顶栅型薄膜晶体管的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种顶栅型薄膜晶体管的制作方法，通过在氧化物半导体层上形成还原金属层，并利用激光退火工艺将覆盖有还原金属层的氧化物半导体层还原成导体，形成源极接触区与漏极接触区，利用被还原成导体的源极接触区与漏极接触区与所述源极和漏极接触，能够大大降低源极和漏极的接触电阻，提升顶栅型薄膜晶体管的性能，制作方法简单。
【专利说明】
顶栅型薄膜晶体管的制作方法
技术领域
[0001] 本发明设及显示技术领域，尤其设及一种顶栅型薄膜晶体管的制作方法。
【背景技术】
[0002] 平面显示器件具有机身薄、省电、无福射等众多优点，得到了广泛的应用。现有的 平面显示器件主要包括液晶显示器件化iquid Crystal Display,LCD)及有机发光二极管 显示器件（〇：rganic Light 血 itting Display, OLED)。
[0003] 在平面显示器件中，薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)-般是用作开关元 件来控制像素的作业，或是用作驱动元件来驱动像素。
[0004] 氧化物半导体薄膜晶体管由于具有较高的电子迁移率，而且相比低溫多晶娃化OW Temperature Poly-Silicon,LTPS)薄膜晶体管，氧化物半导体薄膜晶体管制程简单，与非 晶娃(a-Si)薄膜晶体管制程相容性较高，具有良好的应用发展前景，为当前业界研究热口。 当前对氧化物半导体的研究，W铜嫁锋氧化物(Indium Gallium Zinc Oxide,IGZO)半导体 最为成熟。IGZO半导体是一种含有铜、嫁和锋的非晶氧化物，载流子迁移率是非晶娃的20~ 30倍，将其应用到平面显示器上，可W大大提高薄膜晶体管对像素电极的充放电速率，提高 像素的响应速度，实现更快的刷新率，同时更快的响应也大大提高了像素的行扫描速率，使 得超高分辨率成为可能。
[0005] 薄膜晶体管按照结构不同可W分为底栅型薄膜晶体管和顶栅型薄膜晶体管，其 中，顶栅型薄膜晶体管由于源漏极金属和栅极金属之间不会形成寄生电容，还可W做成短 沟道，提高薄膜晶体管的开态电流，所W近年来成为行业研究的热点。现有的顶栅型薄膜晶 体管通常包括:基板、设于所述基板上的缓冲层、设于所述缓冲层上的氧化物半导体层、设 于所述氧化物半导体层上的栅极绝缘层、设于所述栅极绝缘层上的栅极、设于所述栅极上 的层间绝缘层、设于所述层间绝缘层上的源极与漏极，所述源极与漏极通过贯穿所述层间 绝缘层的过孔与所述氧化物半导体层的两端相接触，该源极与漏极与所述氧化物半导体层 直接接触导致其产生的接触电阻很大，严重影响了薄膜晶体管的性能。目前业界常用等离 子(Plasma)处理的方法在氧化物半导体层两端制备低电阻接触区，从而降低源极与漏极与 所述氧化物半导体层的接触电阻，但运种方法得到的器件稳定性较差。
【发明内容】
[0006] 本发明的目的在于提供一种顶栅型薄膜晶体管的制作方法，能够减小顶栅型薄膜 晶体管的源漏极接触电阻，提升顶栅型薄膜晶体管的性能和稳定性。
[0007] 为实现上述目的，本发明提供了一种顶栅型薄膜晶体管的制作方法，包括如下步 骤：
[000引步骤1、提供一基板，在所述基板上形成缓冲层，在所述缓冲层上形成氧化物半导 体层；
[0009]步骤2、在所述氧化物半导体层上形成自下而上层叠设置的栅极绝缘层和栅极，所 述栅极绝缘层和栅极覆盖所述氧化物半导体层的中间区域，暴露出所述氧化物半导体层的 两端；
[0010] 步骤3、在所述氧化物半导体层暴露出的两端上形成还原金属层；
[0011] 步骤4、对覆盖有还原金属层的氧化物半导体层进行错射退火，将覆盖有还原金属 层的氧化物半导体层还原成导体，形成位于所述氧化物半导体层两端的源极接触区和漏极 接触区；
[0012] 步骤5、在所述栅极、源极接触区和漏极接触区的上方继续形成层间绝缘层和贯穿 所述层间绝缘层的第一过孔和第二过孔，所述第一过孔和第二过孔分别暴露出源极接触区 和漏极接触区；
