一种湿制程装置的制作方法

本发明涉及湿制程工艺设备的技术领域，尤其涉及一种湿制程装置。

背景技术：

目前，半导体、电路板、液晶显示屏(lcd，lightcrystaldisplay)、发光二级管(led，lightemittingdiode)以及触摸屏等制作过程中都采用了湿制程生产工艺。而这些湿制程工艺设备如刻蚀槽、种板槽或其他加热药流槽均存在加热情况下溶剂大量挥发的问题，这不仅会造成溶剂浪费，还会导致体系化学组成变化，造成制程波动。同时，挥发的溶剂会在药流槽顶部凝结，形成液滴滴下，滴落在玻璃基板表面造成玻璃基本表面溶剂分布不均匀。

技术实现要素：

本发明提供了一种湿制程反应槽，用于改善在湿制程过程中溶剂挥发、溶剂制程波动和玻璃基板表面不均匀的现象。所述湿制程装置包括：

腔室及设于所述腔室的药液槽，所述腔室包括两个相对的侧壁及连接两个相对侧壁的位于药液槽上方的顶壁和位于药液槽下方的底壁；

至少一个第一导流板和至少一个第二导流板，所述至少一个第一导流板一端与所述顶壁呈夹角固定将所述顶壁与所述药流槽分隔，另一端与所述侧壁之间形成有间隙；

所述至少一个第二导流板一端与所述侧壁连接且与所述第一导流板平行相对，所述至少一个第二导流板位于所述顶壁与所述至少一个第一导流板之间且遮挡所述间隙；

所述至少一个第一导流板和至少一个第二导流板的外侧面上均覆盖有亲溶剂涂层。

其中，所述第一导流板与所述第二导流板均由导热性材料制成。

其中，所述第一导流板和第二导流板均为两个。

所述两个第一导流板均包括第一端和与第一端相对的第二端，所述两个第一导流板的第一端均与所述顶壁呈夹角固定，两个第一导流板的第二端与所述两个侧壁之间具有间隙；

所述两个第二导流板分别与所述两个侧壁固定；且所述两个第二导流板分别与所述两个第一导流板平行相对。

其中，所述导流板的上表面均设置有冷凝水管路。

其中，所述夹角大于等于45度。

其中，所述间隙的宽度为1mm～5mm，且所述第二导流板与所述第一导流板之间的距离为2mm～5mm。

其中，所述亲溶剂涂层为水性环氧树脂体系涂层或有机硅烷系涂层。

其中，所述湿制程装置包括：上喷淋管路、下喷淋管路及位于所述上喷淋管路和下喷淋管路之间的传送部，上喷淋管路、下喷淋管路之间的传送部位于所述第一导流板与所述药液槽之间的位置。

其中，所述腔体的顶壁设有抽风口。

其中，所述第一导流板的长度与第二导流板的长度一致，且所述导流板的宽度大于所述第二导流板的宽度。

综上所述，本发明具有以下有益效果：

由于导流板上表面环绕冷凝水管路、下表面涂层的亲溶剂设计以及导流板与所述药流槽的倾斜角设计，使得药流槽中的溶剂蒸汽在导流板下表面凝结成小液滴，顺沿导流板斜面下滑至药流槽，从而大幅度减少了溶剂挥发造成的浪费，减轻了药液组成变化造成的制程波动，改善了溶剂蒸汽液滴从槽顶滴落造成玻璃基板的局部分布不均匀的问题。

附图说明

为了更清楚的说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1是本发明实施例提供的湿制程装置正面视图。

图2是图1所示的湿制程装置的一种实施方式的侧视图。

图3为图1所示的湿制程装置的另一种实施方式的侧视图。

图4是图1所示的第一导流板的结构示意图。

图5是图1所示的第二导流板的结构示意图。

图6是图1所示的所述第一导流板和所述第二导流板表面亲溶剂涂层的润湿角示意图。

图7是图1所示的所述第一导流板与顶壁夹角的示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图1为本发明实施例提供的湿制程装置正面视图，图2为图1所示湿制程装置的一种实施方式的侧视图。请一并参阅图1和图2，本发明实施例提供了一种湿制程装置，所述湿制程装置包括腔室10、设于所述腔室的药液槽20、至少一个第一导流板30和至少一个第二导流板40。

