有机薄膜晶体管元件及其制作方法与流程

文档序号:14266890阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种有机薄膜晶体管元件及其制造方法,有机薄膜晶体管元件包括:基材、漏极、源极、阻障层、有机半导体层、栅介电层以与栅极。源极位于基材上,具有第一立壁。漏极位于基材上,具有面对第一立壁并且彼此隔离的第二立壁。阻障层位于第一立壁和第二立壁之间,且阻障层的顶面宽度,实质等于第一立壁和第二立壁间的距离。有机半导体层,覆盖于源极、漏极和阻障层上。栅介电层位于有机半导体层上。栅极位于栅介电层上,且藉由栅介电层与有机半导体层电性隔离。

技术研发人员:吴淑芬
受保护的技术使用者:友达光电股份有限公司
技术研发日:2017.11.20
技术公布日:2018.04.24
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