[0013] 步骤6、在所述层间绝缘层上形成源极与漏极，所述源极与漏极分别通过所述第一 过孔和第二过孔与所述源极接触区和漏极接触区接触。
[0014] 所述步骤3中还原金属层的材料为儘、或侣。
[0015] 所述步骤3中还原金属层的厚度小于100A。
[0016] 所述步骤3中还原金属层采用物理气相沉积工艺制备。
[0017] 所述氧化物半导体层的材料为IGZ0。
[0018] 所述栅极、源极、与漏极的材料为钢。
[0019] 所述步骤2中通过干蚀刻制程形成所述栅极绝缘层和栅极。
[0020] 在所述步骤3中，还包括在所述栅极和所述缓冲层上形成还原金属层，所述栅极上 的还原金属层与所述氧化物半导体层上的还原金属层断开；
[0021 ] 且在所述步骤5中，所述层间绝缘层覆盖位于所述栅极上方的还原金属层。
[0022] 所述步骤3中位于所述栅极、氧化物半导体层、及缓冲层上还原金属层相互断开。
[0023] 所述缓冲层、栅极绝缘层、及层间绝缘层的材料均为氧化娃与氮化娃中的一种或 多种的堆找组合。
[0024] 本发明的有益效果:本发明提供的顶栅型薄膜晶体管的制作方法，通过在氧化物 半导体层上形成还原金属层，并利用激光退火工艺将覆盖有还原金属层的氧化物半导体层 还原成导体，形成源极接触区与漏极接触区，利用源极接触区与漏极接触区与所述源极和 漏极接触，从而降低源极和漏极的接触电阻，提升顶栅型薄膜晶体管的性能，相比于采用等 离子处理的方法，本发明制备的顶栅型薄膜晶体管具有更低的接触电阻和更高的稳定性， 制作方法简单。
【附图说明】
[0025] 为了能更进一步了解本发明的特征W及技术内容，请参阅W下有关本发明的详细 说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加W限制。
[0026] 附图中，
[0027] 图1为本发明的顶栅型薄膜晶体管的制作方法的步骤1的示意图；
[0028] 图2为本发明的顶栅型薄膜晶体管的制作方法的步骤2的示意图；
[0029] 图3为本发明的顶栅型薄膜晶体管的制作方法的步骤3的示意图；
[0030] 图4为本发明的顶栅型薄膜晶体管的制作方法的步骤4的示意图；
[0031] 图5为本发明的顶栅型薄膜晶体管的制作方法的步骤5的示意图；
[0032] 图6为本发明的顶栅型薄膜晶体管的制作方法的步骤6的示意图；
[0033] 图7为本发明的顶栅型薄膜晶体管的制作方法的优选实施例的流程图；
[0034] 图8为本发明的顶栅型薄膜晶体管的制作方法的流程图。
【具体实施方式】
[0035] 为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，W下结合本发明的优选实施 例及其附图进行详细描述。
[0036] 请参阅图7,本发明提供一种顶栅型薄膜晶体管的制作方法，包括如下步骤：
[0037] 步骤1、请参阅图1，提供一基板1，在所述基板1上形成缓冲层2，在所述缓冲层2上 形成氧化物半导体层3。
[0038] 具体地，所述步骤1中首先在所述基板1形成缓冲层2,然后在所述缓冲层2上形成 一氧化物半导体薄膜，随后通过一道光罩制程图案化所述氧化物半导体薄膜，形成氧化物 半导体层3。
[0039] 进一步地，所述基板1为透明基板，优选玻璃基板，所述缓冲层2的材料为氧化娃 (SiOx)与氮化娃（SiOx)中的一种或多种的堆找组合，所述氧化物半导体层3的材料优选 IGZO。
[0040] 步骤2、请参阅图2,在所述氧化物半导体层3上形成自下而上层叠设置的栅极绝缘 层4和栅极5，所述栅极绝缘层4和栅极5覆盖所述氧化物半导体层3的中间区域，暴露出所述 氧化物半导体层3的两端。