本实施例中，所述腔室10为矩形结构，其包括两个相对的侧壁101和侧壁102、连接两个所述侧壁101和侧壁102的位于所述药液槽20上方的顶壁103以及连接两个所述侧壁101和侧壁102的底壁104。所述药液槽20放置于所述底壁104上，且药液槽20的槽口朝向所述顶壁103。

本实施例中，所述第一导流板30与所述第二导流板40均由导热性强的材料301和亲溶剂涂层302制成，如图3和图4所示。

其中，所述导热性材料301包括且不限于玻璃或陶瓷。在所述药液槽20加热过程中，由于所述导热性材料301的强导热性，所述第一导流板30与所述第二导流板40对溶剂蒸汽进行冷却时不会由于温差产生内应力而发生变形。

一方面，所述亲溶剂涂层302要使溶剂液滴在其表面完全润湿，使得溶剂液滴在所述亲溶剂涂层302的表面完全展开，而不直接形成液滴滴下，则对所述亲溶剂涂层302的润湿角有一定的要求，润湿角的示意图如图5所示。从热力学角度来看，液滴滴落在清洁平滑的固体表面时，当忽略液滴的重力和粘度影响时，液滴在固体表面的铺展是由γ(l-g)、γ(s-g)和γ(s-l)三个界面张力决定，其平衡关系如下：γ(s-g)＝γ(s-l)+γ(l-g)cosα，f＝γ(l-g)cosα＝γ(s-g)-γ(s-l)，其中α为润湿角，f为润湿张力。显然，0°≤α≤180°，当α＝0°时，润湿张力f最大，可以完全润湿，即液体在固体表面上自由铺展；当0°＜α＜90°时，润湿效果随角度增加而变差；当α≥90°时，则因润湿张力小而基本不润湿；当α＝180°时表示完全不润湿。明显要使溶剂液滴在所述导流板30和40的涂层表面展开，不形成液滴直接滴下，则润湿角0°＜α＜90°，本实施例中所述亲溶剂涂层的润湿角0°＜α≤30°。

另一方面，所述亲溶剂涂层302还必须耐酸碱且与溶剂浸蚀。由于本发明不限定湿制程的种类，包括且不限于清洗或蚀刻，溶剂大多数为强酸碱等液体，因此亲溶剂涂层302需具有一定的耐酸碱特性。鉴于亲溶剂涂层302在满足润湿角要求的同时还必须耐酸碱，可根据溶剂的不同而采用不同的亲溶剂涂层，若溶剂为水，可采用水性环氧树脂体系涂层；若溶剂为有机溶剂，可采用有机硅烷系涂层。

请复参图2，本实施例中，所述第一导流板30和第二导流板40均为两个。所述第一导流板30和第二导流板40均为矩形板体。

具体的，所述两个第一导流板30均包括第一端31和与第一端31相对的第二端32。所述两个第一导流板30的第一端31均与所述顶壁103呈夹角θ固定，且所述两个第一导流板30的第二端32分别与所述侧壁101和侧壁102之间具有间隙91；进而两个第一导流板30形成人字形结构。所述两个第一导流板30位于所述药流槽20上方。本实施例中，所述第一导流板30的第二端32与所述侧壁101和侧壁102之间的所述间隙91宽度为1mm～5mm。

所述两个第二导流板40位于所述顶壁103与所述两个第一导流板30之间，与所述两个第一导流板30平行相对且遮挡所述间隙91。所述两个第二导流板40均包括第一端41和与第一端相对的第二端42。所述两个第二导流板40的第一端41均与所述顶壁103之间具有间隙92，所述两个第二导流板40的第二端42分别与所述侧壁101和侧壁102连接。具体的，第二导流板40与第一导流板30平行且间隔，在第二导流板40与第一导流板30之间形成供气流通过的缝隙。本实施例中，所述第二导流板40与所述第一导流板30之间的平行相对距离为2mm～5mm。

本实施例中，所述第一导流板30和所述第二导流板40的长度一致，所述长度是指沿着垂直于两个所述侧壁101和侧壁102之间连线的方向上的长度。所述第一导流板30的宽度大于所述第二导流板40的宽度，所述宽度是指一个侧壁101到另一个侧壁102的方向的宽度。本实施例中，所述第一导流板30和所述第二导流板40的长度均等于所述药液槽20的长度，厚度为2mm～4mm，所述第一导流板30的宽度为所述侧壁101到侧壁102之间距离的一半与所述夹角θ余弦值的乘积，所述第二导流板40的宽度可以在20cm以上或根据所述药液槽20的实际大小进行调整。

