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薄膜晶体管及其制造方法和包括薄膜晶体管的显示设备与流程
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来源:国知局
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薄膜晶体管及其制造方法和包括薄膜晶体管的显示设备与流程
技术特征:
技术总结
提供了一种薄膜晶体管及其制造方法和包括薄膜晶体管的显示设备,所述薄膜晶体管包括:基底;半导体层,设置在基底上方;栅极绝缘膜,设置在半导体层上方;以及栅电极。半导体层包括沟道区、源区和漏区。栅极绝缘膜包括第一区和第二区。第二区与第一区接界。栅电极设置在第一区上方。台阶形状形成在第二区和第一区相接处。
技术研发人员:
朴鲜;柳春基;权赫珣
受保护的技术使用者:
三星显示有限公司
技术研发日:
2017.05.19
技术公布日:
2017.11.28
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