薄膜晶体管及其制造方法、液晶显示面板与流程

文档序号:12965749阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开一种薄膜晶体管、薄膜晶体管的制造方法及液晶显示面板,其中薄膜晶体管包括:基板;栅极层,设置在基板上;绝缘层,覆盖于栅极层;半导体层,设置在绝缘层上;导体层,设置在半导体层上;源漏极层,设置在导体层和绝缘层上,在源漏极层和半导体层之间设置有导体层或者导电间隔部;钝化层,设置在绝缘层、源漏极层和半导体层上。本发明薄膜晶体管中漏电流较小,薄膜晶体管质量较高。

技术研发人员:李松杉
受保护的技术使用者:武汉华星光电半导体显示技术有限公司
技术研发日:2017.08.07
技术公布日:2017.11.21
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