所述第一导流板30与所述顶壁103的夹角θ需使得溶剂液滴在所述亲溶剂涂层31表面具有较大的下滑分量才能使溶剂液滴沿所述亲溶剂涂层31下滑入所述药流槽20中，所述夹角θ的要求示意图如图6所示。从重力学角度来看，液滴存在在倾斜的表面时，液滴受到分力大小如下：沿倾斜面下滑的分力大小为gx＝gsinθ、沿垂直斜面方向的分力大小为gy＝gcosθ，其中g为液滴重力，θ为倾斜角。显然，0°≤θ≤90°，当θ＝0°时，液滴沿倾斜面下滑的分力gx最小，即液滴完全沿倾斜面下滑；当0°＜θ＜90°时，液滴沿倾斜面下滑的分力gx随角度的增加而逐渐变大；当θ＝90°，液滴液滴沿倾斜面下滑的分力gx最大。本实施例中倾斜角45°≤θ≤90°，使溶剂液滴重力在沿涂层表面有较大的下滑分量。

在其它实施方式中，与上述实施方式不同的是，所述第一导流板30和第二导流板40均为一个，如图3。

具体的，所述第一导流板30包括第一端31和与第一端31相对的第二端32。所述第一导流板30的第一端31与所述顶壁103呈夹角θ固定且同时与所述侧壁102连接，所述第一导流板30的第二端32与所述侧壁101之间具有所述间隙91。

所述第二导流板位于所述顶壁103与所述第一导流板30之间，与所述第一导流板30平行相对且遮挡所述间隙91。所述第二导流板40包括第一端41和与第一端相对的第二端42。所述第二导流板的第一端41与所述顶壁103之间具有间隙92，所述第二导流板的第二端42与所述侧壁101连接。具体的，所述第二导流板40与所述第一导流板30平行且间隔，在第二导流板40与第一导流板30之间形成供气流通过的缝隙。

本实施例中，所述第一导流板30和第二导流板40上表面均设置有冷凝水管路，冷凝水管路可与所述第一导流板30和第二导流板40导流板宽度方向平行设置。根据热交换的原理，当溶剂蒸汽接触到所述第一导流板30和第二导流板40下表面时，所述冷凝水管路中不断流通交换的冷凝水使得溶剂蒸汽迅速冷凝成液滴，并沿所述第一导流板30和第二导流板40下表面下滑至所述药液槽20，而溶剂蒸汽冷凝时的热量通过所述第一导流板30和第二导流板40传输给冷凝水管，由冷凝水将溶剂蒸汽冷凝时的热量排出所述药流槽20。

本实施例中，所述湿制程装置还包括：上喷淋管路50、下喷淋管路60及位于所述上喷淋管路50和所述下喷淋管路60之间的传送部70，所述上喷淋管路50、所述下喷淋管路60之间的所述传送部70位于所述第一导流板30与所述药液槽20之间的位置。在湿制程装置工作过程中，当所述传送部70将玻璃基板传送至所述药液槽20内时，溶剂从所述上喷淋管路50和所述下喷淋管路60中以喷淋的方式涂在所述传送部70传送的玻璃基板上，受喷淋冲力的作用，玻璃基板与溶剂发生反应至湿制程过程结束。

本实施例中，所述腔室10的顶壁103设有抽风口80，所述抽风口80可保持所述药液槽20内外压强一致，将所述药液槽20内多余的热量排出槽外。

在所述药液槽20加热过程中，大部分溶剂蒸汽在所述第一导流板30表面冷凝成液滴沿所述第一导流板30表面下滑至所述药液槽20，小部分溶液蒸汽从所述间隙91中逸出。从所述间隙91中逸出小部分的溶剂蒸汽在所述第二导流板40的表面进一步冷凝成液滴沿所述第二导流板40下表面流入所述药流槽20内，有效减少了湿制程过程中由于长时间加热情况下溶剂的损失，溶剂组分波动以及玻璃基板表面成分不均匀现象的产生，以此使得湿制程装置的反应过程更加稳定。

以上对本发明实施例进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。