，增加了产量；③载板是放在接地电极上的，这样使离子源更加稳定。

上述结构由于载板是在运动状态下经过平行放置的线性等离子源而实现载板上硅片表面的刻蚀，且带有硅片的载板经过线性等离子源时是靠近接地的第二板并从第二板上通过，在真空中一定压力下，当合适的射频电源存在时，在两块平行板之间气体放电形成等离子体。该种结构需要设置单独的第二板进行接地以实现等离子体的产生，且在刻蚀过程中产生的大量废尘容易掉落在载板下方的第二板上并沉积，废尘的沉积导致第二板的导电性变差而影响两块平行板之间的等离子体密度，从而需要加大射频电源的能量并定期清洗第二板，不断加大射频电源的能量无疑增大了能耗，而定期清洗需要中断刻蚀过程而不利于太阳能电池硅片的连续化干法制绒，从而限制了上述干法制绒的推广应用。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本发明提供了一种太阳能电池干法制绒的弹片装置，其设置在放置有线性等离子源的腔体内，所述腔体内还设置有：

对应设置在所述线性等离子源下方以用于驱使载板线性运行的滚轮，以及弹性导电结构；

所述弹性导电结构包括对应所述载板线性运行方向设置的安装座，每侧所述安装座的上端设置有至少一个弹性导电体，所述安装座的底部通过导电连接装置连接至外部接地电源以与所述弹性导电体形成电连接；

所述弹性导电体在复位状态下的顶端水平位置高于所述滚轮的顶端水平位置；当所述载板通过时，所述弹性导电体产生弹性变形并提供恒定的弹力以持续接触所述载板的下表面。

其中，所述弹性导电体为弹片或弹簧，或其他具有类似形状的弹性结构，既能保证弹片和载板间的良好导通，也能承受多次的受压下弹和自动复原。

其中，所述弹片的截面呈锐角夹角或垂直夹角并通过一侧水平安装在所述安装座上并使锐角朝向所述载板线性运行的方向，且复位状态下所述弹片的最高点水平位置高于所述滚轮最高点水平位置，当所述载板通过时，所述弹片产生弹性变形而形成锐角夹角并提供恒定的弹力以持续接触所述载板的下表面。

其中，每侧所述安装座上沿所述载板线性运行方向均设置有至少一排所述弹性导电体，每排所述弹性导电体包含至少一个所述弹性导电体。

优选的，所述载板线性运行至所述弹性导电体上方后，每块所述载板下方对应接触有至少一个所述弹性导电体。

优选的，所述载板线性运行至所述弹性导电体上方后，每块所述载板下方对应接触有一个或两个或三个所述弹性导电体，且所述弹性导电体均匀分布以满足持续导电的需求为准，对所述弹性导电体的排数、间距以及每块所述载板对应的所述弹性导电体数量均不做具体限定。

进一步的，所述弹性导电体的顶端具有向内弯曲的弧度以与所述载板下表面形成持续的线接触并导电，该弧度设置可以有效减少与所述载板下表面的摩擦力并且所述弹片的安装方向不受限制。

优选的，所述弹性导电体的材质为具有等离子体耐受性的铝材质，也可采用授权公告号为cn101135033b的发明专利“导电、耐等离子体的构件”中公开的表面热喷涂有金属钇或金属钇与氧化钇和/或氟化钇混合物涂层的任何弹性材质加工成本发明所需要的弹性导电体，对此不做具体限定。

其中，所述线性等离子源下发还设置有集尘盒，所述集尘盒置于所述腔体内且上表面水平位置低于所述滚轮的顶端水平位置。

通过上述技术方案，本发明具有如下有益效果：

①采用弹片结构或其他弹性导电体，通过连接装置使运动状态中的载板和低频电源可以很好地导通起来，通过在线性等离子源与载板之间产生的高低压差，从而增强等离子体对载板上硅片的物理轰击，保证硅片制绒的效果；

②弹片采用特殊材质，通常为铝材质，可以抗离子轰击，以及类似形状的弹片，都既能保证弹片和载板间的良好导通，也能承受多次的受压下弹和自动复原；

③直接采用电导通的载板配合上方的电极产生等离子体，无需在载板下方专门设置导电电极，而替换为集尘盒，不仅满足了等离子体生成的需要，也能够通过集尘盒有效收集刻蚀过程的废尘，一举两得。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本发明实施例所公开的弹片装置示意图；

图2为图1所示的弹片装置的a向示意图；

图3为本发明实施例公开的一种弹片截面结构示意图。

图中数字表示：

1.腔体2.载板3.集尘盒

4.弹片5.连接装置6.低频电源

7.滚轮8.安装座

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

实施例1：

参考图1及2，本发明提供的太阳能电池干法制绒的弹片装置，其设置在容置有线性等离子源的腔体1内，腔体1内还设置有对应设置在线性等离子源下方的集尘盒3、沿载板2线性运行方向分别并排设置在两侧腔体1的内侧壁上以驱使载板2线性运行的滚轮7，以及弹性导电结构；弹性导电结构包括对应载板2线性运行方向设置在集尘盒3两侧的安装座8，每侧安装座8的上端设置有一排等间距分布的弹片4，弹片4的截面呈锐角夹角或垂直夹角并通过一侧水平安装在安装座8上并使锐角朝向载板2线性运行的方向，且复位状态下弹片4的最高点水平位置高于滚轮7最高点水平位置，当载板2线性运行至弹片4上方后，每块载板2下方对应接触有一个或两个或三个弹片4，弹片4在载板2的重力作用下产生弹性变形而形成锐角夹角并提供恒定的弹力以持续接触载板2的下表面，安装座8的底部通过导电连接装置5连接至外部接地低频电源6以与弹片4形成电连接并对应载板2上方的高频射频电源而在两者之间使气体产生等离子体；弹片4在复位状态下的顶端水平位置高于滚轮7的顶端水平位置；当载板2通过时，弹片4产生弹性变形并提供恒定的弹力以持续接触载板2的下表面。

实施例2:

基于上述实施例1，参考图3，弹片的顶端具有向内弯曲的弧度以与载板2下表面形成持续的线接触并导电，该弧度设置可以有效减少与载板2下表面的摩擦力并且弹片4的安装方向不受限制。

实施例3：

基于上述实施例1或2，弹片4的材质为具有等离子体耐受性的铝材质，也可采用授权公告号为cn101135033b的发明专利“导电、耐等离子体的构件”中公开的表面热喷涂有金属钇或金属钇与氧化钇和/或氟化钇混合物涂层的任何弹性材质加工成本发明所需要的弹片结构，对此不做具体限定。

通过上述技术方案，本发明具有如下有益效果：

①采用弹片4结构或其他弹性导电体，通过连接装置5使运动状态中的载板2和低频电源6可以很好地导通起来，从而增强等离子体对载板2上硅片的物理轰击，保证硅片制绒的效果；

②弹片4采用特殊材质，通常为铝材质，可以抗离子轰击，以及类似形状的弹片4，都既能保证弹片4和载板2间的良好导通，也能承受多次的受压下弹和自动复原；

③直接采用电导通的载板2配合上方的电极产生等离子体，无需在载板2下方专门设置导电电极，而替换为集尘盒3，不仅满足了等离子体生成的需要，也能够通过集尘盒3有效收集刻蚀过程的废尘，一举两得。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。