[0041] 具体地，所述步骤2中首先在所述氧化物半导体层3、及缓冲层2上沉积绝缘薄膜， 然后在所述绝缘薄膜上沉积第一金属层，接着通过干蚀刻制程将所述绝缘薄膜和第一金属 层进行图案化，形成栅极绝缘层4和栅极5,通过采用干蚀刻制程可W使得该栅极绝缘层4和 栅极5边缘处的斜坡(Taper)角较睹，使得当在该栅极绝缘层4和栅极5上继续沉积膜层时， 该膜层将会在栅极绝缘层4和栅极5上的边缘处断裂。上述栅极绝缘层4和栅极5通过同一道 光罩制程制得。
[0042] 优选地，所栅极5的材料为钢(Mo),所述栅极绝缘层4的材料为氧化娃与氮化娃中 的一种或多种的堆找组合。
[0043] 步骤3、请参阅图3,在所述栅极5、氧化物半导体层3、及缓冲层2上形成还原金属层 6,所述栅极5上的还原金属层6与氧化物半导体层3上的还原金属层6断开。
[0044] 具体地，所述还原金属层6的材料为具有强还原性的金属，优选材料为儘(Mn)、或 侣(Al),采用物理气相沉积工艺制备，其厚度极薄(小于1说)或），没有形成薄膜，不会影响透 光性，也不需要蚀刻，在栅极绝缘层4和栅极5边缘处可自动断裂。
[0045] 步骤4、请参阅图4,对覆盖有还原金属层6的氧化物半导体层3进行错射退火 (Anneal),将覆盖有还原金属层6的氧化物半导体层3还原成导体，形成位于所述氧化物半 导体层3两端的源极接触区7和漏极接触区8。
[0046] 具体地，所述步骤4中利用还原金属层6的还原特性结合错射退火工艺将覆盖有还 原金属层6的氧化物半导体层3还原成导体，形成源极接触区7和漏极接触区8,能够提升源 极接触区7和漏极接触区8的导电性能。相比于现有技术中采用的等离子处理的方法，本发 明制备的器件具有更低的接触电阻(小于1000 Q/sq)和更高的稳定性。
[0047] 步骤5、请参阅图5,在所述还原金属层6、源极接触区7和漏极接触区8上形成层间 绝缘层9和贯穿所述层间绝缘层9的第一过孔91和第二过孔92,所述第一过孔91和第二过孔 92分别暴露出源极接触区7和漏极接触区8。
[0048] 具体地，所述步骤5中首先在所述还原金属层6、源极接触区7和漏极接触区8上沉 积一绝缘薄膜，随后通过一道光罩制程图案化所述绝缘薄膜，从而形成层间绝缘层9和贯穿 所述层间绝缘层9的第一过孔91和第二过孔92。
[0049] 优选地，所述层间绝缘层9的材料为氧化娃与氮化娃中的一种或多种的堆找组合。
[0050] 步骤6、请参阅图6,在所述层间绝缘层9上形成源极10与漏极11，所述源极10与漏 极11分别通过所述第一过孔91和第二过孔92与所述源极接触区7和漏极接触区8接触，完成 顶栅极薄膜晶体管的制作。
[0051] 具体地，所述步骤6中首先在层间绝缘层9上沉积一第二金属层，随后通过一道光 罩制程图案化所述第二金属层形成源极10与漏极11，相比于现有技术，与该源极10与漏极 11接触的源极接触区7和漏极接触区8均为导体而不是氧化物半导体，从而大大减小了该源 极10与漏极11的接触电阻。
[0052] 优选地，所述源极10与漏极11的材料为Mo。
[0053] 可W理解的是，根据附图8,在其他【具体实施方式】的步骤3中，还可W仅在氧化物半 导体暴露出的两端上设置还原金属层，而对应的在步骤5中将层间绝缘层9直接设置在栅极 和/或缓冲层的上方，本发明的前述实施方式为优选实施方式，并不用于限制本发明。
[0054] 综上所述，本发明提供的顶栅型薄膜晶体管的制作方法，通过在氧化物半导体层 上形成还原金属层，并利用激光退火工艺将覆盖有还原金属层的氧化物半导体层还原成导 体，形成源极接触区与漏极接触区，利用源极接触区与漏极接触区与所述源极和漏极接触， 从而降低源极和漏极的接触电阻，提升顶栅型薄膜晶体管的性能，相比于采用等离子处理 的方法，本发明制备的顶栅型薄膜晶体管具有更低的接触电阻和更高的稳定性，制作方法 简单。
[0055] W上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可W根据本发明的技术方案和技术 构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有运些改变和变形都应属于本发明权利要求的 保护犯i围。
【主权项】
1. 一种顶栅型薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤1、提供一基板（1)，在所述基板（1)上形成缓冲层(2)，在所述缓冲层(2)上形成氧 化物半导体层(3); 步骤2、在所述氧化物半导体层（3)上形成自下而上层叠设置的栅极绝缘层(4)和栅极 (5) ，所述栅极绝缘层(4)和栅极(5)覆盖所述氧化物半导体层(3)的中间区域，暴露出所述 氧化物半导体层(3)的两端； 步骤3、在所述氧化物半导体层(3)暴露出的两端上形成还原金属层(6); 步骤4、对覆盖有还原金属层(6)的氧化物半导体层(3)进行错射退火，将覆盖有还原金 属层(6)的氧化物半导体层(3)还原成导体，形成位于所述氧化物半导体层(3)两端的源极 接触区（7)和漏极接触区(8); 步骤5、在所述栅极(5)、源极接触区（7)和漏极接触区（8)的上方继续形成层间绝缘层 (9) 和贯穿所述层间绝缘层(9)的第一过孔(91)和第二过孔(92)，所述第一过孔(91)和第二 过孔(92)分别暴露出源极接触区（7)和漏极接触区(8); 步骤6、在所述层间绝缘层(9)上形成源极（10)与漏极（11)，所述源极（10)与漏极（11) 分别通过所述第一过孔(91)和第二过孔(92)与所述源极接触区（7)和漏极接触区(8)接触。2. 如权利要求1所述的顶栅型薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，所述步骤3中还原 金属层(6)的材料为儘、或侣。3. 如权利要求1所述的顶栅型薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，所述步骤3中还原 金属层(6)的厚度小于100金。4. 如权利要求1所述的顶栅型薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，所述步骤3中还原 金属层(6)采用物理气相沉积工艺制备。5. 如权利要求1所述的顶栅型薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，所述氧化物半导体 层(3)的材料为IGZ0。6. 如权利要求1所述的顶栅型薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，所述栅极(5)、源极 (10) 、与漏极(11)的材料为钢。7. 如权利要求1所述的顶栅型薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，所述步骤2中通过 干蚀刻制程形成所述栅极绝缘层(4)和栅极(5)。8. 如权利要求1所述的顶栅型薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，在所述步骤3中，还 包括在所述栅极(5)和所述缓冲层(2)上形成还原金属层(6)，所述栅极(5)上的还原金属层 (6) 与所述氧化物半导体层(3)上的还原金属层(6)断开； 且在所述步骤5中，所述层间绝缘层(9)覆盖位于所述栅极巧)上方的还原金属层(6)。9. 如权利要求8所述的顶栅型薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，所述步骤3中所述 氧化物半导体层(3)上的还原金属层(6)与所述缓冲层(2)上的还原金属层(6)断开。10. 如权利要求1所述的顶栅型薄膜晶体管的制作方法，其特征在于，所述缓冲层(2)、 栅极绝缘层(4)、及层间绝缘层(9)的材料均为氧化娃与氮化娃中的一种或多种的堆找组 合。
【文档编号】H01L21/336GK106098560SQ201610458176
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年6月22日
【发明人】邓永
【申请人】深圳市华星光电技术有限公司